腔室状态对图形化蓝宝石衬底刻蚀工艺的影响

图形化蓝宝石衬底是近年来针对高度发光二极管的应用要求发展起来的一种新技术。通过利用自主研制的工业化感性耦合等离子体刻蚀机对图形化蓝宝石衬底的刻蚀工艺进行了研究。采用光学发射光谱仪和扫描电镜研究了PSS生产过程中腔室状态的变化对蓝宝石的刻蚀速率、选择比和图形形貌的影响。研究结果表明:随着反应腔累积放电时间的增加,刻蚀速率呈现下降趋势,选择比呈先上升然后下降的趋势。该趋势由反应腔室内表面上的沉积物所引起。

等离子体浸没离子注入技术与设备研究

基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法——等离子体浸没离子注入技术,总结了该技术在制造超浅结时的优点,阐述了放电方式、线圈结构、偏压电源等系统核心部件的设计,自行设计并搭建了等离子体浸没离子注入系统。采用ESPion高级朗缪尔探针测试和计算流体力学模拟方法对比研究了等离子体的特性,结果显示,在一定功率范围内等离子体密度随放电功率增加类似线性地增加;采用二次离子质谱仪对B和P的注入样片进行深度剖析,给出了偏压为-500V时B和P的注入深度分布曲线,表明注入时间既影响注入剂量,又影响峰值的位置和注入深度。

伊布利特治疗胺碘酮转复失败的心房颤动和心房扑动的疗效观察

目的探讨伊布利特对胺碘酮转复失败的心房颤动和心房扑动患者的疗效和安全性。方法心房颤动和心房扑动患者共63例,52例(A组)先行胺碘酮转复,失败后行伊布利特转复,11例(B组)只接受伊布利特转复。结果A组45例(86.5%)患者转复成窦性心律;其中25例经胺碘酮转复,20例加用伊布利特后转复。B组7例(63.6%)转复成窦性心律。转复成功率A组和B组差异有显著统计学意义(P<0.01)。心房颤动转复成功率B组为57.1%,显著低于A组胺碘酮和伊布利特合用的84.8%,差异有显著统计学意义(P<0.01),高于胺碘酮单药48.1%,差异有统计学意义(P<0.05)。A组1例患者伊布利特转复过程中出现7.4s窦性停搏。结论伊布利特能提高胺碘酮对心房颤动和心房扑动转复的成功率,两者合用时需注意窦房结功能。

等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究

基于感应耦合等离子体(ICP)技术设计了一套用于在硅基片上制作形成超浅结的等离子体浸没注入(PIII)系统。该ICP PIII系统工作腔室为圆柱形,采用射频功率源,注入偏压源为一脉冲直流电压源,系统与Langmiur探针相连。探针诊断结果表明,该系统的等离子体离子密度达到1017m-3,离子密度径向均匀性达到3.53%。硼和磷的超低能注入试验的二次离子质谱测试结果表明:掺杂离子注入深度在10nm左右,最浅的注入深度为8.6nm(在注入离子密度为1018cm-3时);注入离子剂量达到了1015cm-2以上;掺杂离子浓度峰值在表面以下;注入陡峭度达到了2.5nm/decade。

Cl_2/BCl_3感应耦合等离子体GaN刻蚀侧壁形貌研究

基于感应耦合等离子体干法刻蚀技术,对采用Cl2/BCl3气体组分下GaN刻蚀后的侧壁形貌进行了研究。扫描电镜(SEM)结果表明,一定刻蚀条件下,刻蚀后GaN侧壁会形成转角与条纹状褶皱形貌。进一步实验,观察到了GaN侧壁转角形貌的形成过程;低偏压功率实验表明,高能离子轰击是GaN侧壁转角与条纹状褶皱形貌形成的原因。刻蚀过程中,掩蔽层光刻胶经过高能离子一段时间轰击后,其边缘首先出现条纹状褶皱形貌,并转移到GaN侧壁上,接着转角形貌亦随之出现并转移到GaN侧壁上。这与已公开发表文献认为的GaN侧壁条纹状褶皱仅由于掩蔽层边缘粗糙所引起而非刻蚀过程中形成的解释不同。

