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基于高功率脉冲技术的微深孔溅射关键工艺研究
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作者 王春富 李彦睿 +2 位作者 王文博 高阳 秦跃利 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第3期374-378,共5页
根据高功率脉冲电源在溅射时能提升离化率,增加离子浓度的特点,研究了高功率脉冲电源的峰值电流、频率、脉宽与离化效果之间的关系,并比对了溅射效果,分析了高功率脉冲与偏压电源之间的作用关系。通过这些关键工艺的研究,成功实现了深径... 根据高功率脉冲电源在溅射时能提升离化率,增加离子浓度的特点,研究了高功率脉冲电源的峰值电流、频率、脉宽与离化效果之间的关系,并比对了溅射效果,分析了高功率脉冲与偏压电源之间的作用关系。通过这些关键工艺的研究,成功实现了深径比10∶1的微孔溅射金属化并进行工程应用,为三维集成高深径比微孔金属化提供了一种低成本的解决方案。 展开更多
关键词 三维集成 高密度互连 高功率脉冲 离子浓度 偏压电源
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薄膜体声波滤波器结构和设计 被引量:1
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作者 李彦睿 石玉 +1 位作者 杨杰 钟慧 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第3期347-349,共3页
随着无线通信设备的小型化发展,薄膜体声波谐振器(FBAR)已成为国内外研究热点。该文综述了FBAR滤波器的拓扑结构、工作原理和仿真模型,并选择梯形滤波器方案,通过ADS射频仿真软件建立起MBVD一维等效电路模型模拟其传输特性。按照全球... 随着无线通信设备的小型化发展,薄膜体声波谐振器(FBAR)已成为国内外研究热点。该文综述了FBAR滤波器的拓扑结构、工作原理和仿真模型,并选择梯形滤波器方案,通过ADS射频仿真软件建立起MBVD一维等效电路模型模拟其传输特性。按照全球定位系统(GPS)滤波器设计要求,设计了频带为1 530~1 590 MHz的窄带滤波器。仿真表明,增加串、并联谐振器阶数可有效提高带外抑制,而减少其面积比在进一步增加带外抑制的同时,减少了插损和器件整体面积。设计所得滤波器带宽60 MHz,带外抑制50 dB,插损3 dB。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器 MBVD模型 全球定位系统(GPS) 仿真
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LTCC-D高密度微波集成工艺技术研究 被引量:5
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作者 秦跃利 刘志辉 +2 位作者 王春富 李彦睿 肖晖 《电子工艺技术》 2014年第2期91-93,124,共4页
LTCC技术作为高密度互连技术在电子产品中已得到广泛应用。而在微波高频电路中由于其印刷精度的限制一定程度上影响了电气性能。在LTCC上制作薄膜电路可以显著提高微带线精度及微波传输性能,同时提高微波产品集成密度,简化微组装工作步... LTCC技术作为高密度互连技术在电子产品中已得到广泛应用。而在微波高频电路中由于其印刷精度的限制一定程度上影响了电气性能。在LTCC上制作薄膜电路可以显著提高微带线精度及微波传输性能,同时提高微波产品集成密度,简化微组装工作步骤。通过工艺实验,分析和突破了LTCC-D工艺中的多项关键技术,形成了完整的工艺流程。该流程经样品和试生产验证达到了工程化应用水平。 展开更多
关键词 薄膜 微波集成电路
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陶瓷穿孔三维互连(TCV)技术研究 被引量:3
