用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸测量的原子力显微镜

SPM是在纳米尺度上进行测量的重要的测量仪器之一 ,随着SPM进入工业测量领域 ,SPM的校准、量值溯源和测量不确定度分析已经成为SPM能够作为计量仪器使用的关键所在。文章论述了一种计量型原子力显微镜的构成、校准以及在国际比对中的应用。

高精度活塞直径测量的新进展

在总结了1999年及2003年两次活塞压力计基准国际比对活塞面积溯源测量经验的基础上,提出了一种实现活塞直径非接触测量的新方法.它是以一等量块作为标准,采用白光迈克耳逊干涉进行表面定位,激光干涉与移相干涉相结合实现活塞直径测量的方法,该方法的特点在于将显微移相干涉应用于尺寸测量,测量不确定度可达到10-6量级.该方法可以解决中国计量科学研究院建立并维护的覆盖250MPa以下压力量值所对应的活塞压力计基准的面积溯源问题,并为诸如航天航空、汽车制造、超精加工等对陀螺、高速旋转轴系等圆柱件尺寸、形状的测量提出高精度需求的行业提供了一种新的测量方法.

满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度 ,其长度测量不确定度达到 ( 0 .0 2 +0 .2 L )μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析 。

显微镜的发展及在长度计量中的应用

自16世纪末第一台显微镜发明以来，显微技术一直是人们探寻和研究微观世界的有力助手，特别是计算机和激光器的问世更为古老的显微技术注入了新的生命力。几个世纪中，显微镜从过去传统的光学显微镜逐渐向深度和广度发展，形成了以不同照明光源和成像原理为区别的一个庞大的显微镜家族，如光学显微镜、干涉显微镜、电子显微镜和扫描探针显微镜等。

利用二维PSD器件测量小角度的研究 一种新型的自准直仪

文章中对二维PSD用于二维小角度测量的研制的原理方法和试验结果作了介绍 ,同时对二维PSD自准直仪的性能特点也有较详细的分析论述 ,也为小角度测量仪器的开发提出了一种崭新的方法。

球棒校准国际比对

介绍了球棒校准的国际比对 ,测量采用激光和 CCD成像系统的新方法 ,这种方法可以用于球棒和球板的高精度测量。

多光束移相干涉在镀膜平面形貌测量的应用研究

本文以光干涉原理为基础,分析多光束干涉原理特点及其在平面形貌(平面度)测量中应用可能,提出应用移相方法对被测镀高反膜表面进行调制,得到一系列被调制的干涉图样,经计算机对干涉图样进行自动采集和图像解包裹,获得被测表面的三维形貌数据,并通过实际测试验证了该方法的可行性和科学性。

激光干涉比长仪的新型瞄准方法——提高线纹尺的测量精度

介绍一种在激光干涉仪上对线纹尺进行高精度瞄准的新方法——单狭缝多点采集系统。详细描述了其设计方案和工作原理，并介绍了确定刻线中心位置的计算方法、消除随机噪声的数字滤波法及对钟形曲线进行直线拟合的合适区段。实测数据表明。

新型的高精度量块长度测量装置——GLI-100型量块激光干涉仪

本文所介绍的是最近研制成功的GLI-100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感,电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。

步距规动态测量方法研究

步距规是一种典型的多量值面间距标准器,由于各工作面间相互阻隔,使步距规的校准具有一定难度。本文提出了一种新的测量方法,即应用光切显微镜的测量原理实现被测工作面的精确定位,给激光干涉比长仪提供了各个测量面的触发信号,从而实现了面间距的非接触动态连续测量。根据该方法研制了光学测头,并安装在激光干涉比长仪上进行了测量,分别对测头的定位精度､系统的测量重复性以及测量精度进行了实验,并给出了实验结果。目前,用此方法测量步距规的面间距,重复性可达16nm,测量不确定度优于U=0.1μm+1.5×10^(-6)L,k=2,其中L为被测步距规总长,μm。

高精度大长径比圆柱轴孔内外径测量系统研制

介绍一种非接触式测量大长径比精密圆柱轴孔内外径的方法，该方法基于移相干涉测量技术，研制的高精度内径及外径测量系统以一等量块作为标准，采用白光干涉定位、激光干涉测长与移相干涉技术相结合，实现精密圆柱件长轴外径及深孔内径的高精度非接触自动测量。