高低温湿热试验设备的使用及维护探讨

针对高低温湿热箱常见问题的维修、设备维修的内容等方面进行研究分析,目的在于使高低温试验设备能安全、稳定地运行,从而提高试验结果的可靠性以及精准性。

半导体淀积工艺及其设备技术研究

薄膜工艺是半导体工艺重要组成部分,较广泛的采用物理气相沉积和化学气相沉积方法。通常把PECVD才直接称为淀积工艺,其工艺受多方面因素影响,通过工艺和设备技术的研究,提高工艺可靠性,减少设备故障。