离子改性的CON材料用于吸附分离NF_(3)

从半导体刻蚀废气中吸附分离NF_(3)具有重要的工业应用价值。通过在多孔有机分子笼(cage-like organic network,CON)中引入碘离子,制得了高NF_(3)吸附选择性的离子型吸附剂(I-CON)。DFT理论计算表明,碘离子的引入在吸附剂孔道表面形成了离子化的电场环境,使被吸附的NF_(3)分子发生诱导极化,因此增强了材料对NF_(3)的吸附能力。单组分气体吸附测试结果表明,相较于CON,I-CON对NF_(3)的吸附容量从30.49mL/g提高到45.13mL/g,理想吸附溶液理论选择性从10.59~15.49提高到15.01~19.47;在穿透曲线测试中,I-CON也比CON表现出更强的NF_(3)动态吸附能力。以上结果证实了离子改性能够增强材料对NF_(3)的吸附分离性能,为分离与回收NF_(3)提供了技术参考。