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静电场辅助的微压印光刻技术
被引量:
7
1
作者
刘民哲
王泰升
+3 位作者
李和福
刘震宇
陈佐龙
鱼卫星
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期663-671,共9页
介绍了一种静电场辅助的新型微压印光刻技术,并对其工艺过程进行了深入的理论研究。首先,采用数值仿真软件COMSOL^(TM) Multiphysics,建立了静电场辅助的压印光刻瞬态仿真分析模型,讨论了不同时域微结构的演化过程。然后,详细分析了微...
介绍了一种静电场辅助的新型微压印光刻技术,并对其工艺过程进行了深入的理论研究。首先,采用数值仿真软件COMSOL^(TM) Multiphysics,建立了静电场辅助的压印光刻瞬态仿真分析模型,讨论了不同时域微结构的演化过程。然后,详细分析了微结构的成型与仿真实验参数的定性关系,发现:适当地减小极板间距、模板凸起结构周期,同时增加模板的凸起高度、初始聚合物薄膜厚度和电压有助于微纳结构的成型。最后,通过仿真实验参数优化,得到了带有31μm中空结构的球冠微结构。与传统压印方法相比,静电场辅助的微压印技术工艺过程简单且成本较低,能够广泛应用于微电子机械系统、光子学、遗传学和组织系统等。
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关键词
静电场
压印
微纳结构
两相流
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职称材料
静电场诱导光刻技术实现曲面光栅结构的制备
被引量:
1
2
作者
李和福
赵楠
+3 位作者
田存伟
冯振豹
于会山
王文军
《聊城大学学报(自然科学版)》
2018年第4期52-57,共6页
利用软光刻技术在凸面基底上制备了光栅结构.以此凸面基底上制备的光栅结构作为模板,利用静电场诱导光刻技术实现了凹面基底上光栅结构的制备.光栅模板结构的高度为5.3μm,线宽是6.25μm,高宽比达到0.85∶1.诱导成形光栅结构的高度为42...
利用软光刻技术在凸面基底上制备了光栅结构.以此凸面基底上制备的光栅结构作为模板,利用静电场诱导光刻技术实现了凹面基底上光栅结构的制备.光栅模板结构的高度为5.3μm,线宽是6.25μm,高宽比达到0.85∶1.诱导成形光栅结构的高度为42μm,线宽是13.35μm,高宽比高于3∶1.结果表明借助静电场诱导光刻技术可以在曲面基底上利用小高宽比的微结构模板制备出大高宽比的微结构.
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关键词
软光刻技术
静电场诱导光刻技术
光栅结构
大高宽比
曲面基底
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职称材料
基于MobileNet v2的智能垃圾分类系统
被引量:
1
3
作者
张兆屹
李和福
王明红
《现代计算机》
2022年第14期96-101,116,共7页
随着生活水平的不断提高,我国生活垃圾总量不断增长,但生活垃圾的分类处理能力及技术相对有限和落后。现有的垃圾分类方式主要依靠人工分辨,很多居民对于垃圾分类的意识不足,往往无法做到正确有效的分类。本系统由主控板、机器视觉模块...
