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题名高纯三氯氢硅生产中磷硼杂质的去除
被引量:7
- 1
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作者
黄小明
杨邦美
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机构
江西景德半导体新材料有限公司
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出处
《化工生产与技术》
CAS
2012年第5期55-56,64,共3页
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文摘
根据生产实践,总结分析了磷、硼杂质在三氯氢硅中的存在形式以及磷硼元素对多晶硅品质的影响。磷系化合物主要是以高沸物存在,少量以低沸物存在,通过加大各塔塔底的排放可以除去;硼系化合物80%左右是以高沸形式存在,15%左右是以低沸形式存在,还有5%左右的杂质沸点是同一工况下高于三氯氢硅,但低于四氯化硅的沸点。除硼成了三氯氢硅提纯的关键因素,合理控制各塔的排高排低除去硼杂质,降低精馏塔单位产品能耗,提高精馏塔的生产能力。
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关键词
三氯氢硅
磷硼杂质
高沸物
低沸物
多晶硅
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Keywords
trichlorosilane
phosphorus boron impurities
high boiling substances
low boiling substances
polycrystalline silicon
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分类号
TQ127.2
[化学工程—无机化工]
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题名屏蔽泵的日常管理
被引量:2
- 2
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作者
黄小明
杨邦美
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机构
江西景德半导体新材料有限公司
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出处
《广东化工》
CAS
2011年第2期234-235,共2页
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文摘
随着化学工业的发展以及人们对环境、安全要求的提高,对化工用泵的要求也越来越高,在一些易燃易爆场合对化工用泵提出了绝对无泄漏要求,这种需求促进了屏蔽泵技术的发展。屏蔽泵由于没有转轴密封,只有静密封没有动密封,可以做到绝对无泄漏,因而在化工装置中的使用已愈来愈普遍,屏蔽泵的日常管理维护和基本故障判断与处理尤为重要。
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关键词
屏蔽泵
日常管理维护
故障判断与处理
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Keywords
shielding pump
daily management and maintenance
fault diagnosis and treatment
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分类号
TQ051.21
[化学工程]
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题名高纯电子化学品的生产与应用现状
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作者
杨邦美
宋熙
黄小明
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机构
江西景德半导体新材料有限公司
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出处
《贵州工业职业技术学院学报》
2013年第3期1-2,15,共3页
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文摘
介绍了超纯硫酸的规格、制备方法、包装、贮运及其分析检测情况。目前高纯电子化学品的需求日益增长,使得我国高纯电子化学品的生产研发要加大科研投入,尽快实现批量国产化。
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关键词
高纯
电子化学品
化工生产
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Keywords
Purity
electronic chemicals
chemical production
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分类号
TQ150.6
[化学工程—电化学工业]
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题名磷硼元素在多晶硅中的研究
- 4
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作者
黄小明
杨邦美
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机构
江西景德半导体新材料有限公司
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出处
《贵州工业职业技术学院学报》
2012年第3期34-36,共3页
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文摘
三氯氢硅精馏提纯除杂质,硼系化合物的物化性质与三氯氢硅比较相近,硼系化合物的分离成为三氯氢硅精馏提纯的难点与重点。通过长期的生产观察和分析数据,硼系化合物在三氯氢硅中得存在形式进行分类。
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关键词
多晶硅
三氯氢硅
磷硼元素
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Keywords
close the polysilicon
trichlorosilane
phosphorus boron element
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分类号
TQ170.1
[化学工程—硅酸盐工业]
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