太阳能供电半导体制冷技术在低温储粮中的实验研究

粮食储藏问题历来至关重要。近几年来,研究表明,低温储藏能够很好地解决传统储粮方法中的虫害、霉变等带来的损失。本文设计一个基于太阳能供电驱动半导体制冷的系统,通过ATMEGA16单片机来控制半导体制冷,实现制冷的目的,采用小型密闭空间来模拟武汉某粮仓的实验,通过对实验数据定性和定量分析的方法,得出当目标温度在22℃和18℃制冷效果较好,当目标温度在14℃时制冷效率降低,误差变大。

多传感器信息融合技术在环境质量监测数据处理中的应用研究

为了更好的、更有效的对城市空气质量中可吸入的颗粒物等环境参数进行监测。将信息融合技术应用于环境质量监测数据处理中,把多个环境参数采集节点提供的数据进行融合处理,引入一种多参数、两级信息融合的监测方法,采用Bayes理论对剔除疏忽误差的同质数据进行一级融合,形成被监测区域环境的特征向量;然后用灰色理论进行灰色关联度分析的二级融合,最后给出所监测的城市空气环境质量等级报告。该方法可以提高对目标参数监测的准确性、多样性、稳定性和全面性。

无线充电及其在图像采集粮虫检测传感器网络中的应用

随着科技的发展,无线充电技术在各个领域的应用也越来越广泛,比如在手机、电脑、相机、汽车等行业的部分最新产品中已经使用了无线充电技术。介绍了一种简便高效的无线充电方案,应用于埋入式图像采集粮虫检测系统,以确保传感器网络节点能够方便、安全、稳定地工作。该系统的工作环境特殊,无线充电技术有无需物理接触的优势,可以合理有效地替代传统的有线充电方法。使用高度集成的XKT-408A作为系统的发射芯片,再配合极少的外部元件就可以制作可靠稳定的无线充电器,不仅保证了无线充电的传输效率,也大大降低传感器网络节点的体积。

低温放大器组装技术分析研究

本文分析了低温放大器中温度应力影响和质量隐患,从芯片和印制板贴装、引线键合和盒体封装三个方面对低温放大器装配工艺进行了研究,给出了低温放大器组装工艺的关键工序,提出了组装工艺改善方法,对低温放大器的组装技术具有一定参考作用。

图形化蓝宝石衬底技术综述

采用图形化蓝宝石衬底(PSS)技术可以降低GaN外延层材料位错密度,提高了发光二极管(LED)的内量子效率(IQE),同时使LED光析出率(LEE)提高。基于PSS技术可以制作高效GaN基高亮度LED。基于已公开发表文献对用于高效LED制作的PSS技术做了综述,介绍了PSS技术演化、PSS的制作方法与主要的图形结构、PSS上GaN外延层生长机制以及PSS对LED性能的影响。PSS结构对LED的IQE与LEE均有提高,但对二者哪个提高更为有效没有定论,最近的研究结果倾向于以为对LEE提高更为有效。PSS对LED的IQE与LEE提高的机制目前并不是非常清楚,对公开发表的PSS对LEE的提高机制提出了不同看法。不同PSS结构与尺寸对GaN质量以及LED性能的影响方面的研究目前还非常缺乏。

