高熵合金ScTiVCrM(M=Co、Ni、Cu)的微观组织及储氢性能研究

采用真空电弧炉制备了高熵合金ScTiVCrM(M=Co、Ni、Cu),研究了合金的微观组织及储氢性能。结果表明:合金均由复相组成,当M=Cu时,合金由CsCl-type相和BCC-type相组成;当M=Co、Ni时,合金由Cs Cl-type相、BCC-type相和FCC-type相三相组成。在298K,5.5MPa条件下,所有合金都可以活化,合金M=Co、Ni、Cu,第一次吸氢最大吸氢量分别为1.76wt%、2.19wt%、2.56wt%;随吸氢循环次数增加,所有合金的最大吸氢量均减少,其中M=Cu的第三次最大吸氢量相对于第一次降低了1.02wt%。

衬底温度对FeCrCoNiMn高熵合金氮化物薄膜组织结构和电性能的影响

采用射频反应磁控溅射法在Si（100）衬底上制备出纳米晶高熵合金FeCrCoNiMn氮化物薄膜,结合场发射扫描电子显微镜（FESEM）、电子显微探针（EPMA）、X射线光电子能谱分析仪（XPS）、原子力显微镜（AFM）及四点探针（FPP）研究了衬底温度（40、300、500℃）对沉积薄膜的表面形貌、化学组成、微观结构和导电性能的影响。结果表明,衬底温度对高熵合金FeCrCoNiMn-N薄膜的形貌、组织结构和导电性能有显著影响。随衬底温度的升高,薄膜的表面粗糙度和颗粒/晶粒尺寸增大;与氮反应沉积后,含氮高熵合金薄膜中形成了Mn3N2、MnN、Cr2N和CrN金属氮化物,而Fe、Ni和Co元素则以Fe-Ni-Co合金相形式存在。不含氮合金薄膜其电阻率高达131.78mΩ·cm,加入氮沉积后,随衬底温度的增加,含氮薄膜的电阻率逐渐减小（6.14~0.43mΩ·cm）,含氮合金薄膜的电阻率明显小于合金靶材的沉积膜,衬底温度500℃时薄膜的电阻率达到最小值0.43mΩ·cm。