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小型化气体声学温度计的研究
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作者 李明达 邢力 +3 位作者 司明浩 冯晓娟 张金涛 王小杰 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第2期150-156,共7页
为促进气体声学原级测温技术的实用化发展,基于圆柱气体声学共鸣法测量热力学温度的原理,研制了内径10 mm、外径12 mm、内长40 mm的小型化气体声学温度计,采用优化的声学传感器提高了待测声压强度,开展了常压下常温至782 K的实验测试。... 为促进气体声学原级测温技术的实用化发展,基于圆柱气体声学共鸣法测量热力学温度的原理,研制了内径10 mm、外径12 mm、内长40 mm的小型化气体声学温度计,采用优化的声学传感器提高了待测声压强度,开展了常压下常温至782 K的实验测试。对采用声波导管的小型化圆柱腔内常压空气进行测量,结果显示,在782 K时的声学共鸣频率相对标准偏差小于0.2%;修正了边界层及导管扰动后,基于空气声速的热力学关系,以常温为相对法的参考,获得了407~782 K的热力学温度,测量不确定度为0.76~2.93 K(k=1)。该研究为原级气体声学温度计在恶劣或特殊环境下的应用提供了可能。 展开更多
关键词 温度计量 气体声学温度计 圆柱气体声学共鸣法 热力学温度 小型化
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面向碳中和的中国电能替代发展路径规划方法探讨 被引量:1
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作者 李明达 《自动化应用》 2023年第5期36-38,共3页
我国对低碳经济发展战略的支持,反映了我国在应对气候变化、构建人类命运共同体方面的担当和责任。文章分析了碳中和的任务,说明了其艰巨性,并研究面向碳中和的中国电能替代发展路径,探究电能替代发展路径的规划方法和思路,为电能发展... 我国对低碳经济发展战略的支持,反映了我国在应对气候变化、构建人类命运共同体方面的担当和责任。文章分析了碳中和的任务,说明了其艰巨性,并研究面向碳中和的中国电能替代发展路径,探究电能替代发展路径的规划方法和思路,为电能发展提供可持续发展思路。 展开更多
关键词 碳中和 可持续发展 电能 替代发展
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碳酸盐胁迫对水生动物生理影响的研究进展
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作者 曹雪 雷新雨 +3 位作者 郭政要 李明达 赵国至 月红 《科学养鱼》 2024年第4期79-81,共3页
我国是世界上土壤盐碱化较严重的国家之一,约有6.9亿亩盐碱水面,在世界水资源中占有较高的比例(Wang F等,2022)。因其具有碳酸盐碱度高、pH高、离子比例失衡等特点,大部分尚未被开发利用。目前,为拓宽渔业发展空间,针对盐碱地改良技术... 我国是世界上土壤盐碱化较严重的国家之一,约有6.9亿亩盐碱水面,在世界水资源中占有较高的比例(Wang F等,2022)。因其具有碳酸盐碱度高、pH高、离子比例失衡等特点,大部分尚未被开发利用。目前,为拓宽渔业发展空间,针对盐碱地改良技术的研究也越来越多,其中“以渔治碱”技术备受重视。盐碱水通常具有相对较高的pH和碳酸盐碱度。高pH会抑制水生动物体内的氨排泄,增加二氧化碳排泄。 展开更多
关键词 盐碱地改良 土壤盐碱化 生理影响 世界水资源 碳酸盐碱度 水生动物 盐碱水 比例失衡
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前置式并联液压混合动力车辆控制系统研究
4
作者 董晗 金鑫 +4 位作者 李明达 冀秉魁 姚雪萍 蔡晓龙 徐广斌 《机床与液压》 北大核心 2023年第14期45-53,共9页
