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梳齿结构深刻蚀工艺改进
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作者 杜广森 张富强 徐锡金 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期49-51,56,共4页
梳齿型谐振式传感器对谐振器梳齿的形貌有很高的要求,需要梳齿侧壁很好的垂直度、粗糙度以及片间均匀性等。采用感应耦合等离子体(ICP)深硅刻蚀工艺对具有深宽比较大的梳齿结构进行深刻蚀研究。影响深硅刻蚀的主要因素包括SF_(6)和C_(4)... 梳齿型谐振式传感器对谐振器梳齿的形貌有很高的要求,需要梳齿侧壁很好的垂直度、粗糙度以及片间均匀性等。采用感应耦合等离子体(ICP)深硅刻蚀工艺对具有深宽比较大的梳齿结构进行深刻蚀研究。影响深硅刻蚀的主要因素包括SF_(6)和C_(4)F_(8)气体流量、腔室压力、刻蚀与钝化保护时间、下基板功率等工艺参数,着重研究了片间均匀性、垂直度、粗糙度等影响结构性能的几个方面,得到了宽4.5μm、深70μm的梳齿结构,垂直度为89.7°,侧壁粗糙度46 nm,均匀性1.2%的优化工艺,为高精度MEMS梳齿型传感器的制作提供了基础。 展开更多
关键词 深刻蚀 刻蚀速率 均匀性 粗糙度
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注水实验法探测导水裂隙带高度 被引量:22
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作者 熊晓英 杜广森 李俊斌 《煤炭技术》 CAS 2004年第2期77-79,共3页
在含煤地层被厚松散层覆盖区域 ,采用钻孔注水法探测导水裂隙带高度 ,具有装置简单、工程量少、观测结果准确可靠、效果明显等优点。
关键词 导水裂隙带高度 钻孔注水 探测 水下采煤 注水实验法
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淮河矸石堤坡环保植被实验工程 被引量:4
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作者 束一鸣 袁亮 +4 位作者 杜广森 程玉琴 潘江 周琼 张贵科 《水利水电科技进展》 CSCD 2004年第4期22-25,共4页
介绍淮南矿区淮河煤矸石堤坡三维土工网垫环保植被实验工程的设计要点及施工工艺、绿色植被种类的选择及其管理.在矸石堤坡上铺设三维垫,可防止薄层土与草种流失;采用先锋型与主力型草种混播,有利于成坪固坡;有效的管理措施可使植被多... 介绍淮南矿区淮河煤矸石堤坡三维土工网垫环保植被实验工程的设计要点及施工工艺、绿色植被种类的选择及其管理.在矸石堤坡上铺设三维垫,可防止薄层土与草种流失;采用先锋型与主力型草种混播,有利于成坪固坡;有效的管理措施可使植被多年常绿.实践证明,实验工程的环保效果明显,达到了保护生态环境的目的. 展开更多
关键词 矸石堤坡 三维土工网垫 环保植被 淮河
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潘集矿区煤矸石道碴的性能特点与应用
4
作者 严家平 杜广森 邹世成 《煤炭科学技术》 CAS 北大核心 1999年第4期36-37,共2页
针对淮南潘集矿区煤矸石组成特点,研究了以煤矸石作为矿区铁路道碴材料的选料方法,分析了矸石道碴材料的主要性能指标,介绍了该矿区矸石道碴材料的试验应用情况。
关键词 煤矸石 道碴材料 性能指标 性能特点 铁路
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水体下采煤智能信息系统关键问题研究
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作者 陈宜金 吴侃 +2 位作者 郭广礼 周鸣 杜广森 《阜新矿业学院学报》 1997年第3期361-364,共4页
针对水体下采煤智能信息系统研制过程中的关键问题——钻孔柱状图的类比问题,提出了覆岩岩性综合评价系数法和模糊模式识别法.模糊模式识别法效果更好,应用这一方法成功地开发出了水体下采煤智能信息系统,并且已开始在生产中发挥作用.
