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国外离子注入机发展动态 被引量：3
1
作者 杨洪普 颜亨迪 《微细加工技术》 1995年第4期1-10,共10页
本文概述了微电子器件对离子注入机的需求，介绍了国外离子注入机发展现状和发展趋势。
关键词 离子注入机 微电子器件 可靠性
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离子注入机的国内外现状 被引量：1
2
作者 杨洪普 颜亨迪 《微细加工技术》 1992年第2期1-14,共14页
本文简要介绍了离子注入和器件的关系,概述了离子注入机的发展现状和趋势,初步探讨了我国离子注入机不能形成产业的原因。
关键词 离子注入 离子注入机
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微细加工设备的现状和发展
3
作者 杨洪普 《电子材料（机电部）》 1993年第9期11-13,共3页
关键词 半导体 微细加工设备 光刻设备
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