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GaN基半导体激光器稳态热分析
1
作者
李奕霏
晏长岭
杨静航
《应用物理》
2024年第5期287-293,共7页
GaN基蓝光半导体激光器逐渐进入人们的视野,被广泛应用于数据存储、激光显示、光学通信、激光武器等民用和军用领域。本文基于合理可靠的GaN基半导体激光器散热模型,利用ANSYS有限元分析软件进行稳态工作条件下的热特性模拟仿真。分别...
GaN基蓝光半导体激光器逐渐进入人们的视野,被广泛应用于数据存储、激光显示、光学通信、激光武器等民用和军用领域。本文基于合理可靠的GaN基半导体激光器散热模型,利用ANSYS有限元分析软件进行稳态工作条件下的热特性模拟仿真。分别研究了AlN、CVD金刚石、SiC以及WCu10四种过渡热沉材料对半导体激光器散热特性的影响。AlN、CVD金刚石、SiC、WCu10四种过渡热沉材料封装对应器件最高温度分别为87.46˚C、66.68˚C、71.32˚C、85.28˚C。结果显示,SiC与CVD金刚石材料在降低器件温升方面表现出巨大潜力。
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关键词
蓝光半导体激光器
散热分析
过渡热沉
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职称材料
红外波段超辐射发光二极管研究进展
被引量:
2
2
作者
杨静航
晏长岭
+5 位作者
刘云
李奕霏
冯源
郝永芹
李辉
逄超
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第9期1621-1635,共15页
超辐射发光二极管(SLD)具有高功率、宽光谱和低相干性等光学特性,在光纤通信、工业国防、生物影像和痕量气体检测等领域具有极高的应用价值。本文聚焦于SLD的输出功率与光谱宽度特性,综合评述了量子阱、量子点近红外SLD与量子级联中红外...
超辐射发光二极管(SLD)具有高功率、宽光谱和低相干性等光学特性,在光纤通信、工业国防、生物影像和痕量气体检测等领域具有极高的应用价值。本文聚焦于SLD的输出功率与光谱宽度特性,综合评述了量子阱、量子点近红外SLD与量子级联中红外SLD的研究进展。详细介绍了InP基量子短线、混合量子点量子阱与异维量子点量子阱等新型有源结构,以及量子点掺杂与区域混杂等相关工艺技术。最后,概述了SLD的应用前景,并对SLD的潜在研究方向和技术发展应用趋势进行了展望。
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关键词
超辐射发光二极管
量子阱
量子点
量子级联
光学相干层析成像
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职称材料
一种新型环形上DBR刻蚀微结构VCSEL及其空心光束
3
作者
逄超
晏长岭
+2 位作者
杨静航
钱冉
李奕霏
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期462-467,共6页
设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的...
设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的特性。制备了室温下激射波长为848 nm的微结构VCSEL,并测试其输出特性。阈值电流为0.27 A,峰值功率最高可达170 mW。不同电流下的近场图都显示出非常明显的空心环形光斑,远场光强分布曲线也符合空心光束的特性。该新型VCSEL技术为空心光束甚至阵列器件的发展提供了一种新的方法。
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关键词
垂直腔面发射半导体激光器
空心激光束
刻蚀结构
质子注入
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职称材料
微盘腔半导体激光器阵列热分析
4
作者
杨静航
晏长岭
+5 位作者
逄超
冯源
郝永芹
李辉
张剑家
岳云震
《应用物理》
CAS
2020年第2期125-130,共6页
微腔激光器由于其具有几何图形简单、体积小、阈值低、可动态模操作、易与其他电子元件集成等优势被人们广泛研究。对已实现定向输出的微腔激光器,可通过阵列分布方式有效提高其输出功率。本文通过建立微盘腔半导体激光器散热模型,利用A...
微腔激光器由于其具有几何图形简单、体积小、阈值低、可动态模操作、易与其他电子元件集成等优势被人们广泛研究。对已实现定向输出的微腔激光器,可通过阵列分布方式有效提高其输出功率。本文通过建立微盘腔半导体激光器散热模型,利用ANSYS有限元分析软件进行稳态工作下的模拟仿真。在微盘腔激光器阵列散热模式探究的基础上,通过改变激光器阵列周期,得到了芯片温度变化规律。结果显示,在阵列周期550 µm时半径为100 µm微腔激光器阵列可以达到较为理想的散热效果。
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关键词
微盘腔半导体激光器阵列
ANSYS软件
热分析
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职称材料
不同过渡热沉封装微盘腔半导体激光器热分析
被引量:
1
5
作者
岳云震
晏长岭
+5 位作者
杨静航
逄超
冯源
郝永芹
钱冉
孙立奇
《半导体光电》
CAS
北大核心
2021年第6期823-827,共5页
为了降低微盘腔半导体激光器工作时有源区的温度,提升封装的可靠性,基于Ansys Workbench有限元分析分别对AlN,WCu10,SiC,石墨烯,以及CVD金刚石过渡热沉封装的蜗线型微盘腔半导体激光器进行了热特性分析,得到了器件工作时的温度分布以及...