并联式液压混合动力车辆因涉及内燃机、液压混合动力2种动力源协同工作,所以车辆的控制系统更加复杂。针对此问题,在车辆结构上引入前置式并联结构,通过对液压混合动力车辆的功能和目标进行分析,确定了液压混合动力车辆的工作模式,在此... 并联式液压混合动力车辆因涉及内燃机、液压混合动力2种动力源协同工作,所以车辆的控制系统更加复杂。针对此问题,在车辆结构上引入前置式并联结构,通过对液压混合动力车辆的功能和目标进行分析,确定了液压混合动力车辆的工作模式,在此基础上采用MATLAB/Simulink和dSPACE控制器,建立车辆控制系统,进行仿真分析,并在实验车上采用该控制系统进行相应测试实验。结果表明:在重型车辆上应用前置式并联液压混合动力系统,节油效果明显;通过引入缓冲系数的控制策略,可有效减少混合动力系统介入或分离车辆运行所带来的冲击;在制动性能方面采用恒转矩控制策略,可以在更短的时间内减速至目标车速。 展开更多
关键词 液压混合动力 制动能量回收 液压蓄能器
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复杂底部结构下的重型载货汽车气动阻力 被引量:8
5
作者 李明达 隗海林 +1 位作者 门玉琢 包翠竹 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期731-736,共6页
针对具有复杂底部结构的五轴重型载货汽车气动阻力进行研究,建立了与实车外形结构一致的车辆模型,利用基于格子玻尔兹曼方法的计算流体动力学软件XFlow,模拟了模型外流场流体的宏观行为。进行了模型的格子尺度优化试验,得到整车模型的... 针对具有复杂底部结构的五轴重型载货汽车气动阻力进行研究,建立了与实车外形结构一致的车辆模型,利用基于格子玻尔兹曼方法的计算流体动力学软件XFlow,模拟了模型外流场流体的宏观行为。进行了模型的格子尺度优化试验,得到整车模型的空气阻力系数以及底部结构对整车气动阻力的影响。对模型底部压力分布、旋转车轮的表面速度分布、模型底部外流场速度分布、湍流强度分布以及车辆模型底部粒子轨迹线进行了分析,根据分析结果对车辆模型底部进行结构优化。仿真结果表明:车辆模型的空气阻力系数误差在6%以内,对模型底部结构进行优化可以降低整车空气阻力系数23%。 展开更多
关键词 交通运输系统工程 重型载货汽车 格子玻尔兹曼方法 XFlow 空气阻力系数
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平板式外延炉大尺寸硅外延层的均匀性调控 被引量:8
6
作者 李明达 陈涛 +1 位作者 普生 薛兵 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2017年第3期38-41,共4页
硅外延层是在硅单晶抛光衬底上采用化学气相沉积方法生长的一层单晶硅薄膜。本实验以150 mm的大尺寸硅抛光片为衬底生长高均匀性外延层,结合傅里叶变换红外线光谱分析(FT-IR)、电阻率测试仪等测试设备对外延层电学参数进行了分析。对平... 硅外延层是在硅单晶抛光衬底上采用化学气相沉积方法生长的一层单晶硅薄膜。本实验以150 mm的大尺寸硅抛光片为衬底生长高均匀性外延层,结合傅里叶变换红外线光谱分析(FT-IR)、电阻率测试仪等测试设备对外延层电学参数进行了分析。对平板式外延炉的流场、热场与厚度、电阻率均匀性的相互作用规律进行了研究,最终制备出表面质量良好、片内和片间不均匀性小于1%的外延层。 展开更多
关键词 硅外延层 化学气相沉积 厚度 电阻率 均匀性 缺陷
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新工科与多学科交叉融合的模块化教学设计
7
作者 蔡晓龙 徐广彬 +4 位作者 冀秉魁 姚雪萍 金鑫 范珺 李明达 《集成电路应用》 2023年第5期56-58,共3页
阐述PLC控制技术课程的新工科与多学科交叉融合的模块化教学设计,围绕传统电气及PLC控制技术理论及课程实践,改革传统学生培养模式,结合在机器人领域长期积累的科研和工作经历,探索建立了车辆工程、机器人工程及材料加工工程等多学科交... 阐述PLC控制技术课程的新工科与多学科交叉融合的模块化教学设计,围绕传统电气及PLC控制技术理论及课程实践,改革传统学生培养模式,结合在机器人领域长期积累的科研和工作经历,探索建立了车辆工程、机器人工程及材料加工工程等多学科交叉融合的PLC课程体系。探讨突破学科界限,以模块化项目式教学为载体,面向市场需求及经济发展,设计多层次、多维度、多元化项目式教学内容,以新理念、新模式培养具有可持续竞争力的创新型卓越工程人才。 展开更多
