基于C++ Builder的共焦显微镜三维重建方法

主要研究基于C++Builder的数字微镜器件(Digital Micro-mirror Device,简称DMD)多路并行扫描共焦检测系统三维重建方法,将实验采集的虚拟针孔位图经过拟合后得到三维坐标数据,将其网格化后,采用集成OpenGL的C++Builder开发三维重建软件系统并重建三维图形,实验结果成功还原了被测物表面的微结构。

双频激光干涉仪相位差测量系统的设计

为了实现双频激光干涉仪相位差的测量,设计了一套双频激光干涉信号处理系统。整个系统包括三个部分:光电接收器、模数转换以及数据处理。光电接收器是将干涉系统的双频激光信号接收并转化成电信号,接收器的设计较好地完成了信号的转化和噪声的抑制,A/D转化电路将接收器输出的模拟信号转换成数字序列。数据处理以两重相关方法为理论基础,将测量系统的参考信号移相90°后得到另一路参考信号,再将测量信号分别与两路参考信号作相关运算,使用FPGA完成硬件实现,最后通过数据计算得出相位差信息。

全自动在线六维纳米测量系统

介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法,可以避免激光干涉仪的非线性影响,使系统能够得到准确校准,达到纳米级精度。该测量系统可以测定6个自由度,三维直线运动测量范围为100μm×100μm×100μm,分辨率能够达到1nm以下。