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题名提高微结构表面在镀液中的润湿性
被引量:3
- 1
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作者
李光杨
汪红
谭姣姣
杨卓青
姚锦元
丁桂甫
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机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院微/纳米加工技术国家级重点实验室
江南大学信息工程学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第11期708-712,717,共6页
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基金
国家重点实验室基金资助项目(9140C79030302090C79)
上海市科委科研计划项目(0852nm02600)
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文摘
为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FTIR),对不同改性时间下的光刻胶表面成分进行了表征。提出了一种表征微结构润湿情况的方法。实验证明,添加SDS不影响镍在氨基磺酸镍溶液中的析出电位。FTIR的测试结果表明,通过氧等离子体改性在光刻胶表面引入了亲水的羟基,从而增强了由光刻胶构造的微结构的润湿性。研究发现,深宽比为1、线宽为50μm的微结构阵列经过氧等离子体改性5s后,在15min之内可被含SDS0.5kg/m3的氨基磺酸镍镀液完全浸润。
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关键词
光刻胶
表面改性
接触角
润湿性
微结构
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Keywords
photoresist
surface modification
contact angle
wettability
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分类号
TB322
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响
被引量:4
- 2
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作者
陈晖
汪红
李光杨
姚锦元
王艳
丁桂甫
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第6期20-23,共4页
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基金
上海市科委科研计划资助项目(0852nm02600)
国家重点实验室基金资助项目(9140C79030302090C79)
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文摘
利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究不同流动方式对均匀性的影响。模拟结果表明:当物质传递成为控制步骤时,增强对流—扩散虽然有利于物质传输,但均匀搅拌更有利于镀层均匀性;垂直流动相对于水平流动因离子到达阴极表面各处的传质阻力相同,故能有效改善镀层形貌的均匀性。
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关键词
微电铸
对流—扩散传质
传质阻力
流动方式
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Keywords
micro-electroforming
convective-diffusive mass transfer
mass transfer resistance
flow pattern
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分类号
TQ153
[化学工程—电化学工业]
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题名对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响
被引量:1
- 3
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作者
陈晖
李光杨
汪红
王艳
丁桂甫
赵小林
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2010年第8期41-43,47,共4页
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基金
上海市科委科研计划资助项目(0852nm02600)
国家重点实验室基金资助项目(9140C79030302090C79)
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文摘
利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流—扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比微结构中对流—扩散对传质的影响。模拟结果表明:当对流—扩散传质成为控制步骤时,渗透流影响镀层基本形貌,回流会引起镀层形貌的微小起伏。
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关键词
微电铸
对流-扩散传质
渗透流
回流
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Keywords
micro-electroforming
convective-diffusive mass transfer
penetration flow
vortices flow
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分类号
TQ153
[化学工程—电化学工业]
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题名基于非硅微加工技术的超疏水表面的设计和制造
- 4
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作者
汪红
李光杨
杨卓青
姚锦元
丁桂甫
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机构
微米/纳米加工技术国家级重点实验室
上海交通大学微纳科学技术研究院
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出处
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2012年第3期273-277,共5页
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基金
上海市纳米专项(1052nm02200)
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文摘
利用非硅微加工技术,在金属基底表面构建了由圆柱状金属镍组成的规则的微阵列结构,研究了微阵列的疏水性.利用正己烷溶解十八烷基三氯硅烷(OTS)配制成涂覆液,对微阵列进行低表面能物质涂覆.通过对比涂覆前后的静态超疏水性,研究了低表面能物质涂覆的作用.实验发现圆柱高度为5~30μm、直径为30~50μm、间距为15~50μm的微结构阵列在不涂覆OTS的前提下表现出了稳定的超疏水性.涂覆OTS虽然没有增加阵列结构的接触角,但是改善了微阵列在水流冲击下的疏水性.
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关键词
超疏水
非硅微加工
接触角
掩膜电镀
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Keywords
super hydrophobicity
non-silicon micro machining
contact angle
patterned electrodeposition
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分类号
TQ127.2
[化学工程—无机化工]
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