为了降低微盘腔半导体激光器工作时有源区的温度,提升封装的可靠性,基于Ansys Workbench有限元分析分别对AlN,WCu10,SiC,石墨烯,以及CVD金刚石过渡热沉封装的蜗线型微盘腔半导体激光器进行了热特性分析,得到了器件工作时的温度分布以及热应力、热应变分布。结果显示,SiC封装器件的有源区温度较AlN和WCu10封装器件分别降低了2.18,3.078℃,并在五种过渡热沉封装器件中表现出最低的热应力,器件热应变最小。SiC过渡热沉封装可以有效降低微盘腔半导体激光器工作时的有源区温度,同时减少封装应力与器件应变,从而提高器件的散热能力和可靠性。计算结果对半导体激光器单管散热及阵列集成散热均有指导意义。
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关键词
微盘腔半导体激光器
过渡热沉
ANSYS热分析
热应力
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职称材料
不同焊料对微盘腔半导体激光器散热的影响
被引量:
1
6
作者
刘云
晏长岭
+6 位作者
杨静航
逄超
冯源
郝永芹
李辉
徐东昕
张剑家
《应用物理》
2019年第2期87-93,共7页
通过对微盘腔半导体激光器热特性及散热方式的理论分析,建立倒封装微盘腔半导体激光器物理散热模型,针对其在稳态工作下的热特性,利用ANSYS有限元分析软件,分析了三种焊料分别为In、Sn0.2Au0.8、Sn0.48In0.52、以及AlN散热片对微盘腔半...
通过对微盘腔半导体激光器热特性及散热方式的理论分析,建立倒封装微盘腔半导体激光器物理散热模型,针对其在稳态工作下的热特性,利用ANSYS有限元分析软件,分析了三种焊料分别为In、Sn0.2Au0.8、Sn0.48In0.52、以及AlN散热片对微盘腔半导体激光器的散热效果的影响。结果显示,In焊料的散热效果较好,芯片温升为4.506 K;Sn0.48In0.52焊料的散热效果较差,最高温升为6.501 K;Sn0.2Au0.8焊料散热效果较In焊料略差接近0.1 K。AlN散热片的热扩散区域更大,散热效果受散热片尺寸影响比较大。从热膨胀系数、焊料热稳定性以及焊料成本来看,In焊料适用于基础实验,Sn0.2Au0.8适用于要求严格的科研实验或批量生产。
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关键词
微盘腔半导体激光器
ANSYS
焊料
热分析
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职称材料
题名
GaN基半导体激光器稳态热分析
1
作者
李奕霏
晏长岭
杨静航
机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
出处
《应用物理》
2024年第5期287-293,共7页
文摘
GaN基蓝光半导体激光器逐渐进入人们的视野,被广泛应用于数据存储、激光显示、光学通信、激光武器等民用和军用领域。本文基于合理可靠的GaN基半导体激光器散热模型,利用ANSYS有限元分析软件进行稳态工作条件下的热特性模拟仿真。分别研究了AlN、CVD金刚石、SiC以及WCu10四种过渡热沉材料对半导体激光器散热特性的影响。AlN、CVD金刚石、SiC、WCu10四种过渡热沉材料封装对应器件最高温度分别为87.46˚C、66.68˚C、71.32˚C、85.28˚C。结果显示,SiC与CVD金刚石材料在降低器件温升方面表现出巨大潜力。
关键词
蓝光半导体激光器
散热分析
过渡热沉
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
红外波段超辐射发光二极管研究进展
被引量:
2
2
作者
杨静航
晏长岭
刘云
李奕霏
冯源
郝永芹
李辉
逄超
机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第9期1621-1635,共15页
基金
吉林省科技厅项目(20220101122JC)
长春理工大学项目(6270111102)。
文摘
超辐射发光二极管(SLD)具有高功率、宽光谱和低相干性等光学特性,在光纤通信、工业国防、生物影像和痕量气体检测等领域具有极高的应用价值。本文聚焦于SLD的输出功率与光谱宽度特性,综合评述了量子阱、量子点近红外SLD与量子级联中红外SLD的研究进展。详细介绍了InP基量子短线、混合量子点量子阱与异维量子点量子阱等新型有源结构,以及量子点掺杂与区域混杂等相关工艺技术。最后,概述了SLD的应用前景,并对SLD的潜在研究方向和技术发展应用趋势进行了展望。
关键词
超辐射发光二极管
量子阱
量子点
量子级联
光学相干层析成像
Keywords
superluminescent diode
quantum well
quantum dot
quantum cascade
optical coherence tomography
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种新型环形上DBR刻蚀微结构VCSEL及其空心光束
3
作者
逄超
晏长岭
杨静航
钱冉
李奕霏
机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期462-467,共6页
基金
Supported by Jilin Province Science and Technology Department project(20220101122JC)
Changchun University of Science and Technology project(627011102)。
文摘
设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的特性。制备了室温下激射波长为848 nm的微结构VCSEL,并测试其输出特性。阈值电流为0.27 A,峰值功率最高可达170 mW。不同电流下的近场图都显示出非常明显的空心环形光斑,远场光强分布曲线也符合空心光束的特性。该新型VCSEL技术为空心光束甚至阵列器件的发展提供了一种新的方法。
关键词
垂直腔面发射半导体激光器
空心激光束
刻蚀结构
质子注入
Keywords