随着生活水平的不断提高,我国生活垃圾总量不断增长,但生活垃圾的分类处理能力及技术相对有限和落后。现有的垃圾分类方式主要依靠人工分辨,很多居民对于垃圾分类的意识不足,往往无法做到正确有效的分类。本系统由主控板、机器视觉模块及云服务器后台组成。利用Tensorflow框架下的MobileNet v2网络模型进行识别分类,借助STM32F103ZET6主控核心对识别结果进行处理,并通过WiFi模块上传至云服务器实现数据存储。云服务器使用腾讯云部署的EMQ服务器,作为本系统后台以供后续数据分析使用。实验结果表明,在网络模型文件仅占697KB的情况下,训练集的准确率达到93%,可以实现可回收垃圾较为准确的智能分类。
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关键词
MobileNet
v2
垃圾分类
机器视觉
STM32
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职称材料
题名
静电场辅助的微压印光刻技术
被引量:
7
1
作者
刘民哲
王泰升
李和福
刘震宇
陈佐龙
鱼卫星
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
中国人民解放军
中国科学院西安光学精密机械研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期663-671,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61475156
No.61361166004
+3 种基金
No.51275504)
吉林省基金资助项目(No.20140519002JH
No.20140519007JH)
深圳市科创委基金资助项目(No.KQCX2015032416183981)
文摘
介绍了一种静电场辅助的新型微压印光刻技术,并对其工艺过程进行了深入的理论研究。首先,采用数值仿真软件COMSOL^(TM) Multiphysics,建立了静电场辅助的压印光刻瞬态仿真分析模型,讨论了不同时域微结构的演化过程。然后,详细分析了微结构的成型与仿真实验参数的定性关系,发现:适当地减小极板间距、模板凸起结构周期,同时增加模板的凸起高度、初始聚合物薄膜厚度和电压有助于微纳结构的成型。最后,通过仿真实验参数优化,得到了带有31μm中空结构的球冠微结构。与传统压印方法相比,静电场辅助的微压印技术工艺过程简单且成本较低,能够广泛应用于微电子机械系统、光子学、遗传学和组织系统等。
关键词
静电场
压印
微纳结构
两相流
Keywords
electrostatic field
imprint
micro-nanostructures
two-phase flow
分类号
O359.1 [理学—流体力学]
O442 [理学—电磁学]
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职称材料
题名
静电场诱导光刻技术实现曲面光栅结构的制备
被引量:
1
2
作者
李和福
赵楠
田存伟
冯振豹
于会山
王文军
机构
聊城大学物理科学与信息工程学院山东省光通信科学与技术重点实验室
出处
《聊城大学学报(自然科学版)》
2018年第4期52-57,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61775089)
山东省自然科学基金项目(ZR2016FQ05)
+1 种基金
山东省重点实验室产业联盟基金(SDKL2016038)
聊城大学博士启动基金项目(318051542)资助
文摘
利用软光刻技术在凸面基底上制备了光栅结构.以此凸面基底上制备的光栅结构作为模板,利用静电场诱导光刻技术实现了凹面基底上光栅结构的制备.光栅模板结构的高度为5.3μm,线宽是6.25μm,高宽比达到0.85∶1.诱导成形光栅结构的高度为42μm,线宽是13.35μm,高宽比高于3∶1.结果表明借助静电场诱导光刻技术可以在曲面基底上利用小高宽比的微结构模板制备出大高宽比的微结构.
关键词
软光刻技术
静电场诱导光刻技术
光栅结构
大高宽比
曲面基底
Keywords
soft lithography
electrostatic induced lithography
grating structure
high aspect ratio
curved substrate
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于MobileNet v2的智能垃圾分类系统
被引量:
1
3
作者
张兆屹
李和福
王明红
机构
聊城大学物理科学与信息工程学院
出处
《现代计算机》
2022年第14期96-101,116,共7页
基金
山东省自然科学基金面上项目(ZR2021MF097)。
文摘
随着生活水平的不断提高,我国生活垃圾总量不断增长,但生活垃圾的分类处理能力及技术相对有限和落后。现有的垃圾分类方式主要依靠人工分辨,很多居民对于垃圾分类的意识不足,往往无法做到正确有效的分类。本系统由主控板、机器视觉模块及云服务器后台组成。利用Tensorflow框架下的MobileNet v2网络模型进行识别分类,借助STM32F103ZET6主控核心对识别结果进行处理,并通过WiFi模块上传至云服务器实现数据存储。云服务器使用腾讯云部署的EMQ服务器,作为本系统后台以供后续数据分析使用。实验结果表明,在网络模型文件仅占697KB的情况下,训练集的准确率达到93%,可以实现可回收垃圾较为准确的智能分类。
关键词
MobileNet
v2
垃圾分类
机器视觉
STM32
Keywords
MobileNet v2
waste sorting
machine vision
STM32
分类号
TP368.1 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
X705 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静电场辅助的微压印光刻技术
刘民哲
王泰升
李和福
刘震宇
陈佐龙
鱼卫星
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
7
下载PDF
职称材料
2
静电场诱导光刻技术实现曲面光栅结构的制备
李和福
赵楠
田存伟
冯振豹
于会山
王文军
《聊城大学学报(自然科学版)》
2018
1
下载PDF
职称材料
3
基于MobileNet v2的智能垃圾分类系统
张兆屹
李和福
王明红
《现代计算机》
2022
1
下载PDF
职称材料
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