硅基超薄多孔阳极氧化铝模板的制备

通过在硅基铝膜上用二次阳极氧化的方法,在草酸溶液中制备出了垂直于模板的高度有序的Si基超薄多孔阳极氧化铝膜,孔径70 nm,厚度可控。扫描电镜(SEM)观察表面,经过二次阳极氧化,孔洞的分布均匀性得到有效提高,孔在一定区域内呈现有序的六角分布,可以为ZnO纳米棒阵列的制备提供模板。研究了它的形成机理。