动态流量法超高真空标准装置

研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。校准系统采用四球结构 ,校准球室直径为50 0mm。极限真空度为 6 5× 10 - 9Pa ,校准范围为 10 - 2 ～ 10 - 7Pa ,不确定度为 3% (10 - 2 ～ 10 - 6 Pa)和10 % (10 - 7Pa)。

气体微流量标准装置的研制

气体微流量标准是校准气体微流量的一种装置，可用于传递型和应用型参考漏孔及气体微流量计的校准。它由恒压式微流量计、流量校准系统、待校流量引入系统和测量与控制系统四部分组成。恒压式微流量计的变容室采用了活塞液压驱动波纹管结构，活塞的平动由恒力矩测速电机驱动导轨平动机构完成，活塞的位移用精密光栅尺测量。在流量测量过程中，测量与控制系统将变容室和参考室之间的压力差控制在工作压力值的0．01％之内。该标准装置可采用直接测量法和比较测量法对气体微流量进行校准，其量程为1．71～1．22×10－5PaL／S，不确定度＜2％。

气体微流量标准装置

介绍了气体微流量标准装置的工作原理，并对其测量不确定度进行了分析与验证。测试结果表明：流量的校准范围为１７．１～１．２２×１０￣（－５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体 ,集成化是指将多只真空计组合为一体 ,系统化是指将真空度的测量与控制相结合 ,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技术迅速发展的技术推动下 ,为满足应用的需求而产生的结果。

气体微流量测量及标准装置概论

本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式气体微流量计的原理、结构、下限因素和不确定度等基本问题。简略地介绍了我们在这方面的工作和特点。

真空漏孔的校准方法

在检漏工作中，要定量地确定被检漏孔的漏率，需要将漏率的量值从气体微流量标准或漏率标准正确地传递到质谱检漏仪。在这个传递过程中，对参考漏孔的校准是一个很重要的环节。以国内外有关的标准和文献为基础，对真空漏孔的常用校准方法──定容变压法、恒压变容法、变容变压法和比较法分别给予分析和介绍。

恒压式微流量计的研制

介绍了恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了实验结果，流量测量范围为３．４９～１．９７×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２．２５％。该微流量计己用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。

高精度定压式流量计的理论分析

介绍了在研制高精度定压式流量计过程中所做的物理分析,着重对工作过程和误差因素进行了研究。通过实验分析和理论计算,已初步弄清了其工作过程及测量中的各种误差源;流量计恒温是实现高精度,低下限的关键,在结构设计和实际测量中应得到足够重视.

电容规的计量学特性研究

本文从多方面研究了电容规的计量学特性。研究表明高压测量用规的零点稳定性主要受外界温度的影响,而低压测量电容规的零点在外界温度缓变时主要受膜片稳定性、线路稳定性等内在因素的影响。分析了温度突变对零点及测量的影响,指出了低压测量规零点的单调漂移性,指出了膜片受力发生形变对测量的严重影响。推导出了计算不确定度的公式。提出了一些有关电容规精密计量应用和一般使用方面的重要建议。研究结果对于电容规用作传递标准规、副标准规及精确测量规来说都具有重要的实用价值。

球形和圆柱形系统内分子流场分布的对比研究

本文利用蒙特卡罗方法模拟了球形和柱形系统中分子流场的分布,给出了分布曲线。认为用柱形系统代替球形系统进行校准或测量时,若要求系统误差较小,有效测量区为柱形系统赤道附近、高约为柱高1/5的区域。通过对动态流量法测量系统的分析,得出采用测流量法比前级测压强法带来的系统误差要小的结论。对将公式P=Q/C_2和P=C_1P_1/(C_1+C_2)分别用于球形和柱形测量系统时,给出了修正系数。研究结果为多种真空系统的设计和应用提供了可靠的依据。

磁悬浮转子规测量上限的扩展

在考虑磁悬浮转子规转子衰减率(-ω_1/ω)高次项的基础上,通过理论和实验相结合的方法拟合出一新公式,从而将磁悬浮转子规的测量上限扩展至10Pa,并在整个压力范围内采用该公式进行测量更为合理。

电容薄膜规的发展和现状

本文介绍了电容薄膜规的四个发展阶段和现状．综述了各阶段的制造、性能特点。对电容规的测量原理、校准技术、特别是主要性能进行了详细讨论。并就电容规的实际使用给出了可供借鉴的操作模式。

正压漏孔的校准方法

随着吸枪式质谱计检漏法的广泛应用，在有些应用领域中，对正压检漏法的定量性提出了更高的要求。解决正压检漏定量性问题的关键之一，就是要精确地校准正压漏孔。校准正压漏孔的主要方法有：恒压变容法、定容变压法、变容变压法、动态比较法和理论推算法。这些方法既有各自的优点，也存在各自的不足。在实验研究的基础上，对以上各种方法的适用性、局限性、误差分析和尚需解决的问题作一探讨和评价。

吸枪式质谱计检漏法的定量性研究

一般情况下，吸枪法检漏很少具有定量性。本文介绍的方法。

φ500制冷机低温泵及其性能测试

介绍了φ500制冷机低温泵的系统组成及其结构设计的特点。着重叙述了泵的性能测试方法,并通过实验测试了其主要性能指标。泵的工作压力范围为10^(-1)～10^(-7)Pa,对各种气体均有较大的抽速,并具有操作使用方便、性能稳定可靠、系统清洁无油等优点。

渡边文夫的极高真空测量研究评介

渡边文夫对极高真空（XHV）测量的系统而有成效的研究，受到国际同行的注目，其中最有实用价值和创新意义的是离子谱规，此规大大降低了X射线效应、电子激励解吸效应和热出气效应，可测量10-12Pa的XHV。本文试图较全面地评介渡边文夫的XHV测量研究工作，以资借鉴。

动态真空系统中气流状态的评价参数

在动态真空系统中,气体状态具有非均匀性及各向异性,此时若仍用压力等平衡态概念来描述气体状态,显然是不准确的。根据视角系数法的基本理论和计算结果,定义了真空系统中抽气性能评价多数,以及空间环模设备模拟宇宙空间分子沉的能力评价参数.通过对同心球系统中分子流场的具体分析,闸述了两个参数的物理意义。并用两个实例对α和β参数的应用作了更进一步的说明。

定容式气体微流量计的测量误差分析

从原理上对定容式气体微流量计（ＣＶＦＭ）和带参考室的ＣＶＦＭ的流量测量误差进行了理论分析。测量过程中温度变化对ＣＶＦＭ的流量测量误差作用较大，是影响ＣＶＦＭ测量下限的一个主要因素。为ＣＶＦＭ增加一个参考室，可以减少测量过程中温度变化对ＣＶＦＭ的流量测量误差的贡献。

日本的极高真空技术研究

介绍了去日本考察的情况。其内容涉及极高真空获得,极高真空测量。在极高真空获得方面,集中于降低出气量;在极高真空测量方面,集中于降低电子激励解吸效应。

载人航天与空间真空

载人航天为空间真空的应用和研究开辟了新的领域。介绍了有效负载平台区分子流场的测量、分子屏—遮风区内更好真空的获得与利用、分子束成形装置以及空间微重力条件下的有关实验。