手持式乙醇测试仪的研制

介绍一种新型的乙醇测试仪的设计原理、实用电路及实验结果。该仪器具有体积小、灵敏度高、选择性好、稳定性高、响应时间短、手持、能方便地现场实时地检测气体中气态酒精浓度等特点。可用于交通安检及酒厂、食品工厂发酵的监测。

手持数显式乙醇测试仪的研制

用半导体氧化物气敏传感器及微控制器89C51研制的手持式数显乙醇测试仪能对气体中的乙醇含量进行现场实时检测。该文从硬件、软件两方面介绍其优化电路和抗干扰技术。该仪器具有灵敏度高、选择性好、抗干扰能力强等特点 ,可用于交通安全检测、酒厂和食品工厂发酵监控。

铜互连技术

在集成电路中采用双镶嵌工艺制备互连线,铜作为互连线的材料具有低电阻率和较好的抗电迁移能力等优点,同时存在新的缺陷模式如沟槽缺陷、气泡缺陷、金属缺失等,目前的工作主要是该工艺的完善.

MIM结构力敏薄膜应变栅的高温稳定性

运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属 -绝缘层 -金属 (MIM)结构的薄膜应变栅 ,测试了应变栅在 2 0 0～ 30 0℃的高温区内的稳定性 ,并分析了应变栅薄膜的结构、薄膜的应力以及热处理工艺等因素对力敏薄膜在高温下的稳定性的影响。

新型MEMS氨气传感器的测试

本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.

功能材料在MEMS中的应用及进展

以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.

便携式农药残留毒性快速测试仪──水果和蔬菜农药残留动力学速测方法

研制了一种新型的化学动力学测试仪器，适用于水果和蔬菜农药残留毒性的测试。阐述了根据农药的毒理学机制所进行的仪器设计原理，讨论了满足设计要求的关键技术和测试方法。该仪器测定速度快，试剂费用低廉；其灵敏度为敌敌畏≤０．３ｍｇ／Ｌ，甲胺磷≤１．５ｍｇ／Ｌ。

微型热释电红外传感器

报道一种新结构的微型热释电红外传感器,介绍其结构。

微控制器在手持式乙醇测试仪中的应用

应用 8 9C51微控制器制作量测气体中乙醇浓度的手持式数字显示测试仪 .介绍了软件设计中所采用的抗干扰、系统补偿、系统自检等技术 ,达到简化电路、提高仪器的灵敏度和可靠性的目的 .

催化金属薄膜对MOS结构MEMS氨敏传感器性能的影响

利用MEMS技术,在硅平面上经过热氧化、掺杂、溅射、光刻、清洗等工艺,制成MOS结构的氨敏传感器,并将双加热器和测温器集成于一体.该传感器的栅极是以Pd栅为主,同时修饰多种金属薄膜.通过研究修饰催化金属薄膜的种类以及薄膜的厚度对传感器的灵敏度和选择性的影响,结果表明:采用多种金属薄膜混合修饰栅极表面的传感器对氨气有较好的选择性和稳定性;催化金属薄膜厚度在10～30nm时,该传感器对氨气最敏感.