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作者 秦跃利 王春富 +2 位作者 李彦睿 高阳 廖翱 《电子工艺技术》 2017年第2期71-73,92,共4页
电子装备小型化、高集成度和高可靠性的需求,促使微波电路急需将不同功能的微波多芯片模块叠层而形成垂直互连的三维微波多芯片组件。介绍了陶瓷穿孔互连技术(简称TCV)的概念和结构,对关键工艺技术进行解析,并通过设计试制出TCV集成开... 电子装备小型化、高集成度和高可靠性的需求,促使微波电路急需将不同功能的微波多芯片模块叠层而形成垂直互连的三维微波多芯片组件。介绍了陶瓷穿孔互连技术(简称TCV)的概念和结构,对关键工艺技术进行解析,并通过设计试制出TCV集成开关微模块工艺样件。TCV作为高密度微型化互连封装技术将为微系统设计和IP核设计提供新的实现手段。 展开更多
关键词 薄膜3D集成 TCV TSV
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高介薄型陶瓷芯片电容制备工艺研究
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作者 王春富 黎俊宇 +4 位作者 李彦睿 王文博 张健 秦跃利 钟朝位 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1001-1006,共6页
研究了高介薄型陶瓷芯片电容的金属化和微小元件的精密切割工艺。分别采用TiW/Au层、TiW/Ni/Au层和TaN/TiW/Au层制备电极,并采用电容器绝缘电阻的偏压特性和温度特性、电容器电容量和介电损耗的温度特性表征了电容在电极金属化工艺中不... 研究了高介薄型陶瓷芯片电容的金属化和微小元件的精密切割工艺。分别采用TiW/Au层、TiW/Ni/Au层和TaN/TiW/Au层制备电极,并采用电容器绝缘电阻的偏压特性和温度特性、电容器电容量和介电损耗的温度特性表征了电容在电极金属化工艺中不同电极材料对高介薄型陶瓷电容器性能的影响,优选出了电极制备的膜系结构。通过选择刀具类型,优化切割固定方法,本工作有效规避了切割崩边和卷边问题,实现了微小元件的精密切割,成功制备出一种性能优异的高介薄型陶瓷芯片电容器。 展开更多
关键词 高介薄型陶瓷 小型化 电极金属化 精密切割工艺
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复杂周边环境下深基坑开挖监测与变形特性分析
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作者 李彦睿 《江西建材》 2023年第5期135-136,139,共3页
基坑开挖过程中,地下连续墙的周边地面沉降和位移控制是工程安全面临的主要挑战。文中通过分析监测数据,对基坑开挖过程进行了三维数值模拟,确定支护结构的变形规律等特征。结果表明,地下连续墙周边地表沉降主要受基坑开挖深度影响。此... 基坑开挖过程中,地下连续墙的周边地面沉降和位移控制是工程安全面临的主要挑战。文中通过分析监测数据,对基坑开挖过程进行了三维数值模拟,确定支护结构的变形规律等特征。结果表明,地下连续墙周边地表沉降主要受基坑开挖深度影响。此外,每种工况下的壁变形均表现出线性,具有明显的阶段特征,特别是变形曲线具有明显的拐点,大部分拐点位于整体开挖深度的2/3以上。该方法为基坑开挖的安全控制和可持续研究提供了新的参考。 展开更多
关键词 基坑开挖 监测数据 变形 地下连续墙
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高介陶瓷薄膜小型化器件制备关键工艺
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作者 王春富 马宁 +5 位作者 王文博 李彦睿 高阳 张健 何建 秦跃利 《电子工艺技术》 2022年第5期254-258,共5页
