-
题名硅膜特性与1060nm窄带干涉滤光片的研究
被引量:1
- 1
-
-
作者
林永昌
卢维强
李宸章
施华
-
机构
北京理工大学工程光学系
西北光学仪器厂
-
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
1992年第4期37-42,共6页
-
文摘
实验研究表明,硅膜在800~1100nm是一个弱吸收膜,在波长短於800nm处是个强吸收膜;利用硅膜的这一可贵特性,设计并制备了1060nm窄带干涉滤光片。
-
关键词
滤光片
硅膜
窄带滤光片
干涉
-
Keywords
optical filters/silicon coating
weak absorbing
double half wave
-
分类号
O484.8
[理学—固体物理]
-
-
题名用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜
- 2
-
-
作者
蔡长龙
杭凌侠
严一心
李宸章
-
机构
西安工业学院仪器工程系
西安西北光电仪器厂
-
出处
《光学仪器》
1999年第4期34-38,共5页
-
文摘
介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍铬铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术所镀制的镍铬铁合金膜进行了性能测试。结果表明:选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀,牢固度好,膜层成分与脉冲多弧离子源阴极靶材成分含量误差小于±3% 。
-
关键词
镍铬铁合金膜
薄膜沉积
离子镀
离子源
-
Keywords
Nickel chrome iron Alloy Film, Film Deposition, Ion Plating, Uniformity, Technology Parameter, Film Property.
-
分类号
O484.1
[理学—固体物理]
-