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硅膜特性与1060nm窄带干涉滤光片的研究 被引量:1
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作者 林永昌 卢维强 +1 位作者 李宸章 施华 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1992年第4期37-42,共6页
实验研究表明,硅膜在800~1100nm是一个弱吸收膜,在波长短於800nm处是个强吸收膜;利用硅膜的这一可贵特性,设计并制备了1060nm窄带干涉滤光片。
关键词 滤光片 硅膜 窄带滤光片 干涉
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用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜
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作者 蔡长龙 杭凌侠 +1 位作者 严一心 李宸章 《光学仪器》 1999年第4期34-38,共5页
介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍铬铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术所镀制的镍铬铁合金膜进行了性能测试。结果表明:选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层... 介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍铬铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术所镀制的镍铬铁合金膜进行了性能测试。结果表明:选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀,牢固度好,膜层成分与脉冲多弧离子源阴极靶材成分含量误差小于±3% 。 展开更多
关键词 镍铬铁合金膜 薄膜沉积 离子镀 离子源
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