铂－镍硅化物／硅接触肖特基势垒的形成方法

本工作研究了低温固相反应形成铂－镍硅化物／硅接触肖特基势垒的方法。介绍了用磁控溅射方法淀积金属薄膜和溅射工艺过程应注意的问题及其对肖特基势垒特性的影响。讨论了Ｈ＿２气氛中退火以形成优良肖特基势垒接触的方法与实验结果。

肖特基二极管保护环结构的研究

本文叙述了肖特基二极管保护环结构的作用、设计及制备方法,在应用结果中将新旧工艺进行了比较,表明保护环结构对改善器件的反向特性及提高管芯成品率效果显著。