为满足电子系统小型化和轻量化的集成需求,采用高介陶瓷制作射频无源器件以减小系统关键部位的体积。试验并优化了高介陶瓷薄膜电路制作流程中的关键工艺,确定了与高介陶瓷匹配的工艺方法及参数,成功制作出了基于高介陶瓷的小型化薄膜... 为满足电子系统小型化和轻量化的集成需求,采用高介陶瓷制作射频无源器件以减小系统关键部位的体积。试验并优化了高介陶瓷薄膜电路制作流程中的关键工艺,确定了与高介陶瓷匹配的工艺方法及参数,成功制作出了基于高介陶瓷的小型化薄膜器件。与传统氧化铝基器件对比,在性能相当的情况下,器件体积缩小了55%,小型化效果显著,满足了应用需求。 展开更多
关键词 高介陶瓷基板 薄膜器件 小型化集成 射频无源器件
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3岁以下婴幼儿托育机构从业人员职业认同的影响因素分析——基于对安徽省合肥市的调查 被引量:2
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作者 蒋晨晓 闫龙 李彦睿 《成都师范学院学报》 2023年第3期116-124,共9页
以《幼儿园教师职业认同问卷》为主要调查工具,对合肥市166名托育机构从业人员进行调查,以性别、年龄、专业、持有证书情况及有无工作经历等人口学变量对其职业认同进行F检验,并从个体和职业环境两个维度对托育机构从业人员的职业认同... 以《幼儿园教师职业认同问卷》为主要调查工具,对合肥市166名托育机构从业人员进行调查,以性别、年龄、专业、持有证书情况及有无工作经历等人口学变量对其职业认同进行F检验,并从个体和职业环境两个维度对托育机构从业人员的职业认同进行回归分析,探讨影响其职业认同的因素。结果表明:托育机构从业人员职业认同程度总体较好,且在性别、年龄、专业、持有证书情况及工作经历等变量上存在不同程度的显著性差异;托育机构从业人员个体因素对职业认同具有显著影响,主要表现为性别、专业能力、人际关系、对托育工作的喜爱程度以及托育机构从业人员的人格因素等方面。 展开更多
关键词 职业认同 托育机构 托育机构从业人员 托育教师 3岁以下婴幼儿 婴幼儿照护
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薄膜有机集成电容的制作工艺 被引量:2
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作者 张健 王春富 +3 位作者 王贵华 王文博 李彦睿 秦跃利 《电子工艺技术》 2022年第2期71-73,80,共4页
以PI-5型聚酰亚胺(PI)电子涂料为介质层,在99瓷氧化铝陶瓷基片表面通过磁控溅射、光刻、电镀、蚀刻等传统薄膜电路工艺制作有机集成电容。分别研究了PI旋涂转速、旋涂时间、热处理制程等参数对PI厚度和均匀性的影响,最终通过优化过程工... 以PI-5型聚酰亚胺(PI)电子涂料为介质层,在99瓷氧化铝陶瓷基片表面通过磁控溅射、光刻、电镀、蚀刻等传统薄膜电路工艺制作有机集成电容。分别研究了PI旋涂转速、旋涂时间、热处理制程等参数对PI厚度和均匀性的影响,最终通过优化过程工艺参数,得到厚度与设计值相符的PI膜层,且膜厚均匀性优于±5%,有机电容的容值精度优于±5%。PI有机电容与薄膜及半导体电路工艺高度兼容,在集成无源器件(IPD)制造中有着广阔的应用前景,有利于新一代系统的微型化、多功能和高密度集成。 展开更多
关键词 聚酰亚胺(PI) 有机电容 薄膜电路 集成无源器件(IPD)
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基于光敏玻璃的高深径比微孔制作技术
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作者 张健 李彦睿 +5 位作者 王文博 王春富 秦跃利 张湉 徐飞 何建 《电子工艺技术》 2022年第3期139-142,共4页
基于FOTURAN②Ⅱ型光敏玻璃基板,研究曝光烧结腐蚀、激光诱导腐蚀和激光诱导烧结腐蚀三种高深径比微孔制作技术,分别从微孔的圆度、侧壁倾角和深径比的角度分析,并与普通玻璃微孔制作进行对比。结果表明,曝光处理光敏玻璃获得的微孔圆... 基于FOTURAN②Ⅱ型光敏玻璃基板,研究曝光烧结腐蚀、激光诱导腐蚀和激光诱导烧结腐蚀三种高深径比微孔制作技术,分别从微孔的圆度、侧壁倾角和深径比的角度分析,并与普通玻璃微孔制作进行对比。结果表明,曝光处理光敏玻璃获得的微孔圆度较好,激光诱导可替代曝光烧结实现对光敏玻璃的变性,规避了玻璃的高温蠕变,提高了微孔位置精度。激光诱导腐蚀光敏玻璃获得的微孔深径比达8.9,侧壁倾角达89°。激光诱导腐蚀法适宜于多类玻璃材料,是一种制作高陡直度、高深径比玻璃微孔的新型制造技术,有利于提高玻璃转接板互连密度,促进微系统高密度集成。 展开更多
