微细台阶测量中的非线性误差及消除

为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表面的真实反映。