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基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构 被引量:8
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作者 李秋柱 刘毅 +2 位作者 牛康康 刘君 丑修建 《测试技术学报》 2009年第3期201-204,共4页
垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的... 垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的表面形貌,微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求,即光强峰值附近没有达到饱和,得出了清晰的三维形貌图,解算出的台阶高度和实际台阶高度一致,其横向分辨率为1.6μm,纵向分辨率为0.05μm. 展开更多
关键词 微器件 白光干涉 垂直扫描法 包络线 零光程差位置
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GaAs/AlGaAs薄膜压阻特性研究
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作者 李秋柱 刘国文 谭振新 《中北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第3期291-294,共4页
为了探索新的微机电转换方法,提出一种GaAs/AlGaAs压阻薄膜结构.该结构采用分子束外延生长技术(MBE),在半绝缘GaAs衬底(001)方向上生长GaAs/Al0.4Ga0.6As半导体薄膜制备而成.利用表面微机械工艺和体微机械工艺,加工制作了基于GaAs/Al0.4... 为了探索新的微机电转换方法,提出一种GaAs/AlGaAs压阻薄膜结构.该结构采用分子束外延生长技术(MBE),在半绝缘GaAs衬底(001)方向上生长GaAs/Al0.4Ga0.6As半导体薄膜制备而成.利用表面微机械工艺和体微机械工艺,加工制作了基于GaAs/Al0.4Ga0.6As压敏电阻条的加速度计结构,室温条件下利用拉曼光谱仪测试系统测试了悬臂梁上压阻薄膜的应变因子.研究了该薄膜结构的压阻效应,得到Al0.4Ga0.6As的应变因子可达70,相当于AlN-GaN超晶格结构压阻的值,有望应用于新的微机械力电耦合器件中. 展开更多
关键词 GAAS/ALGAAS 薄膜 压阻特性 微加速度计 应变因子
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Pressure effect study on the Ⅰ-Ⅴ property of the GaAs-based resonant tunnelling structure by photoluminescence measurement
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作者 李秋柱 王楷群 +2 位作者 菅傲群 刘鑫 张斌珍 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第4期418-422,共5页
This paper discusses the Ⅰ-Ⅴ property of the GaAs-based resonant tunnelling structure(RTS) under external uniaxial pressure by photoluminescence studies.Compressive pressure parallel to the [110] direction,whose val... This paper discusses the Ⅰ-Ⅴ property of the GaAs-based resonant tunnelling structure(RTS) under external uniaxial pressure by photoluminescence studies.Compressive pressure parallel to the [110] direction,whose value is determined by Hooke's law,is imposed on the sample by a helix micrometer.With the increase of the applied external uniaxial compressive pressure,the blue shift and splitting of the luminescence peaks were observed,which have some influence on the I-V curve of RTS from the point of view of the energy gap,and the splitting became more apparent with applied pressure.Full width at half maximum broadening could also be observed. 展开更多
关键词 光致发光性能 单轴压力 共振隧穿 GAAS 结构 测量 压缩压力 胡克定律
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全力实施“十大提升行动” 推动教育高质量发展
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作者 李秋柱 《山西教育(管理版)》 2022年第4期5-8,共4页
2022年2月23日,山西省委教育工委、省教育厅召开2022年度全省教育工作会议。会议回顾总结2021年工作,深入分析当前形势,安排部署2022年工作。一、2021年工作回顾过去的一年,全省教育系统深入贯彻落实省委、省政府决策部署,从百年党史中... 2022年2月23日,山西省委教育工委、省教育厅召开2022年度全省教育工作会议。会议回顾总结2021年工作,深入分析当前形势,安排部署2022年工作。一、2021年工作回顾过去的一年,全省教育系统深入贯彻落实省委、省政府决策部署,从百年党史中汲取奋进力量,从教育规律中把握前进方向,紧紧抓住影响和制约我省教育发展的焦点、热点、难点问题,坚持从政治上看教育、从民生上抓教育、从规律上办教育,真抓真管。 展开更多
关键词 教育工委 提升行动 影响和制约 省教育厅 前进方向 教育工作会议 回顾总结
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加快毕业生就业市场化进程探讨 被引量:4
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作者 王致胜 李秋柱 《中国高等教育》 CSSCI 北大核心 2000年第5期19-21,共3页
关键词 高校 毕业生 就业市场化
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