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直流磁控溅射制备非晶硅薄膜的研究 被引量:3
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作者 杨玉楼 周建伟 +1 位作者 刘玉岭 张伟 《电子设计工程》 2010年第4期105-107,共3页
非晶硅薄膜(a-Si)是目前重要的光敏材料,在很多领域得到广泛应用。直流磁控溅射具有工艺简单,沉积温度低等优点,是制备薄膜的一种重要技术。采用直流磁控溅射工艺在玻璃基板上沉积薄膜,并对样品进行了退火处理。研究了沉积速率与溅射功... 非晶硅薄膜(a-Si)是目前重要的光敏材料,在很多领域得到广泛应用。直流磁控溅射具有工艺简单,沉积温度低等优点,是制备薄膜的一种重要技术。采用直流磁控溅射工艺在玻璃基板上沉积薄膜,并对样品进行了退火处理。研究了沉积速率与溅射功率的关系。结果表明薄膜的沉积速率与溅射功率近似有线性关系。利用X射线衍射(XRD)对薄膜进行了分析鉴定,结果表明溅射的薄膜是非晶硅薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)对非晶硅薄膜的表面形貌进行了观察和分析,与X射线衍射测试的结果一致。所以,利用直流磁控溅射工艺能在常温下能快速制备出良好的非晶硅薄膜。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 沉积速率 非晶硅薄膜 X射线衍射 扫描电子显微镜
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氢化非晶硅薄膜H含量控制研究进展 被引量:2
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作者 张伟 周建伟 +3 位作者 刘玉岭 赵之雯 张进 杨玉楼 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第11期667-672,共6页
氢化非晶硅薄膜(a-Si∶H)是目前重要的光敏材料,而薄膜中的H含量及组态对薄膜的稳定性有着极其重要的影响。介绍了H对薄膜稳定性影响的原理,提出了控制薄膜中的H含量的必要性。分析了H在H稀释硅烷法制备氢化非晶硅中的作用,论述了制备... 氢化非晶硅薄膜(a-Si∶H)是目前重要的光敏材料,而薄膜中的H含量及组态对薄膜的稳定性有着极其重要的影响。介绍了H对薄膜稳定性影响的原理,提出了控制薄膜中的H含量的必要性。分析了H在H稀释硅烷法制备氢化非晶硅中的作用,论述了制备工艺中衬底温度、H稀释比、气体压强等对薄膜H含量的影响及其机理,并对用不同方法控制H含量的优缺点进行了比较,分析了通过以上三种方法控制薄膜H含量的局限性。探寻了控制薄膜H含量的新方法,并对该领域的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 氢化非晶硅 光敏材料 H含量 红外光谱 反应机理
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自发性血气胸18例临床分析
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作者 杨玉楼 《中国乡村医药》 2003年第9期11-12,共2页
自发性血气胸是指非创伤性的血液和气体在胸腔内蓄积,是内科少见的严重病症,需及时诊断和紧急处理.现将我院内科近5年收治的18例自发性血气胸患者病例分析如下.
关键词 自发性血气胸 临床分析 诊断 治疗
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试论初中历史教学中学生问题意识的培养 被引量:7
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作者 杨玉楼 《当代教研论丛》 2020年第5期87-88,共2页
随着我国教育的不断发展,教育学者开始意识到学生不仅需要掌握相应的知识,更需要养成提出问题的意识,这样才能够在学习过程中进行自我反思,也是当前培养人才的主要内容。本文首先分析初中历史教学存在的问题,然后提出初中历史教学中对... 随着我国教育的不断发展,教育学者开始意识到学生不仅需要掌握相应的知识,更需要养成提出问题的意识,这样才能够在学习过程中进行自我反思,也是当前培养人才的主要内容。本文首先分析初中历史教学存在的问题,然后提出初中历史教学中对学生进行问题意识培养的策略,以此来为学生的发展提供一些建议。 展开更多
关键词 初中历史 学生 问题意识 策略
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激趣 梳理 归纳 拓展——初中文言文课堂高效教学探微
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作者 杨玉楼 《中华活页文选(教师)》 2013年第11期56-57,共2页
文言文是中华民族的宝贵文化遗产之一,经典的古典文学名著更浸润着先哲圣贤的思想和智慧。学习古代文学作品,可以在潜移默化中增长知识,提升素质,发展能力。为了让初中学生充分地学习、品味、鉴赏古典文学,提升文言文学习能力,从... 文言文是中华民族的宝贵文化遗产之一,经典的古典文学名著更浸润着先哲圣贤的思想和智慧。学习古代文学作品,可以在潜移默化中增长知识,提升素质,发展能力。为了让初中学生充分地学习、品味、鉴赏古典文学,提升文言文学习能力,从七年级起,各个版本的语文教材均选择一些经典的文言文来供学生学习和赏读,但从教师课堂教学现状和学生学习效果来说,却不尽如人意。对此,著名语文教育家钱梦龙曾如此形容:“文言文教学是语文教学改革的一个‘死角’,即使在语文教学改革很红火的年代,文言文教学这块‘世袭领地’上仍然是一派‘春风不度玉门关’的荒凉景象。” 展开更多
关键词 文言文教学 初中学生 高效教学 课堂 古典文学名著 语文教学改革 学习能力 归纳
原文传递
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