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聚酰亚胺基底上双光子直写负性光刻胶
被引量:
1
1
作者
杨公瑾
毛彦超
+4 位作者
吴亚南
张宝森
刘建
毛淼
陈述
《激光杂志》
CAS
北大核心
2021年第4期21-24,共4页
近年来,聚酰亚胺薄膜因其良好的柔韧性、透明度、耐辐射等优点,逐渐成为制备柔性电子器件的重要材料。利用飞秒激光双光子直写技术,以聚酰亚胺薄膜为基底,对负性光刻胶进行加工。研究发现线条分辨率随着激光功率的降低和扫描速度的增加...
近年来,聚酰亚胺薄膜因其良好的柔韧性、透明度、耐辐射等优点,逐渐成为制备柔性电子器件的重要材料。利用飞秒激光双光子直写技术,以聚酰亚胺薄膜为基底,对负性光刻胶进行加工。研究发现线条分辨率随着激光功率的降低和扫描速度的增加而提高,并获得了115 nm最小线宽。柔韧性测试实验表明,在聚酰亚胺薄膜上制备的亚波长线条具有很好的柔韧性。这项工作证明了在聚酰亚胺薄膜上进行飞秒激光双光子直写的可行性,为进一步制造柔性电子器件提供了实验基础。
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关键词
激光光学
飞秒激光
聚酰亚胺
双光子
光刻胶
下载PDF
职称材料
关于“N+A+的+N’”式偏正结构之中心语省略条件的讨论
被引量:
1
2
作者
杨公瑾
《云南民族大学学报(哲学社会科学版)》
CSSCI
1998年第A02期93-95,共3页
格式为N+A+的+N’的偏正结构,其中心语“N”的省略与否,关键在于这个中心语由哪一类名词充当。
关键词
偏正结构
中心语省略
条件限制
下载PDF
职称材料
题名
聚酰亚胺基底上双光子直写负性光刻胶
被引量:
1
1
作者
杨公瑾
毛彦超
吴亚南
张宝森
刘建
毛淼
陈述
机构
郑州大学物理学院
出处
《激光杂志》
CAS
北大核心
2021年第4期21-24,共4页
基金
国家自然科学基金(No.61505178)。
文摘
近年来,聚酰亚胺薄膜因其良好的柔韧性、透明度、耐辐射等优点,逐渐成为制备柔性电子器件的重要材料。利用飞秒激光双光子直写技术,以聚酰亚胺薄膜为基底,对负性光刻胶进行加工。研究发现线条分辨率随着激光功率的降低和扫描速度的增加而提高,并获得了115 nm最小线宽。柔韧性测试实验表明,在聚酰亚胺薄膜上制备的亚波长线条具有很好的柔韧性。这项工作证明了在聚酰亚胺薄膜上进行飞秒激光双光子直写的可行性,为进一步制造柔性电子器件提供了实验基础。
关键词
激光光学
飞秒激光
聚酰亚胺
双光子
光刻胶
Keywords
laser optics
femtosecond laser
polyimide
two-photon
photoresist
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
关于“N+A+的+N’”式偏正结构之中心语省略条件的讨论
被引量:
1
2
作者
杨公瑾
出处
《云南民族大学学报(哲学社会科学版)》
CSSCI
1998年第A02期93-95,共3页
文摘
格式为N+A+的+N’的偏正结构,其中心语“N”的省略与否,关键在于这个中心语由哪一类名词充当。
关键词
偏正结构
中心语省略
条件限制
分类号
C55 [社会学]
C95-4 [社会学—民族学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚酰亚胺基底上双光子直写负性光刻胶
杨公瑾
毛彦超
吴亚南
张宝森
刘建
毛淼
陈述
《激光杂志》
CAS
北大核心
2021
1
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职称材料
2
关于“N+A+的+N’”式偏正结构之中心语省略条件的讨论
杨公瑾
《云南民族大学学报(哲学社会科学版)》
CSSCI
1998
1
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职称材料
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参考文献
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