基于白光干涉仪的轴尖表面粗糙度检测技术研究

针对轴尖微小球面表面粗糙度的检测难题,开发了基于Taylor CCI白光干涉仪的检测技术。以VLSI 18nm台阶高度标准片对仪器进行针对性的高度测量校准,并以专门制备的R_a12nm多刻线样板进行粗糙度测量精度验证,在此过程中同时对仪器的工作参数进行优化调整,包括采用二阶多项式算法去除表面形状对测量结果的影响等。实测数据和测量不确定度分析的结果证明达到了不确定度R_a2nm的精度水平,实现了轴尖表面粗糙度的准确测量。

人大监督到位 开发保护并重——广南县人大常委会关注老寨湾金矿山环保治理侧记

深秋时节，笔者走进位于广南县境内旧莫乡与珠街镇、那洒镇交界处的老寨湾金矿山，放眼望去，进矿山公路两旁已初长成林的桉树披着晨光，苍翠欲滴；闭坑后的山坡上一排排新种下的桉树幼苗均已成活，正茁壮成长。进入矿区总部，鲜花绽放，环境优美，映人眼帘的是：“以人为本，创新为源，效益优先，安全为天”十六个金色大字，使人瞬间感受到一种现代企业的经营理念。