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梯度掺杂结构GaN光电阴极表面的净化
被引量:
2
1
作者
李飙
徐源
+4 位作者
常本康
杜晓睛
王晓晖
高频
张俊举
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期249-252,共4页
对梯度掺杂结构GaN阴极表面进行了化学清洗,清洗后利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了阴极表面,分析表明化学清洗能有效去除阴极表面的油脂和加工中残存的无机附着物;然后在超高真空室内710℃下对阴极进行了高温退火清洁,去除化学清洗后...
对梯度掺杂结构GaN阴极表面进行了化学清洗,清洗后利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了阴极表面,分析表明化学清洗能有效去除阴极表面的油脂和加工中残存的无机附着物;然后在超高真空室内710℃下对阴极进行了高温退火清洁,去除化学清洗后残留在阴极表面的C、O等吸附物,使阴极表面达到制备高性能负电子亲和势(NEA)光电阴极所需的原子级清洁程度。最后通过阴极激活实验加以验证,结果证实化学处理后热退火方法能有效净化梯度掺杂结构GaN阴极表面。
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关键词
光电子学
表面净化
X射线光电子能谱仪
梯度掺杂
GAN光电阴极
激活
原文传递
题名
梯度掺杂结构GaN光电阴极表面的净化
被引量:
2
1
作者
李飙
徐源
常本康
杜晓睛
王晓晖
高频
张俊举
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
重庆大学光电工程学院
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期249-252,共4页
基金
国家自然科学基金(60871012,60701013)
南京理工大学自主科研专项计划(2010ZYTS032)资助课题
文摘
对梯度掺杂结构GaN阴极表面进行了化学清洗,清洗后利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了阴极表面,分析表明化学清洗能有效去除阴极表面的油脂和加工中残存的无机附着物;然后在超高真空室内710℃下对阴极进行了高温退火清洁,去除化学清洗后残留在阴极表面的C、O等吸附物,使阴极表面达到制备高性能负电子亲和势(NEA)光电阴极所需的原子级清洁程度。最后通过阴极激活实验加以验证,结果证实化学处理后热退火方法能有效净化梯度掺杂结构GaN阴极表面。
关键词
光电子学
表面净化
X射线光电子能谱仪
梯度掺杂
GAN光电阴极
激活
Keywords
optoelectronics
surface cleaning
X-ray photoelectron spectroscopy
gradient-doping
GaN photocathode
activation
分类号
O484 [理学—固体物理]
TN205 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
梯度掺杂结构GaN光电阴极表面的净化
李飙
徐源
常本康
杜晓睛
王晓晖
高频
张俊举
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
原文传递
已选择
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参考文献
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