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题名两步法腐蚀硅锥阴极阵列的工艺研究
被引量:1
- 1
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作者
朱长纯
淮永进
李毓民
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机构
西安交通大学电子工程系
北京电子管厂
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出处
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994年第6期426-430,共5页
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文摘
详细研究了利用硅的各向异性腐蚀、各向同性腐蚀制备硅锥阴极阵列的工艺。采用快速腐蚀与缓蚀削尖两步工艺,制备出了均匀、尖锐的硅锥阵列。其阵列密度可达106/cm2,硅锥曲率半径可做到20nm。
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关键词
各向异性
腐蚀
各向同性
两步法
硅锥
集成电路
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Keywords
Anisotropic etching,Isotropic etching,Two-step method,Silicon cone
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分类号
TN405.98
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名金属涂敷硅锥阴极的工艺研究
被引量:1
- 2
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作者
淮永进
朱长纯
吴春瑜
李毓民
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机构
西安交通大学电子工程系
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出处
《电子器件》
CAS
1994年第3期51-54,共4页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
本文比较了金属和硅两种场发射阴极的优缺点,研究了将两者优点结合在一起的金属涂敷硅阴极的制造工艺,比较了电镀法和溅射法制备的金属涂层对硅的附着力;采用先溅射后电镀的两步工艺制作出了较为理想的包全硅尖阵列。
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关键词
场致发射
阴极
溅射
工艺
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Keywords
Field emission,cathode ,sputtering
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分类号
TN305.92
[电子电信—物理电子学]
TG174.44
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名真空微电子二极管及微位移传感器的研究
被引量:1
- 3
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作者
朱长纯
王海笑
刘君华
关辉
李毓民
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机构
西安交通大学
北京电子管厂
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出处
《光电子技术》
CAS
1993年第2期40-45,共6页
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基金
国家基金委资助项目
国家教委资助项目
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文摘
首次用电荷模拟法计算了真空微电子二极管及真空微电子微位移传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布,进而计算了真空微电子二极管的电流一电压特性和微位移传感器的电流——位移(即阴、阳极间距)的关系曲线。模拟了两种结构的场致发射阴极:圆锥形和劈形。并用测试精度可达4nm 的水槽法模拟实验对计算结果进行了验证,理论计算与实验结果符合地很好。
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关键词
电荷模拟法
微电子器件
位置传感器
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Keywords
microvacuum displacement transducer
charge simulation method
calculations of field distribution
microvacuum divice
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分类号
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名氧化-削尖自对准多层金属栅的工艺研究
- 4
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作者
朱长纯
淮永健
吴春瑜
李毓民
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机构
西安交通大学电子工程系
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出处
《电子器件》
CAS
1994年第3期47-50,共4页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
真空平板显示器的底板主要由场发射阴极和金月栅极构成。本文报告了TI-W-Au三层金属栅极代替过去的铝栅,解决了栅与绝绝层SiO_2的附着问题和金属离子迁移问题而又便于压焊引线,本文报告了氧化削尖对准工艺解决了栅阴套准的问题。
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关键词
场发射阴极
栅极
氧化
工艺
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Keywords
Field emitter array,gate,oxidization
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分类号
O462.4
[理学—电子物理学]
TN105
[电子电信—物理电子学]
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题名高效节能灯获突破性进展
被引量:1
- 5
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作者
李毓民
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机构
北京电子管厂
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出处
《真空电子技术》
北大核心
1991年第4期38-40,共3页
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文摘
北京电子管厂,在各有关单位的大力支持配合下,经过近三年的努力,建成了年产30万只双U紧凑型高效节能灯科研试制线,于90年底通过了北京市科委的鑑定验收,同时进行了产品生产定型。由此,我国具有了世界上最难的、有中国特色的双U紧凑型节能灯批量生产的能力;在产品质量方面,达到或接近了IEC国际标准,使高效节能灯在我国获得突破性进展。
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关键词
节能灯
灯具
三基色荧光粉
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分类号
TS956
[轻工技术与工程]
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题名探索研究沙产业开发的思路、举措与途径
被引量:4
- 6
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作者
李毓民
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机构
国家林业局甘肃濒危动物保护中心
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出处
《农业开发与装备》
2018年第9期58-59,共2页
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文摘
沙产业的发展理论构想最初是由著名科学家钱学森提出的,经过长时间的不断探索和发展,对于沙产业概念有了进一步的了解,为沙产业的发展奠定了基础。沙产业理论经历了许多不同的阶段,比如说经济型、生态型、农业型和知识型,每一个阶段都是沙产业理论发展的重要内容。
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关键词
沙产业
理论体系
实践进程
生态经济
可持续发展
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分类号
F326
