掺B过渡金属Cu、Ni的溅射研究

通过对Cu、Ni两种过渡金属掺入少量B(1wt％)后溅射产额减少程度的比较,从电子结构上分析了杂质B的作用。比较Painter等对Ni掺B后结合能变化的计算,定性而言,实验结果与其相符;定量上,实验数据显得大一点。这可能与溅射过程中晶界的韧化作用等因素有关。

Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究

用捕获膜技术和卢瑟福背散射(RBS)分析,测定Al-Sn多相合金在30keV Ar^+离子轰击时Al和Sn的溅射原子角分布。溅射后的样品用扫描电子显微镜(SEM)进行观察,并用电子微探针分析仪(EPMA)对轰击样品(靶点)和未轰击样品作成分分析。结果表明,Al的溅射原子角分布近于cosine形状,而Sn却是over-cosine型角分布。本文给出一个按不同表面形貌特征划分的各元素富集区i进行叠加的产额表达式,Y(θ)=∑Y_i(θ),解释了实验结果。