埋栖贝类采捕机研究进展

中国是蛤、蛏等埋栖贝类养殖大国,采捕作为埋栖贝类养殖的关键环节,采捕技术及装备的先进性和生态性直接影响贝类养殖健康和可持续发展。近年来随着养殖技术的不断进步,埋栖贝类养殖规模不断扩大,但落后的采捕装备已成为制约中国贝类养殖进一步发展的主要因素。本文依据工作原理对国内外埋栖贝类采捕机进行了分类,系统介绍了各类采捕机的结构和性能特点,梳理分析了采捕机的研究进展和应用现状,总结了中国埋栖贝类采捕机在理论研究、结构设计、智能控制和生态影响方面存在的问题并提出了相应发展对策,以期为中国埋栖贝类采捕技术及装备研发提供参考。

面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述

湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。