[经济管理—产业经济]
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题名试论植物营养学是种植业的基础科学
被引量:3
- 7
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作者
李毓民
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机构
国家林业局甘肃濒危动物保护中心
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出处
《现代园艺》
2018年第12期221-222,共2页
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文摘
我国是一个农业大国,十分重视种植业的发展,我国的植物营养学研究理念注重对林木病理学、经济林栽培、植物微生物学、养料利用和土壤污染等方面的研究,为我国农业种植业的发展提供科学的参考。本文对植物营养学概述、研究范围及植物营养学对种植业的重要性进行分析,并对其相应的研究方法进行阐述。
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关键词
植物营养学
种植业
基础科学
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分类号
S184
[农业科学—农业基础科学]
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题名甘肃省沙区宜栽植物新品种研究
- 8
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作者
李毓民
李梅英
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机构
国家林业局甘肃濒危动物保护中心
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出处
《林业勘查设计》
2018年第4期104-106,共3页
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文摘
从引种表现和栽培要点两个方面,逐个分析了大果沙棘、太阳李、沙枣和黄金梨在甘肃沙区的宜栽性。
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关键词
甘肃地区
沙区
适宜栽植
植物新品种
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Keywords
Gansu area
sandy area
suitable planting
new plant varieties
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分类号
S731
[农业科学—林学]
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题名电光源新秀——紧凑型高频节能灯
- 9
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作者
李毓民
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机构
北京电子管厂
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出处
《真空电子技术》
北大核心
1990年第1期16-20,共5页
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文摘
本文阐述了紧凑型高频节能灯的发展前景及其特点和在节能方面所发挥的效力。同时还提出了我国当前发展节能灯方面存在的问题和发展的意见。
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关键词
高频节能灯
三基色稀土
荧光粉
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分类号
TM923.321
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名紧凑型三基色节能灯发展设想及建议
- 10
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作者
李毓民
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机构
北京电子管厂
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出处
《真空电子技术》
北大核心
1990年第5期29-33,共5页
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文摘
本文阐述紧凑型三基色节能灯的发展前途和目前我国节能开发生产的形势。作者着重提出了我国节能灯发展的具体建议。
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关键词
三基色
节能灯
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分类号
TM923
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名甘肃发展森林资源浅议
- 11
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作者
李毓民
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机构
国家林业局甘肃濒危动物保护中心
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出处
《农业开发与装备》
2019年第2期48-48,共1页
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文摘
甘肃地理位置特殊,生态区位显要,是重要的国家生态保护区,在国家生态文明建设中发挥着重要的作用。由此展开论述,分析甘肃森林资源特点,就甘肃森林资源的发展对策做要点阐述,以供同仁参考和借鉴。
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关键词
甘肃
林业
生态
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分类号
F326.27
[经济管理—产业经济]
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题名真空微电子
- 12
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作者
李毓民
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出处
《电子》
1990年第2期77-78,共2页
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关键词
真空微电子
微电子
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分类号
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名微型垂直真空三极管的制造和理论研究
- 13
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作者
Itoch,J
李毓民
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出处
《电子》
1992年第1期61-62,60,共3页
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关键词
三极管
垂直
微型
真空
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分类号
TN112
[电子电信—物理电子学]
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题名场发射分布放大器的电磁特性
- 14
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作者
菲利.,PM
李毓民
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出处
《电子》
1991年第2期80-80,F003,F004,共3页
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关键词
场发射
放大器
电磁特性
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分类号
TN722
[电子电信—电路与系统]
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题名真空微电子器件的物理研究
- 15
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作者
Brodie,I
李毓民
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出处
《电子》
1991年第2期72-75,共4页
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关键词
真空器件
电子器件
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分类号
TN103
[电子电信—物理电子学]
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