-
题名基于DSP控制的金属离子源脉冲弧电源的研制
- 1
-
-
作者
李运坡
蒲世豪
陈东来
金凡亚
魏于苹
陈常
-
机构
核工业西南物理研究院
-
出处
《真空》
CAS
2017年第4期21-25,共5页
-
基金
四川省青年科技创新研究团队专项计划(2016TD0015)
四川省科技计划项目(2017JY0041)
-
文摘
离子源是离子注入设备的重要组成部分,其控制方式,工作频率以及产生离子的种类、电流强度、离子束密度等对离子注入设备的运行效率和稳定性有着重大影响。本文主要论述了一套应用于MEVVA型金属离子源的脉冲弧电源的设计与优化。该电源由触发电源和电弧电源组成,其中触发电源输出峰值电压高达25KV,脉宽为20us;电弧电源输出峰值电压为90V,输出脉宽在200us^3ms范围内可调。该电源采用DSP-28335芯片作为控制系统,输出PWM信号准确控制IGBT的开通关断,从而控制输出脉冲的电压,频率和脉宽;实时监控过压过流信号,保护电源系统安全可靠运行。实验结果表明:此电源各项指标运行正常,电磁干扰小,具有良好的应用价值。
-
关键词
金属离子源
脉冲弧电源
IGBT
DSP控制
-
Keywords
Metal ion source
Pulsed-arc power supply
IGBT
DSP control
-
分类号
TH862.75
[机械工程—精密仪器及机械]
-
-
题名基于DSP的高能金属离子源电源系统控制电路设计
被引量:1
- 2
-
-
作者
魏于苹
蒲世豪
陈东来
陈常
李运坡
-
机构
核工业西南物理研究院
-
出处
《真空》
CAS
2017年第3期37-40,共4页
-
基金
四川省科技计划项目任务(2017JY0041)
-
文摘
为了提高离子源中开关电源的数字处理能力,综合开关电源发展现状,本文设计了一种基于TM S320F 28335的电源控制系统,并对其主要控制回路进行设计与参数调整。实现了两级开关电源组成的高能金属源电源系统的控制,此种控制简便灵活,对系统任务完成优良。
-
关键词
开关电源
DSP
控制
-
Keywords
switching power supply
DSP
Control
-
分类号
TB771
[一般工业技术—真空技术]
-