关键词 水体下采煤 综合评价系数 智能信息系统 采煤
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高等院校教师激励机制的完善研究
6
作者 杜广森 陈甜甜 尹柏龙 《中文科技期刊数据库(全文版)教育科学》 2022年第4期0012-0015,共4页
高等院校作为我国现代化高素质人才培养的基地,在教育方面毋庸置疑起到了举足轻重的作用,而教师队伍作为现代化教育的输出主体,在提高国家整体教育水平的过程当中是决定性因素。完善高等院校教师激励机制能够使教师队伍发挥自身最大效能... 高等院校作为我国现代化高素质人才培养的基地,在教育方面毋庸置疑起到了举足轻重的作用,而教师队伍作为现代化教育的输出主体,在提高国家整体教育水平的过程当中是决定性因素。完善高等院校教师激励机制能够使教师队伍发挥自身最大效能,能够推动教学改革和科研创新,促进教学质量提高。因此,需要一套高等院校教师激励机制,能够从聘用阶段开始,依据考核评价分阶段地对高等院校教师进行科学合理的量化评估,以达到确保教师队伍质量这一基本目的。 展开更多
关键词 教师 激励机制 教学质量 考核评价
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军队院校文职人员管理与培养机制的完善研究
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作者 杜广森 陈甜甜 朱丹宸 《中文科技期刊数据库(全文版)社会科学》 2022年第4期0086-0089,共4页
中国人民解放军文职人员,是指在军民通用、非直接参与作战且社会化保障不宜承担的军队编制岗位从事管理工作和专业技术工作的非现役人员,是军队人员的组成部分。文职人员有着自身鲜明的特点,对现役干部管理模式并不完全适用于这支新生... 中国人民解放军文职人员,是指在军民通用、非直接参与作战且社会化保障不宜承担的军队编制岗位从事管理工作和专业技术工作的非现役人员,是军队人员的组成部分。文职人员有着自身鲜明的特点,对现役干部管理模式并不完全适用于这支新生力量。对文职人员进行有效管理和针对性培养,有利于其融入军营,安心工作,从而在军队院校建设中发挥更大作用。针对文职人员的管理与培养一般围绕以下几点:加强能力素养是基础;建立评价体系是关键;细化考核机制是核心;抓好思政教育是灵魂。 展开更多
关键词 文职人员 管理 培养
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MgCu_(4)Sn型稀土镁合金相力学和热力学性质的第一性原理研究 被引量:2
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作者 王娜 杜广森 +1 位作者 王微星 左绪忠 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2021年第2期139-145,共7页
采用基于密度泛函理论的第一性原理计算方法,系统研究了典型立方结构合金相LaMgX_(4)(X=Co,Ni,Cu)的力学特性和热力学特性.根据广义胡可定律计算了合金相的单晶弹性常数;根据单晶弹性常数和Hershey’s averaging方法计算了合金相的多晶... 采用基于密度泛函理论的第一性原理计算方法,系统研究了典型立方结构合金相LaMgX_(4)(X=Co,Ni,Cu)的力学特性和热力学特性.根据广义胡可定律计算了合金相的单晶弹性常数;根据单晶弹性常数和Hershey’s averaging方法计算了合金相的多晶弹性模量、泊松比、Zener各向异性因子和德拜温度.采用基于准谐近似的Gibbs2代码计算了LaMgX_(4)(X=Co,Ni,Cu)合金相的吉布斯自由能、熵和等体热容与温度的关系.LaMgNi4的计算结果与其他文献计算结果及实验结果符合的很好.结果表明:LaMgX_(4)(X=Co,Ni,Cu)合金均为延展性、塑性和弹性各向异性材料.德拜温度按以下顺序递减:LaMgNi4>LaMgCu4> LaMgCo4. 展开更多
关键词 第一性原理计算 镁合金 力学性质 热力学性质
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基于改进最大相关峭度解卷积的滚动轴承复合故障诊断 被引量:1
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作者 朱丹宸 许骥 +1 位作者 晋家兵 杜广森 《轴承》 北大核心 2021年第1期46-53,共8页
强背景噪声环境下,多故障特征的准确分离是滚动轴承复合故障诊断的关键与难点。针对此问题,提出了一种改进最大相关峭度解卷积的滚动轴承复合故障诊断方法。该方法基于故障信号的特点,利用最大相关峭度解卷积实现信号中的多故障特征分离... 强背景噪声环境下,多故障特征的准确分离是滚动轴承复合故障诊断的关键与难点。针对此问题,提出了一种改进最大相关峭度解卷积的滚动轴承复合故障诊断方法。该方法基于故障信号的特点,利用最大相关峭度解卷积实现信号中的多故障特征分离,借助改进的粒子群算法对参数进行优化选取;利用互相关谱进一步突出信号中的故障特征,提高信噪比。仿真信号和实测滚动轴承内、外圈复合故障信号的分析表明,所提方法能够准确提取出滚动轴承复合故障特征,借助互相关谱的噪声抑制能力,能实现比单一MCKD方法更为有效的故障特征提取。 展开更多
关键词 滚动轴承 故障诊断 复合故障 最大相关峭度解卷积 互相关谱
