CVD金刚石薄膜的应力研究

利用Ｘ射线衍射研究了化学气相沉积的金刚石薄膜的应力情况。研究表明：热应力在研究范围内为压应力，本征应力是张应力。分析了薄膜厚度、生长温度。

化学汽相沉积金刚石薄膜的生长

利用热丝化学汽相沉积法生长出优异的金刚石薄膜.研究表明，金刚石的成核依赖于沉积点的尖锐度，薄膜的生长包括晶粒长大和薄膜上的二次成核及其生长，可用分层生长来描述．金刚石晶粒的生长由外延生长和二次成核及其生长组成，也是分层进行的．结果导致了金刚石晶体和薄膜的层状结构．