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HVPE气相外延法在c面蓝宝石上选区外延生长GaN及其表征 被引量:1
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作者 林郭强 曾一平 +6 位作者 段瑞飞 魏同波 马平 王军喜 刘喆 王晓亮 李晋闽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期530-533,共4页
使用气相沉积SiO2和普通光刻以及湿法腐蚀方法,在c面蓝宝石上开出不同尺寸的正方形窗口,在窗口区域中露出衬底,然后使用氢化物气相外延(HVPE)方法选区外延GaN薄膜.采用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨率双... 使用气相沉积SiO2和普通光刻以及湿法腐蚀方法,在c面蓝宝石上开出不同尺寸的正方形窗口,在窗口区域中露出衬底,然后使用氢化物气相外延(HVPE)方法选区外延GaN薄膜.采用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨率双晶X射线衍射(DCXRD)和喇曼谱测试(Ramanshift)对薄膜进行分析.结果表明,在c面蓝宝石衬底上独立的正方形窗口区域中外延生长的,厚度约20μm的GaN薄膜,当窗口面积为100μm×100μm时,GaN表面无裂纹;而当窗口面积为300μm×300μm和500μm×500μm时,GaN表面有裂纹.随着窗口面积的减小,GaN双晶衍射摇摆曲线的(0002)峰的半高宽(FWHM)减小,表明晶体的质量更好,最小的半高宽为530″.从正方形窗口区的角上到边缘再到中心,GaN的面内压应力逐渐减小,分析认为这与GaN横向外延区(ELO区)与SiO2掩膜之间的相互作用,以及窗口区到ELO区的线位错的90°扭转有关. 展开更多
关键词 氮化镓 选区外延 氢化物气相外延
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HVPE生长GaN厚膜的结构和光学性能(英文)
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作者 魏同波 马平 +5 位作者 段瑞飞 王军喜 李晋闽 刘喆 林郭强 曾一平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期19-23,共5页
采用自制的立式HVPE设备,在GaN/蓝宝石复合衬底上生长了GaN厚外延膜,利用AFM,SEM,XRD,RBS/Channeling,CL,PL以及XPS等技术分析了厚膜的结构和光学性能.结果表明,外延层表面具有台阶结构,接近以层流生长方式二维生长,一些六角形的坑出现... 采用自制的立式HVPE设备,在GaN/蓝宝石复合衬底上生长了GaN厚外延膜,利用AFM,SEM,XRD,RBS/Channeling,CL,PL以及XPS等技术分析了厚膜的结构和光学性能.结果表明,外延层表面具有台阶结构,接近以层流生长方式二维生长,一些六角形的坑出现在膜表面,坑区具有很强的发光.腐蚀试验显示EPD仅8×106cm-2;XRD和RBS/channeling表明GaN膜具有较好的晶体质量;PL结果也证明外延层具有高的质量,出现了尖锐的带边峰,半高宽仅67meV,同时出现了黄带和红外带,这些带的出现可能是由本征缺陷和C,O等杂质引起的. 展开更多
关键词 氮化镓 氢化物气相外延 阴极荧光谱 卢瑟福背散射/沟道 黄发射 红外发射
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Al-Er-B三元相图773 K等温截面的实验测定
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作者 劳政基 杨杰城 +2 位作者 罗文添 熊昭栋 林郭强 《材料科学》 2023年第6期529-535,共7页
使用真空电弧炉熔炼了不同成分的Al-Er-B合金,将合金放入石英玻璃管中抽真空后,在773 K的温度下保温720 h,然后使用冰水进行水淬。运用X射线衍射、金相分析等方法对退火720 h的合金试样进行了研究。测定了Al-Er-B三元相图773 K等温截面... 使用真空电弧炉熔炼了不同成分的Al-Er-B合金,将合金放入石英玻璃管中抽真空后,在773 K的温度下保温720 h,然后使用冰水进行水淬。运用X射线衍射、金相分析等方法对退火720 h的合金试样进行了研究。测定了Al-Er-B三元相图773 K等温截面。实验结果表明,该等温截面包含以下3个三相区:第一个三相区为AlEr、Al2Er3、ErB2,第二个三相区为Al3Er、Al2Er、ErB4,第三个三相区为Al、Al3Er、ErB4。 展开更多
关键词 铝合金 稀土 三元相图 等温截面
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Influence of A1N Buffer Thickness on GaN Grown on Si(111) by Gas Source Molecular Beam Epitaxy with Ammonia
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作者 林郭强 曾一平 +1 位作者 王晓亮 刘宏新 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2008年第11期4097-4100,共4页
