绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响

基于半导体仿真软件Silvaco TCAD对薄膜晶体管(TFT)进行器件仿真,并结合实验验证,重点分析不同绝缘层材料及结构对TFT器件性能的影响。仿真及实验所用薄膜晶体管为底栅电极结构,沟道层采用非晶IGZO材料,绝缘层采用SiN_x和HfO_2多种不同组合的叠层结构。仿真及实验结果表明:含有高k材料的栅绝缘层叠层结构较单一SiN_x绝缘层结构的TFT性能更优;对SiN_x/HfO_2/SiN_x栅绝缘层叠层结构TFT,HfO_2取40nm较为合适;对含有高k材料的3层和5层绝缘层叠层结构TFT,各叠层厚度相同的对称结构TFT性能最优。本文通过仿真获得了TFT性能较优的器件结构参数,对实际制备TFT器件具有指导作用。

成人急性乙型肝炎基线HBsAg定量水平、动态变化及临床意义

目的探讨成人急性乙肝血清基线HBsAg定量水平、动态变化及临床意义。方法对89例AHB患者及101例CHB-AE患者的基线HBsAg定量、HBV-DNA载量、HBcAb-IgM及相关临床资料进行回顾性分析。结果①AHB患者基线log10 HBsAg定量为3.46(2.81,3.84)IU/mL;CHB-AE患者log10 HBsAg定量为3.61(3.12,4.13)IU/mL,AHB患者基线log10 HBsAg定量水平显著低于CHB-AE患者,两组差异有统计学意义(P<0.05);AHB与CHB-AE患者基线log10 HBV-DNA水平分别为4.54(3.73,5.59)IU/mL及6.87(5.79,7.59)IU/mL;HBcAb-IgM水平分别为20.62(16.54,26.33)IU/mL及0.24(0.13,0.48)IU/mL,两组比较,差异均有统计学意义(P<0.05)。②动态观察HBsAg定量变化,完成1个月随访的AHB log10 HBsAg定量为0.50(-1.30,1.75)IU/mL,27.1%患者出现HBsAg转阴;3个月随访后,89.0%AHB患者出现HBsAg转阴;6个月随访后,所有患者均HBsAg转阴。③基线1/log10 HBsAg水平≥0.204 IU/mL时,诊断AHB的敏感度为74.0%;基线1/log10 HBV-DNA水平≥0.581 IU/mL时,诊断AHB的敏感度为84.7%;基线HBcAb-IgM水平≥0.925 mIU/mL时,诊断AHB的敏感度为98.6%。结论AHB患者血清基线log10 HBsAg为3.46(2.81,3.84)IU/mL,显著低于CHB-AE患者;随访1个月时约1/4患者HBsAg阴转;随访3个月时超过4/5患者HBsAg阴转;随访6个月,全部患者HBsAg阴转。低HBsAg定量、低HBV-DNA载量及高HBcAb-IgM水平有助于AHB、CHB-AE两组患者的鉴别诊断。