vertical cavity surface emitting laser
hollow laser beam
etched microstructure
proton implantation
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
微盘腔半导体激光器阵列热分析
4
作者
杨静航
晏长岭
逄超
冯源
郝永芹
李辉
张剑家
岳云震
机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
出处
《应用物理》
CAS
2020年第2期125-130,共6页
文摘
微腔激光器由于其具有几何图形简单、体积小、阈值低、可动态模操作、易与其他电子元件集成等优势被人们广泛研究。对已实现定向输出的微腔激光器,可通过阵列分布方式有效提高其输出功率。本文通过建立微盘腔半导体激光器散热模型,利用ANSYS有限元分析软件进行稳态工作下的模拟仿真。在微盘腔激光器阵列散热模式探究的基础上,通过改变激光器阵列周期,得到了芯片温度变化规律。结果显示,在阵列周期550 µm时半径为100 µm微腔激光器阵列可以达到较为理想的散热效果。
关键词
微盘腔半导体激光器阵列
ANSYS软件
热分析
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
不同过渡热沉封装微盘腔半导体激光器热分析
被引量:
1
5
作者
岳云震
晏长岭
杨静航
逄超
冯源
郝永芹
钱冉
孙立奇
机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2021年第6期823-827,共5页
基金
国家自然科学基金项目(61376045)。
文摘
为了降低微盘腔半导体激光器工作时有源区的温度,提升封装的可靠性,基于Ansys Workbench有限元分析分别对AlN,WCu10,SiC,石墨烯,以及CVD金刚石过渡热沉封装的蜗线型微盘腔半导体激光器进行了热特性分析,得到了器件工作时的温度分布以及热应力、热应变分布。结果显示,SiC封装器件的有源区温度较AlN和WCu10封装器件分别降低了2.18,3.078℃,并在五种过渡热沉封装器件中表现出最低的热应力,器件热应变最小。SiC过渡热沉封装可以有效降低微盘腔半导体激光器工作时的有源区温度,同时减少封装应力与器件应变,从而提高器件的散热能力和可靠性。计算结果对半导体激光器单管散热及阵列集成散热均有指导意义。
关键词
微盘腔半导体激光器
过渡热沉
ANSYS热分析
热应力
Keywords
micro-disk cavity semiconductor laser
transition heat sink
ANSYS thermal analysis
thermal stress
分类号
TN365 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
不同焊料对微盘腔半导体激光器散热的影响
被引量:
1
6
作者
刘云
晏长岭
杨静航
逄超
冯源
郝永芹
李辉
徐东昕
张剑家
机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
出处
《应用物理》
2019年第2期87-93,共7页
基金
吉林省科技厅项目(编号:20160101254JC)
国家自然科学基金项目(编号:11474038)
+1 种基金
预研基金项目(编号:6141B010328)
预研基金项目(编号:6142405030216240502)。
文摘
通过对微盘腔半导体激光器热特性及散热方式的理论分析,建立倒封装微盘腔半导体激光器物理散热模型,针对其在稳态工作下的热特性,利用ANSYS有限元分析软件,分析了三种焊料分别为In、Sn0.2Au0.8、Sn0.48In0.52、以及AlN散热片对微盘腔半导体激光器的散热效果的影响。结果显示,In焊料的散热效果较好,芯片温升为4.506 K;Sn0.48In0.52焊料的散热效果较差,最高温升为6.501 K;Sn0.2Au0.8焊料散热效果较In焊料略差接近0.1 K。AlN散热片的热扩散区域更大,散热效果受散热片尺寸影响比较大。从热膨胀系数、焊料热稳定性以及焊料成本来看,In焊料适用于基础实验,Sn0.2Au0.8适用于要求严格的科研实验或批量生产。
关键词
微盘腔半导体激光器
ANSYS
焊料
热分析
分类号
R73 [医药卫生—肿瘤]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GaN基半导体激光器稳态热分析
李奕霏
晏长岭
杨静航
《应用物理》
2024
0
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职称材料
2
红外波段超辐射发光二极管研究进展
杨静航
晏长岭
刘云
李奕霏
冯源
郝永芹
李辉
逄超
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
2
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职称材料
3
一种新型环形上DBR刻蚀微结构VCSEL及其空心光束
逄超
晏长岭
杨静航
钱冉
李奕霏
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
4
微盘腔半导体激光器阵列热分析
杨静航
晏长岭
逄超
冯源
郝永芹
李辉
张剑家
岳云震
《应用物理》
CAS
2020
0
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职称材料
5
不同过渡热沉封装微盘腔半导体激光器热分析
岳云震
晏长岭
杨静航
逄超
冯源
郝永芹
钱冉
孙立奇
《半导体光电》
CAS
北大核心
2021
1
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职称材料
6
不同焊料对微盘腔半导体激光器散热的影响
刘云
晏长岭
杨静航
逄超
冯源
郝永芹
李辉
徐东昕
张剑家
《应用物理》
2019
1
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职称材料
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