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离心芯片上虹吸阀的设计与制备
被引量:
1
1
作者
杨儒元
苑伟政
何洋
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第3期156-160,共5页
实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构。采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相...
实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构。采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相对于传统的MEMS工艺,这种方法大大节省了加工时间和成本。同时相对于大多数聚合物材料的疏水特性,PMMA的亲水性可以避免材料表面亲水改性问题,简化了虹吸阀制备的工艺流程。该虹吸阀性能稳定,结构简单,能实现片上流体控制,为更加复杂的芯片提供了一种可靠的阀及一种快速制备方法。
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关键词
离心式微流控
虹吸阀
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
溶剂辅助键合
数控加工
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职称材料
题名
离心芯片上虹吸阀的设计与制备
被引量:
1
1
作者
杨儒元
苑伟政
何洋
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第3期156-160,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51005187)
航空科学基金资助项目(2011ZE53055)
西北工业大学基础研究基金资助项目(JC201102050)
文摘
实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构。采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相对于传统的MEMS工艺,这种方法大大节省了加工时间和成本。同时相对于大多数聚合物材料的疏水特性,PMMA的亲水性可以避免材料表面亲水改性问题,简化了虹吸阀制备的工艺流程。该虹吸阀性能稳定,结构简单,能实现片上流体控制,为更加复杂的芯片提供了一种可靠的阀及一种快速制备方法。
关键词
离心式微流控
虹吸阀
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
溶剂辅助键合
数控加工
Keywords
centrifugal microfluidic
siphon valve
polymethyl methacrylate (PMMA)
solvent assisted bonding
numerical control machining
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
离心芯片上虹吸阀的设计与制备
杨儒元
苑伟政
何洋
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014
1
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