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皮秒贝塞尔光束切割化学强化玻璃 被引量:7
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作者 杨泽齐 段军 +3 位作者 陈航 刘朋 陈乔丹 徐新科 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期153-158,共6页
化学强化玻璃被广泛应用于电子产品屏幕,但很难被切割加工。利用皮秒激光高峰值功率、超短脉冲及贝塞尔光束长焦深的特点,在化学强化玻璃内加工出一个狭长的改性截面,利用强化玻璃本身的应力与皮秒激光诱导的应力,使强化玻璃精准地沿着... 化学强化玻璃被广泛应用于电子产品屏幕,但很难被切割加工。利用皮秒激光高峰值功率、超短脉冲及贝塞尔光束长焦深的特点,在化学强化玻璃内加工出一个狭长的改性截面,利用强化玻璃本身的应力与皮秒激光诱导的应力,使强化玻璃精准地沿着改性截面自动断开,并获得了切割速度高达400 mm/s,切割面粗糙度为395 nm的切割分离效果。实验结果表明,影响切割速度和质量的主要参数是单脉冲能量和脉冲改性间距。 展开更多
关键词 激光光学 化学强化玻璃 皮秒激光 贝塞尔光束 玻璃切割
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