关键词 光敏玻璃 玻璃通孔 高深径比 激光诱导
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基于碳平衡法计算柴油机燃油消耗量的研究 被引量:6
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作者 李彦睿 彭育辉 黄育鹏 《车辆与动力技术》 2018年第4期6-10,16,共6页
燃油消耗量是评价发动机经济性的重要指标,碳平衡法作为一种间接测量方法普遍应用于整车油耗的计算.考虑到柴油发动机碳烟中颗粒碳对油耗量计算的影响,基于碳平衡法的基础理论,提出了适用于柴油发动机台架试验的碳平衡法燃油消耗量计算... 燃油消耗量是评价发动机经济性的重要指标,碳平衡法作为一种间接测量方法普遍应用于整车油耗的计算.考虑到柴油发动机碳烟中颗粒碳对油耗量计算的影响,基于碳平衡法的基础理论,提出了适用于柴油发动机台架试验的碳平衡法燃油消耗量计算模型,并通过试验进行模型验证.试验结果表明,除怠速工况外,所提模型的计算结果与油耗仪实测值间的误差均小于3%,说明了所提方法的有效性和可靠性,为精确测量柴油机燃油消耗量提供一种重要的途径. 展开更多
关键词 燃油消耗量 碳平衡法 柴油机 碳烟修正 台架试验
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工程认证背景下液压类课程案例教学系统化与规范化研究 被引量:2
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作者 沈伟 张广成 李彦睿 《南方农机》 2022年第1期162-165,共4页
工程教育专业认证为规范我国工程教育制度体系、推进教育教学改革提供了动力。作为工科领域的典型核心课程,液压类课程改革应基于工程认证基本理念,改进课程教学,促进知识传授与价值引领同向同行。课题组立足立德树人根本任务,基于“流... 工程教育专业认证为规范我国工程教育制度体系、推进教育教学改革提供了动力。作为工科领域的典型核心课程,液压类课程改革应基于工程认证基本理念,改进课程教学,促进知识传授与价值引领同向同行。课题组立足立德树人根本任务,基于“流体力学及液压气动技术”教学改革实践经验和思考,聚焦课程案例化教学的落地和实施细节,为培养高素质的工程应用型人才提供理论借鉴。 展开更多
关键词 工程教育专业认证 “流体力学及液压气动技术” 案例化教学 人才培养
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媒体融合背景下党报如何做好新媒体编辑把关 被引量:2
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作者 李彦睿 文凯 《新闻前哨》 2022年第17期26-27,共2页
随着网络技术的飞速发展,新媒体时代已然到来。越来越多的传统媒体为了自身的生存发展谋求转型,与新媒体融合发展。如今,几乎所有纸媒都有微博、微信、抖音、客户端等新媒体平台与报纸同步更新,除了加强宣传,还可以起到抢占市场、扩大... 随着网络技术的飞速发展,新媒体时代已然到来。越来越多的传统媒体为了自身的生存发展谋求转型,与新媒体融合发展。如今,几乎所有纸媒都有微博、微信、抖音、客户端等新媒体平台与报纸同步更新,除了加强宣传,还可以起到抢占市场、扩大营销的目的。在媒体融合背景下,如何做好编辑把关工作是身为传统媒体代表的党媒应对这一机遇与挑战的重点所在。 展开更多
关键词 党报 媒体融合 编辑把关
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色舞金秋时 醉在大美中——百名摄影家穿越神农架采风侧记
