基于石墨烯敏感层的高灵敏度声表面波氢气传感器性能优化

氢气作为一种新时代的清洁能源近些年来备受瞩目,然而氢气无色无味同时易燃易爆,因此需要开发高灵敏度的氢气传感器对痕量的氢气进行检测.结合石墨烯的优异性质和声表面波传感器的优良特点,研制了一种基于石墨烯敏感层的高灵敏度声表面波传感器,通过添加铂对石墨烯敏感层进行修饰并优化了成膜方式,使传感器在极低的氢浓度下取得了出色的传感效果.同时检验了传感器在不同湿度环境下的氢敏性能,实验结果显示湿度对于传感器的氢敏性能有一定的影响,提高湿度可以提升传感器的响应,同时极大提高传感器的恢复性能.