金刚石薄膜压力传感器的研究

金刚石的许多性质(例如,高硬度、高弹性模量、高屈服强度、化学惰性、低摩擦系数和高热传导)使它成为微结构器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应,这个性能打开了金刚石薄膜在压力传感器领域的应用。研究了金刚石薄膜的欧姆接触、热敏特性和压阻特性。研究表明金刚石薄膜可制成适于高温工作的传感器。

用体全息方法实现消象散阵列照明器及微透镜阵列的记录条件

阵列照明器及微透镜阵列均可以用体全息实现，该方法要求记录体全息时尽可能保持记录平面光强均匀，使被记录模板的信息主要由物波的位相分布携带．本文探讨和分析了模板尺寸、模板空间频率、象元大小及形状、人射光角度等对记录平面的位置及光强均匀性的影响．还给出在满足消象散记录条件的斜入射及圆形孔径模板情况下的计算机模拟结果．

铜基体上Ni—Nb合金层和铁基合金激光非晶化研究

用连续CO_2激光器快速扫描,使铜基体上的Ni—Nb合金层和铁基合金的表面,形成了完全的非晶态。探讨了合金结构等因素对激光形成这两种非晶态的影响,还讨论了形成非晶态的各种因素之间的关系。

敏感功能材料的气敏机理及二氧化锡在传感器中的应用研究

阐明了氧化物、导电聚合物气敏传感器的气敏原理,通过掺杂等方法,制备含有稀有金属、金属离子、金属氧化物、多组分金属氧化物、导电聚合物传感器及阵列电鼻子的研究现状和应用范围,并对其发展提出了看法。

高师理科教学与学生科学推理能力的培养

科学推理能力是理科师范生应具备的一种重要能力。用"Lawson科学推理能力测试量表(LCTSR)"对四所师范院校理科学生进行测试,结果显示理科学生科学推理测试成绩普遍偏低;测查的7个能力维度水平发展不均衡,其中高级控制变量推理能力最低;能力维度得分与院校存在显著相关性但与专业和年级的相关性不显著,这表明师范院校理科教学对提高学生科学推理能力作用不明显。为此,结合理科教学现状进行深入分析了原因并提出理科教学改革的建议。

L135硬质合金与高速钢的激光熔焊

通过对Ｌ１３５硬质合金与高速钢激光熔焊物理机理的探讨，研究了焊后两种材料的结构变化，等离子体效应对焊接质量的影响，给出良好冶金结合的异种材料焊接结果。

纳米晶体弹性模量的模拟研究

通过分子动力学（ＭＤ）方法模拟纳米晶体（１～３ｎｍ）的结构，并对模拟的结果进行了Ｘ射线衍射的点阵常数、结合能及弹性模量等模拟计算·结果表明纳米晶体无论是晶界和晶粒都与传统的粗晶粒晶体材料没有根本的区别。

氮掺杂金刚石膜的生长特性

采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD),在含氮气氛中制备出金刚石膜,利用SEM、Raman光谱、EPR测试手段研究了氮气对金刚石膜品质的影响及氮掺杂特性.结果表明,在950℃基片温度下,沉积气氛中掺入氮气后,金刚石膜晶形变为"菜花状",非金刚石碳的含量增加,膜的品质下降.在800℃基片温度下,沉积气氛中掺入氮气后,孪晶和二次成核减少,金刚石膜的结晶形貌得到改善.通过Raman光谱和EPR分析发现,在金刚石膜中氮杂质主要以Ns0,[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,而且随着氮气流量的增加,Ns0的含量增加,[N-V]0含量减少,[N-V]-1含量变化不明显.

LLDPE/Al_2O_3纳米复合材料的形态、结构及力学性能

在超声作用下利用异丙基十二烷基磺酰钛酸酯改性Al2O3纳米粒子,然后把改性纳米Al2O3粒子及LLDPE颗粒引入密炼机中,以熔融共混方法制备LLDPE/纳米Al2O3复合材料。采用FESEM对复合材料中纳米粒子的分散形态进行表征,结果表明,当纳米Al2O3粒子含量为3%时,绝大多数的纳米粒子以<100nm的尺寸均匀分散在基体中;采用FTIR对纳米复合材料的结构进行表征,结果表明,纳米Al2O3与LLDPE之间形成了化学键合结构;力学分析表明,纳米复合材料的拉伸强度及断裂伸长率均有所增加;采用SEM观察拉伸断裂面的形貌,结果表明,适量的纳米Al2O3粒子可以增强、增韧聚合物基体,而基体和纳米粒子的相容性差时,会逐渐引入缺陷。

单晶MgO纳米带的生长特性和发光性能

本文采用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法（DC Arc Plasma Jet CVD）．在氢气和氩气的高温等离子体作用下直接分解硝酸镁，在Mo衬底上制备了单晶MgO纳米带，并采用SEM、TEM及XRD等测试手段进行了形貌与结构表征,研究了生长时间对MgO纳米带形貌的影响。结果表明，生长时间为0．5min时，生长出顶部带有Mo纳米颗粒的“蝌蚪状”MgO纳米带,而整个纳米结构被较多的非晶MgO覆盖；当生长时间增加到2min时，顶部的Mo纳米颗粒几乎脱落,同时长出若干个纳米带．形成“树枝状”；生长时间进一步增加到5min时，形成完整的“带状”,其宽度约30-50nm：而生长时间达到12min时,纳米带又转变为“棒状”。机理分析表明，Mo催化VLS生长模式和VS生长模式共同作用下生长了MgO纳米带。另外,通过FTIR谱结合PL谱分析了缺陷及其引起的光致发光性能。由于MgO纳米带存在低配位氧离子（O_LC2-）空位等结构缺陷．具有紫蓝发光特性，而随着生长时间的增加，结构缺陷变少，随之紫蓝发射峰强度变弱。本文首次采用该方法制备了单晶MgO纳米带,该方法工艺简单，生长速率快,是非常经济、有效和环境友好的方法。