关键词 新工科 控制技术 PLC 多学科交叉融合 模块化教学
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多参数检测下载货汽车制动过程危险状态辨识
8
作者 谢宝明 姚雪萍 +1 位作者 冀秉魁 李明达 《汽车科技》 2023年第1期9-15,共7页
制动系统相关故障和行车间距不足是导致载货汽车追尾和侧翻事故的主要原因,通过制动危险状态及其影响因素的分析,搭建车辆在途状态检测装置,获取载货汽车载荷、车速、制动系统状态数据;基于传感器数据进行了制动蹄片磨损程度异常、制动... 制动系统相关故障和行车间距不足是导致载货汽车追尾和侧翻事故的主要原因,通过制动危险状态及其影响因素的分析,搭建车辆在途状态检测装置,获取载货汽车载荷、车速、制动系统状态数据;基于传感器数据进行了制动蹄片磨损程度异常、制动蹄片温度异常状态和制动灯故障等单参数制动危险状态辨识;通过对制动过程中车辆进行动力学分析,建立了多参数制动距离计算模型,为标定模型参数,设计并完成了车辆滑行试验;通过仿真及实车试验,对载货汽车制动距离模型的有效性进行了验证。基于多参数制动距离模型,提出了一种检测载货汽车制动过程中的危险状态的方法。 展开更多
关键词 载货汽车 状态检测 制动过程 仿真分析 危险辨识
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盐胁迫条件下酿酒酵母的代谢通量分析 被引量:4
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作者 李明达 陈霞 +2 位作者 韩丹 莫新迎 赵长新 《吉林大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期699-703,共5页
用计算代谢通量的方法研究酿酒酵母(Saccharomyces cerevisiae)在高盐胁迫条件下的生理代谢.结果表明,在盐胁迫条件下,胞外海藻糖、甘油、乙醇和乳酸的质量浓度分别较常规培养条件下提高了24.44%,60.89%,23.32%和26.76%,而柠檬酸、琥珀... 用计算代谢通量的方法研究酿酒酵母(Saccharomyces cerevisiae)在高盐胁迫条件下的生理代谢.结果表明,在盐胁迫条件下,胞外海藻糖、甘油、乙醇和乳酸的质量浓度分别较常规培养条件下提高了24.44%,60.89%,23.32%和26.76%,而柠檬酸、琥珀酸和苹果酸的质量浓度分别较常规培养条件下降低了82.11%,50.37%和53.33%.代谢通量分析表明,在盐胁迫培养条件下糖酵解途径各支路的代谢产物通量均有所增加,而TCA循环中各代谢产物的通量均有所减少. 展开更多
关键词 酿酒酵母 盐胁迫 代谢流分析
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150mm NN+结构的外延材料厚度与电阻率分布控制工艺研究
10
作者 高航 李明达 《集成电路应用》 2023年第2期32-35,共4页
阐述利用150mm直径的重掺杂硅抛光片,外延生长N/N+结构的厚层高阻外延层,通过流场结构以及热场结构的设计与实施,并与外延层厚度、电阻率均匀性的交互作用规律相结合,通过傅立叶变换红外线光谱分析仪(FT-IR)、电容-电压测试仪(C-V)等测... 阐述利用150mm直径的重掺杂硅抛光片,外延生长N/N+结构的厚层高阻外延层,通过流场结构以及热场结构的设计与实施,并与外延层厚度、电阻率均匀性的交互作用规律相结合,通过傅立叶变换红外线光谱分析仪(FT-IR)、电容-电压测试仪(C-V)等测试设备对外延厚度和电阻率参数进行了分析,得到了一种不均匀性<2%的外延层。结果显示,随着两边的气流的增大,外延层的参考平边厚度也随之增大,而平均厚度则降低了。随着径向温度偏差的降低,外延层的电阻率与厚度不均匀性有显著的提高。采用这种趋势特点,通过对气流场和热场结构的制备,得到了外延层的电阻率和厚度不均匀性的显著改善。 展开更多
关键词 硅外延 功率器件 厚度 电阻率 均匀性
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淀粉的物理化学状态对淀粉接枝高吸水性树脂吸水性能的影响 被引量:13
11
作者 李明达 周永元 《东华大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期52-55,共4页
