GY5型高精密五维微调样品架

ＧＹ５型高精密五维微调样品架系一精密超高真空部件，共五个自由度．其运动位 移、转角精度、样品加热及液氮冷却温度均已达到设计指标，使用方便、灵活、可靠。 自１９８４年研制成功以来，已做为单独产品销售于国内各大学及科研单位、深受用户好 评．经中科院沈阳分院级鉴定，认为其外观质量、加工精度及主要技术指标均已达到国 际同类产品水平，可替代进口产品，满足科研工作需要。

LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备的研制

一、前言 LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备系我中心为国家'七五'攻关项目(75-70-05-15)专题而专让设计制造的一台线列式七室连续沉积设备,该设备于1991年3月30日通过了国家教委鉴定。评审专家一致认为,该设备结构新颖、设计合理、性能优良、技术指标先进、开发潜力大。