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题名宽禁带半导体金刚石
被引量:9
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作者
李发宁
张鹤鸣
戴显英
朱国良
吕懿
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机构
西安电子科技大学微电子所
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出处
《电子科技》
2004年第7期43-49,共7页
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文摘
较详细地叙述了当前国内外正处在研究热潮中的金刚石半导体的优越性质、发展状况及其应用和潜在的应用前景。同时分析和比较了金刚石薄膜的各种制备方法,可以看出微波等离子体化学汽相沉积法是较好的制备金刚石薄膜的生长技术,并且分析了该技术的特点和优势。该法在保持适当氩气氛和施加衬底负偏压下还可进一步提高金刚石膜的生长速率和质量。对于金刚石异质(在硅衬底上)成核的基本机理也进行了分析。最后,阐述了研究金刚石半导体薄膜目前需要解决的关键问题及其发展方向。
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关键词
宽禁带
金刚石
MPCVD
大功率
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Keywords
wide bandgap diamond
MPCVD (Microwave-plasma chemical-vapor-deposition)
high power
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分类号
TN304.18
[电子电信—物理电子学]
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题名三维CMOS集成电路技术研究
被引量:3
- 2
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作者
朱国良
张鹤鸣
胡辉勇
李发宁
舒斌
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机构
西安电子科技大学微电子研究所
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出处
《电子科技》
2004年第7期21-26,共6页
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文摘
论述了三维集成电路(3D IC )的发展概况,介绍了近几年国外发展的各种三维集成电路技术,主要包括再结晶技术、埋层结构技术、选择性外延过生长技术和键合技术。并基于 SiGe 材料特性,提出了一种新型的 Si-SiGe 三维 CMOS 结构,即将第一层器件(Si nMOS)做在 SOI(Si on insulator)材料上,接着利用 SiO2/SiO2低温直接键合的方法形成第二层器件的有源层,然后做第二层器件(SiGe pMOS),最终形成完整的三维 CMOS结构。与目前所报道的 Si 基三维集成电路相比,该电路特性明显提高。
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关键词
三维集成电路(3DIC)
SI/SIGE
CMOS
SOI/SiGeOI
低温键合
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Keywords
Three-Dimensional Integrated Circuits (3D IC)
SOI/SiGeOI(SiGe on insulator)
Si-SiGe CMOS
Low-temperature bonding
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分类号
TN403
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名昌邑红海滩
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作者
王祥军(图)
李发宁
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机构
不详
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出处
《山东画报》
2024年第4期96-99,共4页
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文摘
在渤海湾的南岸,有一座小城叫昌邑;在昌邑北部的滩涂上,有一片草滩叫红海滩。每至秋季,这里会呈现出耀眼的红色,有人说这是昌盛之邑的色彩,而我看到的,是这方水土上顽强的生命。很多人知道东营的红海滩,但很少有人知道昌邑也有一片红海滩。
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关键词
红海滩
昌邑
渤海湾
顽强
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分类号
I26
[文学—中国文学]
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题名战斗在敌人内部的谍战英雄——卢志英
- 4
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作者
李发宁
刘丽丽
徐爱娣
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机构
昌邑市政协
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出处
《春秋》
2023年第4期15-19,共5页
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文摘
在庄严肃穆的南京雨花台烈士陵园里,安葬着一位出生于山东潍坊的谍战英雄。他曾多次被捕入狱,仍勇敢坚定、不改初衷;他潜伏敌营20年,关键时刻立下奇功——获取蒋介石对苏区“围剿”的“铁桶计划”,使红军主力转危为安。1948年因叛徒出卖,他不幸遇害,就义前留下绝笔:“胜利在望,死而无怨。”他就是红色特工卢志英。
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关键词
雨花台烈士陵园
庄严肃穆
不改初衷
红军主力
谍战
死而无怨
山东潍坊
蒋介石
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分类号
K82
[历史地理—历史学]
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