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题名碳基场发射冷阴极材料的研究
被引量:2
- 1
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作者
钱开友
林仰魁
徐东
蔡炳初
孙卓
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机构
薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院
华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第5期12-15,共4页
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基金
上海市科技发展基金(0214nm031)
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文摘
场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望。
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关键词
碳基材料
场发射冷阴极
真空微电子器件
类金刚石
碳纳米管
发射传感器
场发射平板显示器
微波毫米波器件
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Keywords
field emission cold cathode
diamond
diamond-like carbon
carbon nanotubes
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分类号
TN104
[电子电信—物理电子学]
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题名用于MEMS器件的真空密封技术
被引量:1
- 2
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作者
林仰魁
钱开友
徐东
蔡炳初
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机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室
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出处
《微细加工技术》
2004年第4期64-68,78,共6页
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基金
上海市科技发展基金资助项目(0214nm031)
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文摘
介绍MEMS器件中常用的键合技术和适用于真空密封与器件性能要求的特殊结构设计,以及提高和保持器件高真空环境的方法。合适的真空密封技术不仅能够保证和提高MEMS器件的性能,同时可以简化工艺步骤,降低器件成本。
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关键词
MEMS
传感器
键合技术
真空密封
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Keywords
MEMS
sensor
bonding technology
vacuum packaging
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分类号
TB7
[一般工业技术—真空技术]
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题名一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试
- 3
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作者
钱开友
颜丙勇
林仰魁
王芸
徐东
蔡炳初
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机构
薄膜与微细技术教育部重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期614-616,共3页
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基金
上海市科技发展基金资助(0214nm031)
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文摘
提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构。计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点。对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果较为相符。
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关键词
场发射
压力传感器
阳极变形膜
计算机模拟
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Keywords
field emission
pressure sensors
anode sensing film
computer simulation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP391.9
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名点火线圈附加电阻的作用和特性
- 4
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作者
林仰魁
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机构
福建省三明汽车配件公司
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出处
《汽车与配件》
1984年第1期30-30,共1页
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文摘
附加电阻一般采用低碳钢丝绕制成螺管形。由于低碳钢丝易生锈,目前多用纯镍丝、铁铬丝和镍铬铝丝绕制,并通过架子安装在点火线圈的外壳上,如DQ130、DQ103型点火线圈。有些车型的点火线圈附加电阻不是装在点火线圈的安装支架上,而是分开安装在其它适当的位置,叫外附式附加电阻,其安装孔尺寸均规定为φ6.5+0.6毫米。
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关键词
附加电阻
点火线圈
低碳钢丝
绕制
安装支架
安装孔
管形
镍铬
触点闭合
纯镍
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分类号
U46
[机械工程—车辆工程]
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