主要讨论了淀粉在参与接枝聚合反应前的物理和化学状态对最终淀粉接枝高吸水性树脂的吸水性能的影响。实验说明 ,淀粉在参加接枝聚合反应之前进行一定温度范围条件下的预糊化处理有利于最终产品的吸水性能 ;淀粉经过阳离子化后接枝丙烯... 主要讨论了淀粉在参与接枝聚合反应前的物理和化学状态对最终淀粉接枝高吸水性树脂的吸水性能的影响。实验说明 ,淀粉在参加接枝聚合反应之前进行一定温度范围条件下的预糊化处理有利于最终产品的吸水性能 ;淀粉经过阳离子化后接枝丙烯酸 (钠 )对强电解质溶液的吸收倍率高于原淀粉接枝产品。 展开更多
关键词 物理化学状态 淀粉 淀粉接枝丙烯酸 高吸水性树脂
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具有三层复合结构的P型硅外延片制备工艺研究 被引量:3
12
作者 李明达 陈涛 +1 位作者 普生 薛兵 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第2期31-34,共4页
对10.16 cm(4英寸)三层复合结构P型硅外延片的制备工艺进行了研究。利用PE-2061S型桶式外延炉,在重掺硼的硅衬底上采用化学气相沉积的方法成功制备P^-/P^+/P/P^+型硅外延层。通过FT-IR(傅里叶变换红外线光谱分析)、C-V(电容-电压测试)、... 对10.16 cm(4英寸)三层复合结构P型硅外延片的制备工艺进行了研究。利用PE-2061S型桶式外延炉,在重掺硼的硅衬底上采用化学气相沉积的方法成功制备P^-/P^+/P/P^+型硅外延层。通过FT-IR(傅里叶变换红外线光谱分析)、C-V(电容-电压测试)、SRP(扩展电阻技术)等测试方法对各层外延的电学参数以及过渡区形貌进行了测试,最终得到结晶质量良好、厚度不均匀性<3%、电阻率不均匀性<3%、各界面过渡区形貌陡峭的P型硅外延片,可以满足器件使用的要求。 展开更多
关键词 雪崩光电二极管 三层复合结构 P型硅 外延片 过渡区 均匀性
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双极型晶体管用常压埋层硅外延的图形完整性研究
13
作者 高航 李明达 《集成电路应用》 2023年第2期28-31,共4页
阐述埋层硅外延片作为当今双极型晶体管的关键战略材料,应用价值显著。但是相比常规无图案的抛光片外延,埋层硅外延制备工艺受制于外延均匀性、表面质量等参数制约,难度显著增加。基于<111>晶向的埋层硅外延将与<110>定位... 阐述埋层硅外延片作为当今双极型晶体管的关键战略材料,应用价值显著。但是相比常规无图案的抛光片外延,埋层硅外延制备工艺受制于外延均匀性、表面质量等参数制约,难度显著增加。基于<111>晶向的埋层硅外延将与<110>定位面垂直的方向发生图形漂移,而且反应副产物HCl会腐蚀硅片表面,图形台阶处因为取向不同,使各方向腐蚀速率不同产生图形畸变,导致光刻工艺下的对位标记无法进行。本文解释了外延生长过程中图形漂移和畸变原理,验证了生长温度、反应速率对图形漂移和畸变的影响,通过优化外延工艺参数,严格控制生产工艺,可以满足埋设层外延工艺的特殊要求,最终成功在常压状态下控制了图形漂移和畸变。 展开更多
关键词 硅外延 埋层 图形漂移 图形畸变
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我国竞技体育运动员人力资本产权流动探析 被引量:3
14
作者 李明达 宋君毅 王春阳 《山东体育学院学报》 CSSCI 北大核心 2010年第10期22-25,共4页
资本的流动性是经济社会的重要特征,流动将增加经济资源的价值,作为经济资源之一的人力资本也不例外。在现代社会经济中,人力资本已成为经济增长的重要生产要素之一。本研究着重探讨了我国竞技体育职业化过程中运动员人力资本产权流动... 资本的流动性是经济社会的重要特征,流动将增加经济资源的价值,作为经济资源之一的人力资本也不例外。在现代社会经济中,人力资本已成为经济增长的重要生产要素之一。本研究着重探讨了我国竞技体育职业化过程中运动员人力资本产权流动的特征、动力和阻力因素,并对如何加快竞技体育运动员人力资本产权流动,促进和深化竞技体育职业化和商业化提出了合理化建议。 展开更多
关键词 竞技体育 运动员人力资本产权 流动 要素市场 制度环境
