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GaAs太阳电池中减反射薄膜的梯度折射率调控
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作者 吴昊 涂洁磊 +4 位作者 杨宇羽 谢雨岑 杨艳云 徐章洋 张琪鑫 《云南师范大学学报（自然科学版）》 2024年第2期13-17,共5页
使用溶胶凝胶法制备了TiO_(2)和SiO_(2)两种材料,结合梯度折射率的结构设计将不同比例的TiO_(2)/SiO_(2)沉积在GaAs太阳能电池上实现宽带减反射效果,最终制备的6层减反射薄膜在200~1 800 nm的波长范围内平均反射率为8.7%,同时确定了300... 使用溶胶凝胶法制备了TiO_(2)和SiO_(2)两种材料,结合梯度折射率的结构设计将不同比例的TiO_(2)/SiO_(2)沉积在GaAs太阳能电池上实现宽带减反射效果,最终制备的6层减反射薄膜在200~1 800 nm的波长范围内平均反射率为8.7%,同时确定了300℃的退火温度和1 000μm/s的提拉速度为制备薄膜的最佳工艺条件. 展开更多
关键词 溶胶凝胶 梯度折射率 宽带减反射膜
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