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酒后肇事 拘留罚款
10
作者 杜广森 郭建滨 《农业机械》 北大核心 2005年第8期97-97,共1页
3月22日16时20分,青岛市一驾驶员吕某酒后驾驶牌号为鲁U42183轿车,沿平度市区扬州路东侧由北向南倒车时,将对行的推自行车的妇女于某撞伤,经事故处理民警现场勘查和对吕某抽血检验,吕某血液中酒精含量严重超标,系醉酒后肇事,应... 3月22日16时20分,青岛市一驾驶员吕某酒后驾驶牌号为鲁U42183轿车,沿平度市区扬州路东侧由北向南倒车时,将对行的推自行车的妇女于某撞伤,经事故处理民警现场勘查和对吕某抽血检验,吕某血液中酒精含量严重超标,系醉酒后肇事,应负事故的全部责任。 展开更多
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大学物理智慧教学模式的探究 被引量:2
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作者 王娜 官邦贵 +2 位作者 何恩节 杜广森 王微星 《现代计算机》 2019年第26期65-68,共4页
通过智慧教学模式,结合新工科背景下地方应用型高水平本科高校建设的需求,以安徽科技学院为例,给出提高大学物理学习成效的策略。
关键词 地方应用型高水平本科高校 大学物理 智慧教学模式
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Monitoring of Huaihe Dike Deformation Caused by Mining
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作者 袁亮 吴侃 +1 位作者 杜广森 谭志祥 《Journal of China University of Mining and Technology》 2001年第1期14-19,共6页
Based on a large number of data gathered through monitoring and surveying, this paper gives modification and calculation formulas of the movement and deformation of the dike slope. The variation of subsidence and hori... Based on a large number of data gathered through monitoring and surveying, this paper gives modification and calculation formulas of the movement and deformation of the dike slope. The variation of subsidence and horizontal movement in the dike interior is analyzed. And from the geological condition of the dike, the interrelation between the subsidence, horizontal movement and the stratum structure and the basic laws are discussed. 展开更多
关键词 矿区沉陷预测预报系统 淮河 堤防 沉陷观测
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基于感知还原的高职教学模式设计与探索——以机电专业为例
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作者 尹柏龙 朱丹宸 杜广森 《中文科技期刊数据库(全文版)教育科学》 2021年第9期0222-0222,224,共2页
职业教育在长期的发展与探索中形成了如翻转课堂、理实一体、理虚实一体、教学做一体化、模块化、校企合作等教学模式,目的都是拉近课堂与岗位之间的距离,本文以高职机电专业为例,基于感知还原思想,以岗位真实特征为目标,多角度探索设... 职业教育在长期的发展与探索中形成了如翻转课堂、理实一体、理虚实一体、教学做一体化、模块化、校企合作等教学模式,目的都是拉近课堂与岗位之间的距离,本文以高职机电专业为例,基于感知还原思想,以岗位真实特征为目标,多角度探索设计新的教学模式,分析了具体实施方法,剖析存在的不足,并对未来前景进行展望。 展开更多
关键词 感知还原 教学模式设计 教学环境 教学内容
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1500枚“360°猫眼”反光道钉亮相平度市区
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作者 杜广森 郭建滨 《公安交通科技窗》 2009年第2期45-45,共1页
山东省平度市公安局交警大队在2000多米市区主要路段试安装的1561枚“360°猫眼”反光道钉(突起路标)亮相平度市。这在山东省县级城市中的道路上尚属首例。
关键词 平度市 市区 道钉 反光 猫眼 突起路标 交警大队 县级城市
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