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150mm掺P硅衬底外延层的制备及性能表征 被引量:8
15
作者 李明达 普生 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期67-72,共6页
为适应肖特基二极管降低正向导通电压和制造成本的需要,采用150mm的掺P硅抛光片为衬底,通过化学气相沉积制备高阻硅外延层。利用傅里叶变换红外线光谱、电容-电压测试等方法对外延电学参数进行了测试和分析。对平板式外延炉的流场、热... 为适应肖特基二极管降低正向导通电压和制造成本的需要,采用150mm的掺P硅抛光片为衬底,通过化学气相沉积制备高阻硅外延层。利用傅里叶变换红外线光谱、电容-电压测试等方法对外延电学参数进行了测试和分析。对平板式外延炉的流场、热场与硅外延层厚度、电阻率均匀性的关系进行了研究。在此基础上采用周期变化的气流在外延层生长前反复吹扫腔体,进一步降低了非主动掺杂的不良影响,结合优化的流场和热场条件,最终制备出表面质量优、均匀性好的外延层,满足了厚度和电阻率不均匀性都小于1.0%的目标需求。采用该外延材料制备的肖特基二极管的正向导通电压降低了17.1%,显著减小了功耗,具备了良好的应用前景。 展开更多
关键词 硅外延层 均匀性 非主动掺杂 肖特基二极管 正向导通电压
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列队行驶工况下的油罐车气动阻力研究 被引量:2
16
作者 李明达 隗海林 +1 位作者 门玉琢 包翠竹 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期29-34,43,共7页
为研究列队行驶车辆的气动阻力影响,通过基于格子玻尔兹曼方法(LBM)的计算流体动力学软件XFlow,对2辆油罐车列队行驶进行空气动力学分析.首先,建立了与实车外形一致的1∶10油罐车模型,保留了结构的复杂性;进行了格子尺度优化试验,对模... 为研究列队行驶车辆的气动阻力影响,通过基于格子玻尔兹曼方法(LBM)的计算流体动力学软件XFlow,对2辆油罐车列队行驶进行空气动力学分析.首先,建立了与实车外形一致的1∶10油罐车模型,保留了结构的复杂性;进行了格子尺度优化试验,对模型表面速度场、湍流强度分布以及各部件对油罐车空气阻力的影响进行了研究;完成了不同行驶间距下与变道过程中的计算流体动力学(CFD)仿真,得到了车辆的气动阻力变化规律;最后,对列队行驶车辆进行了燃油经济性分析.结果表明:列队行驶技术是油罐车节能减排的有效途径,2辆油罐车在30 m/s的速度下列队行驶时,可节省燃油10.69%. 展开更多
关键词 列队行驶 格子玻尔兹曼方法 空气动力学分析 无网格技术
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快速恢复外延二极管用150mm高均匀性硅外延材料的制备 被引量:9
17
作者 李明达 普生 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 2017年第5期366-374,共9页
利用PE3061D型平板式外延炉,在150mm的重掺As的硅单晶衬底上采用化学气相沉积(CVD)方法制备参数可控且高均匀性的外延层,通过聚光灯、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、汞探针电容-电压测试仪(Hg CV)等测试设备分别研... 利用PE3061D型平板式外延炉,在150mm的重掺As的硅单晶衬底上采用化学气相沉积(CVD)方法制备参数可控且高均匀性的外延层,通过聚光灯、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、汞探针电容-电压测试仪(Hg CV)等测试设备分别研究了外延层的表面形貌、微粗糙度、厚度、电阻率以及均匀性参数。采用了基座浅层包硅技术、周期性滞留层杂质稀释技术、高温快速二次本征生长技术、温场流场调控技术等新型工艺技术,使外延层厚度满足(15±2%)μm,电阻率满足(15±2%)Ω·cm的设计要求,片内厚度和电阻率不均匀性达到<2%的水平。制备的硅外延材料应用于FRED的试产,击穿电压高于125V,晶圆的成品率达到90%以上,满足了120VFRED器件使用要求,实现了自主可控。 展开更多
