微波组件内部多余物控制技术研究

根据微波组件的结构和生产过程,分析了微波组件中多余物的来源,提出了微波组件生产过程的控制措施,研究微波组件气相清洗技术,对清洗效果进行了试验验证,最后分析了微波组件内多余物的检测方法。