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作者 李彦睿 覃奋 《湖北画报(湖北旅游)》 2012年第6期26-28,共3页
10月15日至18日,“百名摄影家穿越神农架暨‘神旅杯’大型摄影采风活动”如期举行。本次活动由中共湖北省委宣传部、湖北省文学艺术界联合会、湖北省旅游局、神农架林区人民政府主办,湖北省摄影家协会、神农架林区党委宣传部、神农架... 10月15日至18日,“百名摄影家穿越神农架暨‘神旅杯’大型摄影采风活动”如期举行。本次活动由中共湖北省委宣传部、湖北省文学艺术界联合会、湖北省旅游局、神农架林区人民政府主办,湖北省摄影家协会、神农架林区党委宣传部、神农架林区旅委、湖北画报社承办。摄影家们在色舞金秋的神农架,穿越国家级自然保护区、国家地质公园、国家森林公园和大九湖国家湿地公园,尽赏神农架高山峡谷、湿地草甸、原始丛林、山乡村落风光,用摄影人独到的视角和光影手法来表现神农架的神秘、神奇和神妙之美。 展开更多
关键词 神农架林区 摄影家协会 采风活动 国家级自然保护区 党委宣传部 侧记 大美 国家地质公园
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坚持马克思主义新闻观 做好新时代"三农"报道
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作者 李彦睿 《新闻前哨》 2022年第15期44-45,共2页
《农村新报》作为湖北日报传媒集团"三农"报道专业媒体,从1951年创刊以来,一直坚守初心,躬耕田野,成为"三农"工作者的良师益友.近年来、农村新报克难攻坚,各项指标稳居全国农村类报纸前列,在宣传党的路线方针政策... 《农村新报》作为湖北日报传媒集团"三农"报道专业媒体,从1951年创刊以来,一直坚守初心,躬耕田野,成为"三农"工作者的良师益友.近年来、农村新报克难攻坚,各项指标稳居全国农村类报纸前列,在宣传党的路线方针政策、占领农村思想文化阵地、服务三农发展等方面,发挥着不可替代的作用. 展开更多
关键词 马克思主义新闻观 思想文化阵地 良师益友 服务三农 湖北日报传媒集团 不可替代 各项指标
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探讨测绘新技术在测绘工程测量中应用价值
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作者 李彦睿 任晓娜 《中国战略新兴产业(理论版)》 2019年第6期0135-0135,共1页
在实际的建筑工程项目建设中,工程测量是至关重要的环节之一,其质量的好坏将会直接影响到工程建设质量, 更是后续各项施工活动顺利开展的必要条件。但是,随着社会的快速发展,工程结构形式也变得越来越多样性与复杂化,这 就对施工技术提... 在实际的建筑工程项目建设中,工程测量是至关重要的环节之一,其质量的好坏将会直接影响到工程建设质量, 更是后续各项施工活动顺利开展的必要条件。但是,随着社会的快速发展,工程结构形式也变得越来越多样性与复杂化,这 就对施工技术提出了更高层次的要求。因此,各大建筑企业也开始意识到这一问题的重要性,纷纷加强了对测绘技术的优化 与完善,形成了一种全新的测绘技术体系,使其成为提高工程建设质量的关键性技术手段,并从一定程度上,有效推动了我 国测绘事业的快速发展。文章通过对测绘新技术在工程测量中的应用和实践进行分析,以期待更好的促进测绘技术的应用和 发展。 展开更多
关键词 测绘 新技术 测量
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大九湖:从迷雾中走来
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作者 韩晓玲 李彦睿 《林业与生态》 2013年第9期42-44,共3页
与大九湖安静地相遇 骤雨初歇。数声鸡鸣,唤醒了大九湖的清晨。山峰间萦绕着薄薄的雾气,云影逐波,浓淡相宜,氤氲成一幅水墨画。自琵鹭低低地掠过湖面,鸳鸯悠闲地划水,时有鱼儿跃出。湖畔,密林翠色欲滴,画眉鸟在枝头啼啭,虫子... 与大九湖安静地相遇 骤雨初歇。数声鸡鸣,唤醒了大九湖的清晨。山峰间萦绕着薄薄的雾气,云影逐波,浓淡相宜,氤氲成一幅水墨画。自琵鹭低低地掠过湖面,鸳鸯悠闲地划水,时有鱼儿跃出。湖畔,密林翠色欲滴,画眉鸟在枝头啼啭,虫子在草丛中浅唱低吟,声音里仿佛还带着潮湿的味道。 展开更多
