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皮秒贝塞尔光束切割化学强化玻璃
被引量:
7
1
作者
杨泽齐
段军
+3 位作者
陈航
刘朋
陈乔丹
徐新科
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期153-158,共6页
化学强化玻璃被广泛应用于电子产品屏幕,但很难被切割加工。利用皮秒激光高峰值功率、超短脉冲及贝塞尔光束长焦深的特点,在化学强化玻璃内加工出一个狭长的改性截面,利用强化玻璃本身的应力与皮秒激光诱导的应力,使强化玻璃精准地沿着...
化学强化玻璃被广泛应用于电子产品屏幕,但很难被切割加工。利用皮秒激光高峰值功率、超短脉冲及贝塞尔光束长焦深的特点,在化学强化玻璃内加工出一个狭长的改性截面,利用强化玻璃本身的应力与皮秒激光诱导的应力,使强化玻璃精准地沿着改性截面自动断开,并获得了切割速度高达400 mm/s,切割面粗糙度为395 nm的切割分离效果。实验结果表明,影响切割速度和质量的主要参数是单脉冲能量和脉冲改性间距。
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关键词
激光光学
化学强化玻璃
皮秒激光
贝塞尔光束
玻璃切割
原文传递
题名
皮秒贝塞尔光束切割化学强化玻璃
被引量:
7
1
作者
杨泽齐
段军
陈航
刘朋
陈乔丹
徐新科
机构
华中科技大学武汉光电国家研究中心
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期153-158,共6页
基金
国家自然科学基金(51675205)
文摘
化学强化玻璃被广泛应用于电子产品屏幕,但很难被切割加工。利用皮秒激光高峰值功率、超短脉冲及贝塞尔光束长焦深的特点,在化学强化玻璃内加工出一个狭长的改性截面,利用强化玻璃本身的应力与皮秒激光诱导的应力,使强化玻璃精准地沿着改性截面自动断开,并获得了切割速度高达400 mm/s,切割面粗糙度为395 nm的切割分离效果。实验结果表明,影响切割速度和质量的主要参数是单脉冲能量和脉冲改性间距。
关键词
激光光学
化学强化玻璃
皮秒激光
贝塞尔光束
玻璃切割
Keywords
laser optics
chemically strengthened glass
picosecond laser
Bessel beam
glass cutting
分类号
TN24 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
皮秒贝塞尔光束切割化学强化玻璃
杨泽齐
段军
陈航
刘朋
陈乔丹
徐新科
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
7
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