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面向硅微谐振式加速度计的高精度片上温度控制器
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作者 米玥臻 杨伍昊 +2 位作者 熊兴崟 汪政 邹旭东 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第5期750-757,共8页
为提高硅微谐振式加速度计在变温环境下的精度与稳定性,设计并制备了一种高精度的片上温度控制器,它由硅衬底、铂电阻加热器、测温电阻和温度控制电路组成。对温度控制器的传热模型进行理论分析,使用COMSOL对片上温度控制器进行仿真。... 为提高硅微谐振式加速度计在变温环境下的精度与稳定性,设计并制备了一种高精度的片上温度控制器,它由硅衬底、铂电阻加热器、测温电阻和温度控制电路组成。对温度控制器的传热模型进行理论分析,使用COMSOL对片上温度控制器进行仿真。利用微加工技术制备温度控制器,并设计实验对温控精度、长期稳定性、环境温度影响、功耗等指标进行测试。结果表明,温度控制器可以在600 s内稳定在设定温度±0.001 5℃的范围内,加速度计输出的频率波动范围为±0.03 Hz,内部温度随外界温度变化为0.012 5℃/℃,片上温度控制器的峰值功耗为100 mW。该温度控制器精度高、通用性强,适用于温度范围小、精度要求高的应用场景。 展开更多
关键词 硅微谐振式加速度计 片上温控器 测控电路 连续电压输出 比例-积分-微分(PID)控制
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一种高灵敏度低噪声硅微谐振式加速度计 被引量:8
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作者 邹旭东 熊兴崟 +3 位作者 汪政 王坤锋 杨伍昊 李志天 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期281-287,共7页
MEMS加速度计经过近四十年的发展,是目前产业化最为成功、应用最为广泛的MEMS器件之一。以硅微机械谐振器作为敏感元件的谐振式MEMS加速度计因具有检测精度高、线性度好、量程大、抗环境噪声能力强等优点,成为新一代高性能MEMS加速度计... MEMS加速度计经过近四十年的发展,是目前产业化最为成功、应用最为广泛的MEMS器件之一。以硅微机械谐振器作为敏感元件的谐振式MEMS加速度计因具有检测精度高、线性度好、量程大、抗环境噪声能力强等优点,成为新一代高性能MEMS加速度计的重要发展方向。针对微小型无人平台的长时惯性导航、姿态测量等需求,设计了一种具有增敏结构的硅微谐振式加速度计,通过改进微杠杆转轴与惯性质量块支撑梁的几何形状并利用有限元仿真方法进行参数优化,在不增加芯片面积的前提下有效提升了器件灵敏度。器件设计量程±50 g,采用集成圆片级真空封装的SOI-MEMS工艺制造并配套设计了基于0.35 mm工艺的接口ASIC电路用于实现加速度计的闭环工作。所研制的原理样机测试表明,加速度计敏感谐振器品质因数为29300,灵敏度630.81 Hz/g,噪声≤1.7μg/√Hz,零偏不稳定性(Allan方差)≤2.3μg。 展开更多
关键词 MEMS加速度计 谐振式加速度计 圆片级真空封装 低噪声加速度计
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谐振式加速度计动态特性研究 被引量:6
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作者 汪政 熊兴崟 +3 位作者 李志天 王坤锋 杨伍昊 邹旭东 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第6期8-11,共4页
微机电系统(MEMS)谐振式加速度计因具有动态范围大、灵敏度高、稳定性高等优点成为研究热点。针对以振荡电路为接口电路的谐振式加速度计进行系统建模和仿真分析的基础上,设计并测试了一种硅MEMS谐振式加速度计样机。仿真和实验结果表明... 微机电系统(MEMS)谐振式加速度计因具有动态范围大、灵敏度高、稳定性高等优点成为研究热点。针对以振荡电路为接口电路的谐振式加速度计进行系统建模和仿真分析的基础上,设计并测试了一种硅MEMS谐振式加速度计样机。仿真和实验结果表明:当闭环振荡接口电路和测频电路带宽远大于传感器自身带宽时,比例因子的频率响应特性由传感器敏感质量块二阶系统频率特性决定。硅MEMS谐振式加速度计样机的静态性能测试结果为量程±12.5 gn,比例因子662. 1 Hz/gn,带宽400 Hz,零偏不稳定性34. 09μgn,噪声22. 18μgn/Hz1/2。 展开更多
关键词 谐振式加速度计 闭环振荡电路 频率响应特性 带宽
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基于MEMS谐振器硬件储备池计算的类脑信号处理方法 被引量:1
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作者 邹旭东 杨伍昊 +2 位作者 郭潇威 孙杰 郑天依 《信号处理》 CSCD 北大核心 2022年第11期2287-2298,共12页
近年来兴起的人工神经网络由于具有较强的自学习适应性和并行信息处理能力,从而在信号处理领域显示出巨大潜力。储备池计算是一种由递归神经网络衍生而来的类脑神经形态计算范式,对随时间变化的连续信号具有非常好的分类和时序预测能力... 近年来兴起的人工神经网络由于具有较强的自学习适应性和并行信息处理能力,从而在信号处理领域显示出巨大潜力。储备池计算是一种由递归神经网络衍生而来的类脑神经形态计算范式,对随时间变化的连续信号具有非常好的分类和时序预测能力。本论文提出利用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)梁谐振器的非线性响应特征,设计并搭建了两种储备池计算的拓扑架构。此外,面向雷达信号处理中信号预测、图像识别、雷达信号特征分类和提取等应用需求,针对性地选择了NARMA(Nonlinear Auto Regressive Moving Average Equation of Order)预测任务、MNIST(Mixed National Institute of Standards and Technology)-手写数字图像识别、LFM(Linear frequency modulated)脉冲波形识别与特征提取等测试任务对论文所提两种不同储备池计算架构进行试验验证。同时,实验结果也充分展示了基于非线性MEMS谐振器的储备池计算硬件系统在雷达信号预测、分类与特征提取等应用领域中的应用潜力。为复杂电磁环境下,雷达信号处理提供新的有力工具,也为MEMS传感技术与雷达信号处理技术的交叉融合进行积极探索。 展开更多
关键词 时序信号处理 微机电系统谐振器 储备池计算
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Cryogenic amplifier with low input-referred voltage noise calibrated by shot noise measurement
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作者 Wuhao Yang Jian Wei 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第6期207-212,共6页
A low-noise cryogenic amplifier for the bandwidth from 100 kHz to 2 MHz with commercially available components is presented. The amplifier is mounted on the cold finger of our home-made liquid helium dipstick. The inp... A low-noise cryogenic amplifier for the bandwidth from 100 kHz to 2 MHz with commercially available components is presented. The amplifier is mounted on the cold finger of our home-made liquid helium dipstick. The input imp√edance of the amplifier is 2 k?. The input-referred voltage noise of the amplifier at approximately 2 MHz is around 1 n V/Hz^(1/2). We demonstrate the performance of the amplifier by measuring shot noise on the Al/AlOx/Al tunneling junction with resistance about 17 k? at liquid helium temperature. 展开更多
关键词 cryogenic amplifier shot noise shadow evaporation tunneling junction
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