多晶硅生产废气处理的工艺技术

多晶硅生产企业中因存在各种生产工艺,所产生的废气组分各有不同,对于不同组分或者不同性质的废气,如何选择一条更经济、更安全、性价比更高的工艺路线,将显得格外重要,文章介绍了多晶硅生产企业在废气处理单元根据不同工艺下废气处理工艺的选择策略。