多孔径扫描波面恢复技术的精度评定及影响因素

多孔径扫描波面恢复技术是一项新的高精度大孔径面形检测手段.本文从建立波面恢复精度的评价标准出发,结合实测结果进行讨论,并对影响精度的两个重要因素即拼接模式及拼接区大小进行分析.

数字波面恢复中的高斯门限法

在工程干涉度量中获得的干涉图往往信噪比低且不为常值,这给采用条纹细化和拟合方法恢复波面带来困难,并导致较大的测量误差.本文提出的高斯门限法不仅克服了常用技术的不足,简便易行,而且经计算机模拟分析和测试实例分析表明,本法具有很高的精度和可靠性.文中详述了高斯门限的原理、算法,提供了实例分析结果.