Hexagonal GaN is grown on a Si(111) substrate with AIN as a buffer layer by gas source molecular beam epitaxy (GSMBE) with ammonia. The thickness of AIN buffer is changed from 9 to 72 nm. When the thickness of AIN... Hexagonal GaN is grown on a Si(111) substrate with AIN as a buffer layer by gas source molecular beam epitaxy (GSMBE) with ammonia. The thickness of AIN buffer is changed from 9 to 72 nm. When the thickness of AIN buffer is 36 nm, the surface morphology and crystal quality of GaN is optimal The in-situ reflection high energy electron diffraction (RHEED) reveals that the transition to a two-dimensional growth mode of AIN is the key to the quality of GaN. However, the thickness of AIN buffer is not so critical to the residual in-plane tensile stress in GaN grown on Si(111) by GSMBE for AIN thickness between 9 to 72nm. 展开更多
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Rietveld Refinement of New Solid Solution Al_xSb_ ( 3-x)Y_5 (0≤x≤2.16)
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作者 曾令民 林郭强 +3 位作者 农亮勤 梁建烈 韦卫星 黄开连 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第S1期427-429,共3页
The X-ray diffraction analyses show that the existence of a continuous solid solution of Al_xSb_ 3-xY_5 (0≤x≤216). Al_xSb_ 3-xY_5 crystallizes in the hexagonal system with the space group P6_3/mcm (193) and Mn_5Si_3... The X-ray diffraction analyses show that the existence of a continuous solid solution of Al_xSb_ 3-xY_5 (0≤x≤216). Al_xSb_ 3-xY_5 crystallizes in the hexagonal system with the space group P6_3/mcm (193) and Mn_5Si_3 structure type. The cell parameters for Al_2SbY_5 compound at 25 ℃ are a=0.88086 (2) nm, c=0.64662 (2) nm. 展开更多
关键词 rare earths crystal structure X-ray powder diffraction Rietveld refinement
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拜耳法赤泥含碳冷固结球团力学性能的正交试验
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作者 叶成林 潘家浩 +1 位作者 林郭强 曾建民 《冶金工程》 2022年第2期122-130,共9页
在赤泥中加入水玻璃、水、水泥、碳,原料经过混合后用对辊压球机压制成冷固结球团。进行了4因素3水平的正交试验,测试了球团静置1、2、3、5、7天后的抗压强度,以及球团静置7天后的落下强度。试验结果表明:在本文研究的正交试验因素及其... 在赤泥中加入水玻璃、水、水泥、碳,原料经过混合后用对辊压球机压制成冷固结球团。进行了4因素3水平的正交试验,测试了球团静置1、2、3、5、7天后的抗压强度,以及球团静置7天后的落下强度。试验结果表明:在本文研究的正交试验因素及其含量水平上,对赤泥球团抗压强度影响最大的是水玻璃;而对静置7天的赤泥球团的落下强度影响较大的因素是水和水玻璃,水泥和碳对球团落下强度影响较小。静置168 h后,球团抗压强度的最优配方组合为:6%水玻璃 + 12%水 + 9%水泥 + 6%碳(质量分数,外配,下同)。静置168 h后,球团 落下强度的最优配方组合为:6%水玻璃 + 15%水 + 3%水泥 + 6%碳。 展开更多
关键词 赤泥 赤泥球团 制铝工业 循环经济
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以金属为缓冲层在Si(111)上分子束外延GaN及其表征 被引量:1
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作者 林郭强 曾一平 +1 位作者 王晓亮 刘宏新 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1998-2002,共5页
用电子束蒸发方法在Si(111)衬底上蒸发了Au/Cr和Au/Ti/Al/Ti两种金属缓冲层,然后在金属缓冲层上用气源分子束外延(GSMBE)生长GaN.两种缓冲层的表面都比较平整和均匀,都是具有Au(111)面择优取向的立方相Au层.在Au/Cr/Si(111)上MBE生长的G... 用电子束蒸发方法在Si(111)衬底上蒸发了Au/Cr和Au/Ti/Al/Ti两种金属缓冲层,然后在金属缓冲层上用气源分子束外延(GSMBE)生长GaN.两种缓冲层的表面都比较平整和均匀,都是具有Au(111)面择优取向的立方相Au层.在Au/Cr/Si(111)上MBE生长的GaN,生长结束后出现剥离.在Au/Ti/Al/Ti/Si(111)上无AlN缓冲层直接生长GaN,得到的是多晶GaN;先在800℃生长一层AlN缓冲层,然后在710℃生长GaN,得到的是沿GaN(0001)面择优取向的六方相GaN.将Au/Ti/Al/Ti/Si(111)在800℃下退火20min,金属层收缩为网状结构,并且成为多晶,不再具有Au(111)方向择优取向. 展开更多
关键词 GAN 分子束外延 SI(111) 缓冲层 金属
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