关键词 水墨画 画眉鸟 鸡鸣 鸳鸯 草丛
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一种振动式轨道除冰雪装置的设计
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作者 张现亮 李彦睿 栾金川 《机电信息》 2019年第20期118-119,共2页
设计了一种振动式轨道除冰雪装置,该装置由调速开关、机架、电池、驱动装置、两个电动空气压缩机、两组吹雪装置、两组振动除冰装置和两组吹冰装置组成.当轨道上有积雪时,该装置中的两组吹雪装置可吹去轨道表面上的雪,然后再由两组振动... 设计了一种振动式轨道除冰雪装置,该装置由调速开关、机架、电池、驱动装置、两个电动空气压缩机、两组吹雪装置、两组振动除冰装置和两组吹冰装置组成.当轨道上有积雪时,该装置中的两组吹雪装置可吹去轨道表面上的雪,然后再由两组振动除冰装置去除冻在轨道上的冰,最后两组吹冰装置将碎冰吹走,极大地提高了轨道除冰雪的效率,减轻了工人的劳动强度,保障了火车的行车安全. 展开更多
关键词 振动式 轨道 除冰雪 效率
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“路神”穿通“现代门”
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作者 刘娜 谢慧敏 李彦睿 《村委主任》 2016年第15期30-31,共2页
故事演绎 问起店子坪村这些年修了多少条路。老主任王从新一清二楚。“最新修的这条叫‘愚公二路’,经杨桥河到申酉坪。国娃子说,这条路通了。我们村就跟石门河景区连成一片了!”王从新口中的“国娃子”,是湖北省建始县龙坪乡店子坪... 故事演绎 问起店子坪村这些年修了多少条路。老主任王从新一清二楚。“最新修的这条叫‘愚公二路’,经杨桥河到申酉坪。国娃子说,这条路通了。我们村就跟石门河景区连成一片了!”王从新口中的“国娃子”,是湖北省建始县龙坪乡店子坪村党支部书记王光国,他的二儿子,今年45岁。“ 展开更多
关键词 穿通 村党支部 湖北省 景区
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无取向硅钢中第二相的析出行为 被引量:2
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作者 徐阳 李彦睿 +3 位作者 刘宝胜 刘雯 张少华 卫英慧 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期47-54,共8页
使用扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)等手段并结合热力学和动力学计算,研究了无取向硅钢900~1000℃常化处理过程第二相的析出行为。结果表明,无取向硅钢中的第二相主要为AlN和少量MnS。AlN和MnS在不同基体相(α相、γ相及(α+γ)两相)中有... 使用扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)等手段并结合热力学和动力学计算,研究了无取向硅钢900~1000℃常化处理过程第二相的析出行为。结果表明,无取向硅钢中的第二相主要为AlN和少量MnS。AlN和MnS在不同基体相(α相、γ相及(α+γ)两相)中有三种析出形核机制(均匀形核、晶界形核和位错形核),其临界形核半径(d*)都随常化温度的提高而增大。在同一温度下,相对于其他基体相AlN在(α+γ)两相区中晶界形核的临界形核功最小,相对形核率最大,因此以晶界形核为主;而MnS在α相中位错线上临界形核半径最小,相对形核率大,开始析出温度低,因此以位错形核为主。 展开更多
关键词 金属材料 无取向硅钢 第二相 热处理 热力学 动力学
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