研磨再投入机器人A-BOWL翻转研究

TFT-LCD(液晶显示屏)玻璃基板生产工艺为溢流下拉法。通过一种翻转TFT-LCD玻璃基板的装置,对装置控制系统、机器手臂、机器人轨迹、程序等进行研究,实现玻璃基板在研磨区时,B面朝上,避免玻璃基板产生翘曲,提高良品率。