浅析区熔级多晶硅生产工艺技术及现状

区熔级多晶硅是电子级多晶硅的高端产品,是社会发展至今的人工智能、自动控制、信息处理等半导体器件的电子信息的基础材料。以下部分我们将从多晶硅的用途、工艺技术等分析它的应用现状。

电子级三氯氢硅特种气体应用研究

电子级三氯氢硅是半导体行业不可或缺的重要电子特种气体原材料,国内目前主要依赖进口。随着我国集成电路行业快速增长,对电子级三氯氢硅需求呈日益增长态势。实现电子级三氯氢硅特种气体的国产化,对我国集成电路行业发展意义重大。本文重点分析电子级三氯氢硅特种气体在芯片制造过程的作用,接着分析生产提纯技术、充装要点以及质量控制要求。

集成电路用半导体材料智能制造应用研究

集成电路用半导体材料是集成电路、半导体器件制造的基础材料,是一种十分敏感的战略性资源.集成电路用半导体材料智能制造应用研究就是在电子级多晶硅生产线的基础上,针对智能制造在多晶硅生产、经营流程中的具体应用进行研究,构建一套全面的生产过程信息管理系统,具备高度数字化、可视化、模型化、集成化和智能化,实现各层面的业务协同,提高企业的预测预警能力,保证生产安全和环保,实现设备自动化、人员高效化、管理信息化。提高产品的稳定性,达到集成电路用电子级高纯多晶硅的稳定产出的目的,为国家集成电路产业原材料提供战略保障。