曲面铜—康铜薄膜热电偶的研制及分度方法研究

薄膜热电偶可实现对固体表面温度的准确测量。本文采用磁控溅射工艺制备曲面铜-铜镍合金(康铜)薄膜热电偶,通过对影响成膜质量的溅射参数进行分析,提出一种基于磁控溅射和退火工艺的制备方法,并进行实验验证。结果表明:该热电偶工作温度范围为(-60~300)℃,300℃下输出为4.827mV;该方法的误差绝对值的最大值不超过0.2℃,误差平方和为0.00024174mV2,优于传统方法。

高温薄膜热电偶典型制备工艺研究现状分析

随着航空航天飞行器性能的不断提升,对温度传感器的要求不断提高,不断趋向于更高温度、更快响应、更小体积。薄膜热电偶因具有响应速度快、热接点小、便于集成等优点,非常适用于航空发动机涡轮叶片、燃烧室内壁、高温燃气进出口、高超声速飞行器表面等极端高温环境下的瞬态温度测量。对于薄膜热电偶来说,它的制备工艺显得尤为重要,因此分别从溅射工艺参数和热处理工艺参数两方面对薄膜热电偶的研究现状进行了汇总介绍和分析。