金刚石声表面波器件的研制

对ZnO/IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光S i基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化锌压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅结构SAW滤波器,叉指换能器(IDT)指宽1.7μm,SAW滤波器频率达到1.4 GHz.

氩氧比对磁控溅射ZnO薄膜的压电响应与极化特性的影响

保持总的工作气压不变,在不同氩氧比条件下,采用射频磁控溅射法在铝电极层上制备了ZnO薄膜。用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和压电响应力显微镜(PFM)分析了ZnO薄膜的择优取向、表面形貌和压电响应,并通过垂直PFM(VPFM)和水平PFM(LPFM)相位图研究了ZnO晶粒的极化特性。结果表明,氩氧比对ZnO薄膜的晶体结构和压电特性有显著影响,其中在氩氧比1∶1的条件下制备的ZnO薄膜具有最大的VPFM振幅和最佳的极化取向一致性。

激光热处理工艺中大型曲轴的装卡

讨论了大型曲轴的激光处理的装卡工艺,自行设计了一套方便适用的装卡夹具,给出了实验结果。实验表明这种设计可以满足激光处理曲轴的要求。

薄带宽度对(Fe_(0.9)Co_(0.1))_(76.9)Cu_(0.6)Nb_(2.5)Si_(11)B_9非晶合金阻抗效应的影响

研究了薄带宽度对(Fe0.9Co0.1)76.9Cu0.6Nb2.5Si11B9非晶合金薄带阻抗效应的影响。样品长度为40mm,宽度分别为8和4.4mm。淬态下4.4mm宽的样品在f=3.75MHz的条件下达到最大值28%,而8mm宽的样品在f=4.34MHz的条件下达到最大值17%;各频率下4.4mm宽的样品的阻抗效应均>8mm宽的样品。(Fe0.9Co0.1)76.9Cu0.6Nb2.5Si11B9非晶合金薄带阻抗效应远大于Co68Fe5Si12B15非晶合金阻抗效应。

溅射沉积温度对薄膜生长影响的计算机模拟

利用Monte Carlo方法对薄膜生长过程进行计算机模拟.模型针对粒子的沉积、吸附及粒子的扩散等过程,研究了粒子允许行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响.结果表明:随温度升高,粒子行走步数增加,薄膜的生长经历了从分散到分形团聚的过程;在粒子行走步数越小的情况下,薄膜越易趋向于分散生长.

金刚石薄膜电容的欧姆接触

用本征金刚石薄膜制备的电容具有高储能 ,高击穿电压 ,耐高温 ,基本电阻可调节以及良好的化学稳定性等特点 .金属与金刚石薄膜形成欧姆接触是电极金属的选取是制备金刚石薄膜电容的重要一步 .本文主要研究金刚石薄膜的欧姆接触及其I-V曲线 .

利用“化工厂危险程度分析”对小氮肥企业进行安全评价

我国《安全生产法》规定：生产经营单位对重大危险源应当登记建档，进行定期检测、评估、监控。《危险化学品安全管理条例》规定：生产、储存、使用危险化学品的单位，应当时水单位的生产、储存装置每两年进行一次安全评价。对照国家安全生产监督管理局颁发的“安全评价通则”和“危险化学品生产企业安全评价导则”要求．

利用“化工厂危险程度分级”法对小氮肥企业进行安全评价

当前化工企业开展安全评价，“化工厂危险程度分级”法从物料的危险性、生产工艺、设备及安全附件、厂房设施、工厂周边环境和企业全面安全管理多方面来综合评价化工厂的危险性。对小氮肥企业的安全管理有较大的现实意义。

溅射法生长高度取向ZnO的实验研究

采用直流磁控反应溅射法,在3种衬底上获得c轴(002)定向生长的ZnO薄膜,并利用X射线衍射、PL谱对上述薄膜进行了实验研究。结果表明N型(100)Si衬底上,ZnO(002)取向度最高,分析认为是由于N型(100)Si与ZnO(002)晶格匹配度高所致。

新型铜互连方法——电化学机械抛光技术研究进展

多孔低介电常数的介质引入硅半导体器件给传统的化学机械抛光(CMP)技术带来了巨大的挑战,低k介质的脆弱性难以承受传统CMP技术所施加的机械力。一种结合了电化学和机械平坦化技术的新颖铜平坦化工艺——电化学机械抛光(ECMP)应运而生,ECMP在很低的压力下实现了对铜的平坦化,解决了多孔低介电常数介质的平坦化问题,被誉为未来半导体平坦化技术的发展趋势之一。主要综述了电化学机械抛光技术的产生、原理、研究进展和展望,对铜的ECMP技术进行了回顾和讨论。