关键词 硅外延材料 均匀性 化学气相沉积 快速恢复外延二极管
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120 V超快软恢复二极管用大尺寸硅外延材料工艺研究 被引量:2
18
作者 李明达 陈涛 薛兵 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第A02期88-92,106,共6页
硅外延材料具有厚度和电阻率能精确调控、结晶完整性良好的优势,能够有效降低功耗,改善击穿电压,广泛应用于半导体分立器件。外延层厚度、电阻率、均匀性、晶格质量等参数指标直接决定了所制分立器件的良率和性能。通过研究平板式外延... 硅外延材料具有厚度和电阻率能精确调控、结晶完整性良好的优势,能够有效降低功耗,改善击穿电压,广泛应用于半导体分立器件。外延层厚度、电阻率、均匀性、晶格质量等参数指标直接决定了所制分立器件的良率和性能。通过研究平板式外延炉的热场和流场分布对材料均匀性的调制规律,在150 mm的大尺寸硅单晶衬底上化学气相沉积了高均匀性的硅外延材料。利用原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、汞探针电容-电压测试仪(Hg-CV)等测试设备分别研究了外延材料的表面形貌、平整度、微粗糙度、厚度、电阻率、均匀性等参数。最终制备的外延材料的厚度和电阻率片内标准偏差均小于2%,而且表面无雾、滑移线等缺陷。制备的高均匀性的外延材料在应用于耐压为120 V的超快软恢复二极管后,解决了边缘电压低击穿现象,显著提升了器件的产出良率。 展开更多
关键词 硅外延材料 均匀性 化学气相沉积 超快软恢复二极管
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“素质冰山”视角下高职学生隐性职业素养培养浅论 被引量:21
19
作者 李明达 杨多海 《职业教育研究》 2015年第6期53-56,共4页
当前,隐性职业素养的欠缺成为影响高职学生就业和职业发展的瓶颈。职业指导作为高职教育的重要内涵,必须以职业能力标准为导向,以学生全面、协调、可持续发展为目标,创新职业指导理念,探索职业指导模式,多途径强化学生隐性职业素养培育... 当前,隐性职业素养的欠缺成为影响高职学生就业和职业发展的瓶颈。职业指导作为高职教育的重要内涵,必须以职业能力标准为导向,以学生全面、协调、可持续发展为目标,创新职业指导理念,探索职业指导模式,多途径强化学生隐性职业素养培育和塑造的过程性指导,从根本上提升学生的就业竞争力和职业发展后劲。 展开更多
关键词 素质冰山理论 隐性职业素养 职业指导
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低功耗肖特基整流器件用200 mm高均匀性硅外延层生长工艺 被引量:3
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作者 李明达 普生 薛兵 《科学技术与工程》 北大核心 2018年第36期205-210,共6页
200 mm硅外延片是肖特基器件的关键支撑材料,但是大尺寸硅外延层生长面临反应面积大、易受热流场扰动影响的问题,导致采用传统外延工艺始终未实现预期目标。利用Centura外延炉,在200 mm的硅单晶衬底上化学气相沉积(CVD)了结晶质量良好... 200 mm硅外延片是肖特基器件的关键支撑材料,但是大尺寸硅外延层生长面临反应面积大、易受热流场扰动影响的问题,导致采用传统外延工艺始终未实现预期目标。利用Centura外延炉,在200 mm的硅单晶衬底上化学气相沉积(CVD)了结晶质量良好且高均匀性的外延层,外延层厚度不均匀性<1. 0%,电阻率不均匀性<1. 1%,无滑移线、雾等缺陷。实验利用光学显微镜、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、汞探针电容-电压测试仪(Hg-CV)等测试设备分别研究了外延层的表面形貌、厚度和电阻率等参数。通过精确调节外延炉内的热场和流场分布,结合设计附面层杂质稀释、基座浅层包硅等技术,解决了参数一致性与稳定性问题,实现了高质量200 mm的硅外延层。 展开更多
关键词 硅外延层 晶体缺陷 均匀性 肖特基器件
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