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6N电子级氘气的制备与纯化技术研究
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作者 孟祥军 花莹曦 +5 位作者 张长金 张弛 杨林睿 杨若昔 刘鉴漪 许春建 《化工学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期377-390,共14页
电子级氘气在集成电路制造的高温退火工艺中起到关键作用,高端制程工艺要求其纯度高达6N。提出了完整的6N氘气电解制备与纯化技术路线,包括:(1)设计出高效FeNi@ClBC OER催化剂,性能显著优于商用催化剂,提高了催化效率并降低整体能耗;(2... 电子级氘气在集成电路制造的高温退火工艺中起到关键作用,高端制程工艺要求其纯度高达6N。提出了完整的6N氘气电解制备与纯化技术路线,包括:(1)设计出高效FeNi@ClBC OER催化剂,性能显著优于商用催化剂,提高了催化效率并降低整体能耗;(2)提出了电解阳极端氧气气提脱除重水中氮气等杂质的工艺流程,重水杂质的减少降低了氘气纯化的难度;(3)提出了深度脱氧、脱水工艺流程,筛选出最佳脱氧催化剂和脱水吸附分子筛并对工艺参数进行了优化,实现产品中杂质氧和水含量(体积分数)分别低于1×10^(-8)和1.65×10^(-7)的目标。实验得到的超高纯氘气产品指标达到了6N,满足先进制程集成电路制造需求,为低成本生产超高纯氘气提供了参考。 展开更多
关键词 电解 制备 催化 吸附 纯化 分离
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数字化转型能否提高企业环境绩效? 被引量:9
2
作者 张娆 杨林睿 《现代管理科学》 北大核心 2023年第1期115-126,共12页
在互联网时代,数字技术飞速发展,企业数字化转型对经济高质量发展具有重要作用。以2010—2019年上市企业为研究对象,探究数字化转型对上市企业环境绩效的影响。结果表明,相对于没有进行数字化转型的企业,数字化转型企业的环境绩效更好,... 在互联网时代,数字技术飞速发展,企业数字化转型对经济高质量发展具有重要作用。以2010—2019年上市企业为研究对象,探究数字化转型对上市企业环境绩效的影响。结果表明,相对于没有进行数字化转型的企业,数字化转型企业的环境绩效更好,在进行了一系列稳健性检验后结论仍然成立。影响机制分析表明,数字化转型通过提高绿色技术创新水平和信息透明度两个途径提高企业环境绩效。异质性分析表明,企业数字化转型对其环境绩效的正向影响主要表现在盈利为正、重污染行业和地区环境规制较强的企业。研究结论为政府环境治理政策制定和企业数字化转型决策提供新的理论依据,推动实现“双碳”战略目标。 展开更多
关键词 数字化转型 环境绩效 绿色技术 信息透明度
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市政道路设计及布局规划的优化 被引量:5
3
作者 王浩 张贺 杨林睿 《中国标准化》 2017年第3X期148-149,共2页
以某市市政道路A段建设工程为例,分析其路段内主要特征,并对对其设计及规划不合理之处进行分析,提出优化设计及规划的方法,从而进一步提高市政道路建设质量,减少疏漏。
关键词 市政道路 布局规划 设计
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就地热再生在沥青路面养护中的应用 被引量:3
4
作者 王浩 孙强 +1 位作者 闫姝音 杨林睿 《城市道桥与防洪》 2017年第4期217-219,共3页
目前我国很多沥青路面需要进行养护维修,就地热再生技术正逐步成为沥青路面改造的主要方法之一。通过对旧路面的调查、评价与旧沥青混合料的试验检测,在旧沥青中掺加适量的再生剂使旧沥青恢复性能要求,得到有效的再生。在施工过程中保... 目前我国很多沥青路面需要进行养护维修,就地热再生技术正逐步成为沥青路面改造的主要方法之一。通过对旧路面的调查、评价与旧沥青混合料的试验检测,在旧沥青中掺加适量的再生剂使旧沥青恢复性能要求,得到有效的再生。在施工过程中保证施工工艺和质量控制,采用就地热再生工艺恢复旧路的路用性能。 展开更多
关键词 就地热再生 再生剂 沥青混合料
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