急性冠脉综合征患者不同部位血Th17细胞和IL-17对比分析

目的比较急性冠状动脉综合征（acute coronary syndrome，ACS）患者周围血和冠状动脉罪犯血管病变处血辅助性T细胞17（helper T cells，Th17）占CD4^＋T细胞的比例以及IL-17水平，分析其临床意义。方法序贯入选2012年2月15日至2012年10月15Et杭州师范大学附属医院接受冠状动脉造影（CAG）的冠心病（coronary heart disease，CHD）及疑诊冠心病患者76例。分为ACS组、稳定性心绞痛（stable angina，SA）组和对照组。所有患者均在做完冠状动脉造影后即刻采集肘静脉血5mL。ACS患者同时采集罪犯血管病变处血5mL。采用流式细胞术检测不同部位血Th17的百分率。用ELISA法检测不同部位血血清白细胞介素（interleukin，IL）-17的质量浓度。结果ACS患者周围血Thl7细胞占CD4^＋T细胞的比例和冠状动脉罪犯血管病变处血Th17细胞占CD4^＋T细胞的比例分别是（3．18±0．29）％和（3．17±0．30）％，差异无统计学意义（P=0．919）。ACS组、SA组和对照组外周血Thl7细胞占CD4^＋T细胞的比例分别是（3．18±0．29）％、（1．32±0．31）％和（1．28±0．33）％，ACS组与另外两组相比差异均有统计学意义（P〈0．01），但SA组和对照组比较，差异无统计学意义。ACS外周血和冠状动脉罪犯血管病变处血血清IL-17质量浓度分别是（81．23±18．63）pg／mL和（82．37±20．51）ps／mL，差异无统计学意义（P=0．573）。ACS组外周血IL-17水平分别与SA组和对照组相比，差异均有统计学意义。但SA组和对照组比较差异无统计学意义。结论ACS患者周围血Th17细胞百分比以及IL-17水平与冠状动脉罪犯血管病变处相似，原因可能是多方面的。ACS患者外周血Th17细胞比例增加、IL-17水平升高，这可能参与动脉粥样硬化斑块不稳定的形成，这个过程导致ACS发病。

出租车司机冠心病危险因素研究

目的探讨出租车司机冠心病危险因素分布情况。方法在杭州市随机抽取302名驾龄5年及以上的出租车司机进行问卷调查,调查内容包括:年龄、性别、文化程度、每日运动量、高危因素、值班规律、家族史和既往史。一般健康体检内容包括:舒张压、收缩压、体重指数、总胆固醇、甘油三酯、低密度脂蛋白、高密度脂蛋白、空腹血糖、葡萄糖耐量餐后2h血糖、血尿酸、超敏C反应蛋白等。各种危险因素的患病率、检出率用百分率表示。结果肥胖、缺乏运动、高胆固醇血症、高甘油三酯血症、高低密度脂蛋白血症、吸烟、高血压、糖尿病、高尿酸、超敏C反应蛋白升高和心理压力等冠心病危险因素在出租车司机人群中高发。12个月随访中发现出租车司机有急性心肌梗死和心绞痛等发生。结论出租车司机中冠心病危险因素高发,需要进行防治。

头晕、乏力、心悸

病历摘要 患者男性，21岁。因“反复头晕、乏力、心悸4年余，加重20天”于2006年7月6日入我院。患者4年以前晨起站立排尿时出现明显的头晕、双下肢乏力，需要手扶墙才能站稳，伴有心悸和轻微头痛。扶墙站立数分钟后上述症状逐渐消失。接连数天早晨站立排尿时均出现以上表现，而且后几天还出现尿频、尿急、尿痛，在当地医院就诊，诊断为“泌尿系统感染”，给予抗生素（药名不详）治疗，尿频、尿急、尿痛消失，数日后头晕、乏力、心悸也逐渐消失，无晕厥和抽搐。

疑难病例析评 第247例高血压-腹痛-腹胀

病历摘要 患者男，56岁。因高血压3年、腹痛、腹胀25d于2010年10月28日入院。患者3年前出现高血压，最高血压220／110mmHg（1mmHg=0．133kPa）。患者25d前排大便时出现持续性腹痛，伴有腹胀、出汗。无恶心呕吐，无腹泻黑便。在当地社区医院就诊，疑诊“急性胃肠炎”，

通过60比特24深度量子随机线路采样实现量子计算优势性

高精度地扩展量子比特规模是实现实用量子计算必须克服的基础难题.本文将祖冲之2.0升级至祖冲之2.1,该处理器的基本量子操控保真度分别为:单比特门99.84%,两比特1门99.40%,读取97.74%,相比2.0系统在读取上得到了巨大的提升为了表征系统的整体性能,本文通过执行随机量子电路采样任务(-种量子霸权协议)进行基准测试.实验结果表明,可以实现60比特24深度的随机量子线路采样,线路最终保真度为(0.0366土0.00345)%.该线路的经典模拟复杂度比此前的祖冲之2.0量子霸权线路(55比特20深度)难5000倍,因此可以说,本研究在量子随机线路采样问题上进一步增强了量子计算的算力优势.