在集成电路(Integrated Circuit,IC)制造行业中,自动物料搬运系统(Automatic Material Handling System,AMHS)有效地提高了生产速度、缩短了生产周期,因此设计AMHS具有重要意义。文章分析了AMHS控制功能要求,确定了电气控制总体方案,进...在集成电路(Integrated Circuit,IC)制造行业中,自动物料搬运系统(Automatic Material Handling System,AMHS)有效地提高了生产速度、缩短了生产周期,因此设计AMHS具有重要意义。文章分析了AMHS控制功能要求,确定了电气控制总体方案,进行了系统供配电方案设计,尤其是非接触供电,设计了关键设备的电气控制系统方案。通过分析实际装置的技术指标,表明所设计的300mm AMHS满足要求。展开更多