步进扫描工作台气浮结构分析

着重分析了步进扫描工作台的气浮结构及原理,指出了气浮设计及控制中需要注意的一些问题。

气囊在光刻中的应用

介绍了气囊系统的功能、结构及减振原理,着重指出了“动态捷径”及重心移动对曝光系统所产生的影响,详细描述了气囊控制环如何保持位置受控并对动态捷径进行监控,从而可消除振动特别是动态捷径及重心移动对系统所造成的不利影响。